检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2004年第3期10卷 355-358页

作者：韩晓峰吴亚明中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院研究生院北京100039

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率。该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB。

关键词：可调谐光衰减器双脊型波导 SOI材料光网络无源光器件光波分复用系统

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基于重掺杂的谐振式传感器频率温度系数补偿研究

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传感器与微系统 2016年第2期35卷 39-41,45页

作者：杨力建游卫龙张磊杨恒李昕欣复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100040

MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实... 详细信息

MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实验表明:P型掺杂浓度达到7×1019/cm3时,〈110〉晶向频率温度系数降低到-11.68×10-6/K;N型掺杂浓度达到6×1019/cm3时,〈100〉晶向谐振频率是温度的二次函数,在80℃左右频率温度系数有过零点。首次实验演示了利用低功耗加热控制结合N型重掺杂,当环境温度由30℃变化到40℃时,谐振频率温度漂移仅为1.13×10-7/℃。利用该技术可实现超高温度稳定性的谐振式传感器。

关键词：谐振式传感器振荡器频率温度系数温度补偿

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基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造

基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：郭联峰王翊戴正飞段国韬蔡伟平王跃林李铁中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所安徽合肥 230031

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最佳工作温度下(250℃),此微纳融合气体传感器的功耗仅为24mW,响应时间约为2s,对1ppm的乙醇的灵敏度(Rair/Rgas)可达到3.47,有望在安全监控、环境保护等方面得到广泛应用.

关键词：气体传感器制造工艺微型加热器平台二氧化锡薄膜

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ZnO纳米线阵列波导对表层聚合物荧光增强的影响

ZnO纳米线阵列波导对表层聚合物荧光增强的影响

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中国化学会第28届学术年会

作者：朱德峰贺庆国付艳艳华康毅曹慧敏程建功中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室中国科学院研究生院

＜正＞微纳结构因大比表面积和光调制等特性被大量用作发光材料光波导[1]。亚波长纳米线作光波导时,其倏逝波传输特性可被用来提高表面荧光聚合物包层的激发能量场密度,继而增强荧光发射[2-3]。本工作研究了

关键词： ZnO 纳米线阵列荧光聚合物光波导取向性

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单晶硅纳米梁的分子动力学模拟

单晶硅纳米梁的分子动力学模拟

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：曹共柏焦继伟陈云飞李铁杨恒王跃林中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室200050 东南大学机械工程学院教育部MEMS重点实验室南京210096

本文采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1％,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能... 详细信息

本文采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1％,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能量的变化曲线得到,梁的谐振频率为2.32×1010Hz.与连续介质近似结果对比发现,该谐振频率对应的杨氏模量为101 GPa,小于体硅的131 GPa,说明在该尺度下杨氏模量小于体材料.另外,分子动力学结果显示,发热是纳米梁耗散机制的重要方式,即谐振能量转化为梁中原子的热运动动能.

关键词：分子动力学有限元连续介质近似谐振频率

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加载表面等离激元超构材料的高增益小型化宽带对拓Vivaldi天线

加载表面等离激元超构材料的高增益小型化宽带对拓Vivaldi天线

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2019年全国天线年会

作者：戴黎辉周永金特种光纤与光接入网重点实验室特种光纤与先进通信国际合作联合实验室上海先进通信与数据科学研究院上海大学传感技术联合国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所

本文提出了一种高增益、小型化的宽带对拓Vivaldi天线,天线尺寸仅为94 mm×70 mm×1.6 mm。通过在天线的边缘加载表面等离激元超构材料,展宽了天线工作带宽,并提高了其增益。仿真结果表明,该天线阻抗带宽为1.8～10 GHz(S<-10... 详细信息

本文提出了一种高增益、小型化的宽带对拓Vivaldi天线,天线尺寸仅为94 mm×70 mm×1.6 mm。通过在天线的边缘加载表面等离激元超构材料,展宽了天线工作带宽,并提高了其增益。仿真结果表明,该天线阻抗带宽为1.8～10 GHz(S<-10 dB),在2～6 GHz范围内增益提高了2 dB。

关键词：对拓Vivaldi天线等离激元超构材料小型化高增益

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加载金属柱的超宽带折叠贴片天线

加载金属柱的超宽带折叠贴片天线

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2019年全国天线年会

作者：徐露周永金特种光纤与光接入网重点实验室特种光纤与先进通信国际合作联合实验室上海先进通信与数据科学研究院上海大学传感技术联合国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究

本文设计实现了一种折叠结构馈电的宽带低频天线。通过引入折叠结构馈电,并在辐射贴片上刻L形槽扩展了天线的阻抗带宽。在天线上折叠部分终端加载细金属柱,使工作频段进一步向低频扩展。仿真结果表明,该天线阻抗带宽为0.59～2.13 GHz(VS... 详细信息

本文设计实现了一种折叠结构馈电的宽带低频天线。通过引入折叠结构馈电,并在辐射贴片上刻L形槽扩展了天线的阻抗带宽。在天线上折叠部分终端加载细金属柱,使工作频段进一步向低频扩展。仿真结果表明,该天线阻抗带宽为0.59～2.13 GHz(VSWR<2),相对带宽达到113.2%,并且在该频带内具有较高增益。

关键词：折叠馈电超宽带天线电小尺寸天线

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聚二甲基硅氧烷球形微腔阵列的数字PCR芯片

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传感器与微系统 2017年第2期36卷 78-81页

作者：符亚云景奉香李刚赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 重庆大学光电工程学院重庆400044

数字聚合酶链式反应(d PCR)技术是一种核酸绝对定量技术,但现有d PCR平台因其昂贵的设备或复杂的操作限制了其实际应用。利用气体膨胀浇注成型技术,结合集成微腔阵列的模具,设计、制作了一种成本低廉、简单可靠的d PCR微流控芯片。独特... 详细信息

数字聚合酶链式反应(d PCR)技术是一种核酸绝对定量技术,但现有d PCR平台因其昂贵的设备或复杂的操作限制了其实际应用。利用气体膨胀浇注成型技术,结合集成微腔阵列的模具,设计、制作了一种成本低廉、简单可靠的d PCR微流控芯片。独特的球形微腔为液滴存储提供了更稳定的几何形式,保证了样品数字离散化的可靠性和稳定性。同时,芯片还利用预脱气的聚二甲基硅氧烷(PDMS)实现自动进样和样品离散化,大大降低了对复杂昂贵设备的依赖,且提供了更高集成度。利用芯片进行了EGFR基因第19号外显子数字PCR定量检测,验证了该芯片的实用性。

关键词：数字聚合酶链式反应聚二甲基硅氧烷绝对定量微流控芯片球形微腔

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基于微球和微柱阵列芯片的乳滴数字PCR定量方法

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传感器与微系统 2017年第5期36卷 16-18页

作者：程祖乐王琨毛红菊夏文薇金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 上海交通大学医学院附属第九人民医院上海200011

BEAMing是一种基于磁珠表面核酸扩增的乳滴数字聚合酶链反应(PCR)技术,具有很高的灵敏度,然而后续检测目标磁珠比较困