检索结果-内蒙古大学图书馆

计量学报 2008年第B09期29卷 43-47页

作者：施玉书高思田卢明臻崔建军杜华中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013

针对纳米计量高分辨力的要求，应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统。该系统光源由保偏光纤直接导入，采用共光路、立体空间布局设计。通过建立模型分析该干涉系统的几何特性，得出移动镜偏转对... 详细信息

针对纳米计量高分辨力的要求，应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统。该系统光源由保偏光纤直接导入，采用共光路、立体空间布局设计。通过建立模型分析该干涉系统的几何特性，得出移动镜偏转对该系统带来的影响可以得到有效补偿，因而光路具有很好的稳定性。出射的参考光与测量光始终保持平行，便于干涉系统光路的整体布局与信号接收，同时易于光路的调节从而获得对比度高、信噪比好的干涉信号。

关键词：计量学光学倍程干涉仪纳米计量几何特性

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基于相位补偿的调频连续波大长度测距中的色散校正

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红外与毫米波学报 2018年第5期37卷 642-648页

作者：史春钊张福民潘浩曲兴华赫明钊天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100029

基于调频连续波测距的原理搭建并改进了双光路调频连续波测距系统,在测量光路增加光纤延迟线使测量距离拓展到了65 m.还研究了等光频重采样中色散的影响,推导出了带有色散和光纤延迟线的重采样模型,提出了在调频连续波大长度测距中通过... 详细信息

基于调频连续波测距的原理搭建并改进了双光路调频连续波测距系统,在测量光路增加光纤延迟线使测量距离拓展到了65 m.还研究了等光频重采样中色散的影响,推导出了带有色散和光纤延迟线的重采样模型,提出了在调频连续波大长度测距中通过频率幅度来调节相位补偿系数的色散校正方法.实验表明,在45~65 m的范围内增加了光纤延迟线并且有效的校正了色散,校正色散后在65. 165 m处测距值与干涉仪测量值最大误差小于500μm,标准差为246μm,频谱分辨力高达123μm,十分接近理论分辨力.文章的研究为调频连续波大尺寸测量提供了可行性的参考.

关键词：调频连续波激光测距干涉测量相位补偿重采样

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激光干涉仪误差修正系统的设计

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计量学报 2010年第S2期31卷 135-138页

作者：来展邵宏伟高思田卢明臻中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013

基于谐波分离修正算法,采用高速可编程器件,构建了一套激光干涉仪误差修正系统.该系统通过校准过程建立误差修正方程,并生成修正相位表.测量时数据采集及处理单元的可编程器件实现定点型移位相减除法运算,得到数字化的正切值,将正切值... 详细信息

基于谐波分离修正算法,采用高速可编程器件,构建了一套激光干涉仪误差修正系统.该系统通过校准过程建立误差修正方程,并生成修正相位表.测量时数据采集及处理单元的可编程器件实现定点型移位相减除法运算,得到数字化的正切值,将正切值作为内存地址,通过硬件查表得到修正相位值,极大提高了误差修正速度.并分析了定点型移位相减除法精度以及寻址空间大小对系统误差的影响.

关键词：计量学激光干涉仪谐波分离误差修正相位细分定点型移位相减除法

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计量型原子力测头模型研究及性能分析

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纳米技术与精密工程 2007年第1期5卷 33-37页

作者：卢明臻高思田杜华崔建军清华大学精密仪器与机械学系北京100084 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013

建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复... 详细信息

建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说明光斑运动轨迹与规律.以此为基础完成了一个用于纳米计量的原子力测头,测头读数可溯源.测头的重复性通过实验验证,测头信号实验标准差为0.318nm.该测头应用在“2.5维大范围纳米结构测量系统”中,对台阶高度样板进行测量,取得了良好结果.

关键词：纳米计量学原子力显微镜(AFM) 光束偏转法溯源台阶高度样板

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特征边缘跟踪的调焦评价方法

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光电工程 2008年第7期35卷 59-62,78页

作者：刘力双孙双花吕乃光邓文怡北京信息科技大学光电信息与通信工程学院北京100192 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013

图像测量系统中,已有的调焦评价函数当被测工件图像中边缘在高度上不共面时将无法正确调焦定位。研究了一种基于特征边缘跟踪的调焦评价方法,首先确定测量图像中被测边缘,进行跟踪获得边缘点,对每个边缘点在边缘方向上一定范围内进行梯... 详细信息

图像测量系统中,已有的调焦评价函数当被测工件图像中边缘在高度上不共面时将无法正确调焦定位。研究了一种基于特征边缘跟踪的调焦评价方法,首先确定测量图像中被测边缘,进行跟踪获得边缘点,对每个边缘点在边缘方向上一定范围内进行梯度平方和运算,所有被测边缘点的值求和作为调焦评价值,达到极大值时认为该边缘正焦。采用透射式照明图像测量系统对一种图像中边缘在高度方向上不共面的工件进行了调焦实验,结果表明,该调焦方法能够对图像中各边缘在高度上不共面时对被测边缘对焦。

关键词：自动调焦调焦评价边缘跟踪图像测量

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利用计量型原子力显微镜进行纳米台阶高度测量

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纳米技术与精密工程 2008年第4期6卷 288-292页

作者：陈治高思田卢明臻杜华崔建军胡小唐天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所

计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成.针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作.... 详细信息

计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成.针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作.建立了校准模型,分析了扫描器9项主要误差项,并将该模型应用到原子力显微镜扫描器的校准中.校准后的结果表明,除x轴位置误差不超过±2,nm外,其他8项的残余误差均不超过±1,nm.通过台阶高度国际比对,建立了台阶高度标准计算方法及不确定度分析模型.台阶高度国际比对的测量结果表明,计量型原子力显微镜的测量值与参考值相差均小于1.5,nm.

关键词：计量学纳米计量原子力显微镜台阶高度测量不确定度

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纳米测量系统气体轴承瞬态研究

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机械强度 2009年第4期31卷 584-587页

作者：高思田卢明臻施玉书崔建军杜华天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013

为了消除气体轴承固有纳米级微振动,需要研究气体止推轴承上气和排气的瞬态过程。应用流体力学方程,计算得到气体轴承的外特性。设计一个适用于气膜厚度为微米量级的气体轴承实验机构,进行不同负载下气体轴承上气和排气过程的实验。实... 详细信息

为了消除气体轴承固有纳米级微振动,需要研究气体止推轴承上气和排气的瞬态过程。应用流体力学方程,计算得到气体轴承的外特性。设计一个适用于气膜厚度为微米量级的气体轴承实验机构,进行不同负载下气体轴承上气和排气过程的实验。实验结果较好地验证了理论分析的合理性,上气过程随着负载的增加出现初速度不为零的阶跃过程,排气过程中气膜厚度的变化随压强的变化呈现三次函数关系。为下一步控制研究提供重要的理论和实践基础。

关键词：纳米气体轴承微振动瞬态计量学

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高分辨力单轴法线跟踪测量方法

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光电子．激光 2018年第2期29卷 161-167页

作者：潘思奇付鲁华康岩辉天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100029

为实现对大曲率表面轮廓进行高效、准确的非接触测量,提出一种基于差动共焦原理的单轴法线跟踪式测量方法,具有高分辨力和高信噪比的优点。分析了影响系统分辨力的因素,研究了在入射光为高斯光束时倾斜对于差动共焦探测的影响,通过理论... 详细信息

为实现对大曲率表面轮廓进行高效、准确的非接触测量,提出一种基于差动共焦原理的单轴法线跟踪式测量方法,具有高分辨力和高信噪比的优点。分析了影响系统分辨力的因素,研究了在入射光为高斯光束时倾斜对于差动共焦探测的影响,通过理论模型及实验验证了光束倾斜时针孔偏移及针孔大小的最佳尺寸。建立了相应的传感系统,实验表明,所建系统可以很好地跟踪被测表面,其轴向分辨力优于5nm,组合高精度激光干涉测长系统后可用于大曲率表面轮廓的精密测量。

关键词：差动共焦高斯光束大曲率轮廓测量非接触测量

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一种图像测量系统的现场标定和畸变校正方法

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传感器与微系统 2008年第5期27卷 66-68页

作者：刘力双孙双花吕乃光邓文怡北京机械工业学院电子信息工程系北京100085 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100013

提出了一种图像测量系统的现场标定和分区线性畸变校正方法,靶标件采用一加工有一个圆孔的工件,以圆心为特征点,标定时,CCD摄像机沿着系统的导轨移动,计算图像中圆心位置并读取导轨光栅尺数值,可以获得多组标定特征点。用中心部分特征... 详细信息

提出了一种图像测量系统的现场标定和分区线性畸变校正方法,靶标件采用一加工有一个圆孔的工件,以圆心为特征点,标定时,CCD摄像机沿着系统的导轨移动,计算图像中圆心位置并读取导轨光栅尺数值,可以获得多组标定特征点。用中心部分特征点求出标定参数,从而计算出图像中各点的畸变值,进行分区畸变校正。

关键词：图像测量摄像机标定靶标件畸变校正

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工业CT二维空间分辨力的校准方法

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纳米技术与精密工程 2017年第6期15卷 494-498页

作者：陈思文施玉书张欣宇崔芳芳宋旭高思田胡晓东天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所北京100029 广东省计量科学研究院长度室广州510405 中国商飞上海飞机设计研究院上海201210 中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所北京100029

工业CT的空间分辨力是指从CT图像中能够分辨特定的最小几何细节的能力,是评价一台工业CT系统测量能力的重要参数之一.为了提升工业CT的测量能力及成像质量,需要对其空间分辨力进行校准实验.针对这一问题设计出栅格形及交叉形分辨力线对... 详细信息

工业CT的空间分辨力是指从CT图像中能够分辨特定的最小几何细节的能力,是评价一台工业CT系统测量能力的重要参数之一.为了提升工业CT的测量能力及成像质量,需要对其空间分辨力进行校准实验.针对这一问题设计出栅格形及交叉形分辨力线对卡,使用光刻工艺完成其研制过程,并基于此结合本底校正等图像处理方法进行了系统二维空间分辨力校准实验,通过调制传递函数MTF计算出实验系统的空间分辨力数值,验证了此方法可用于校准CT分辨力的实验意义.最后,对如何提升测量准确度的问题进行了探讨.

关键词：工业CT 空间分辨力线对卡调制传递函数图像处理校准实验

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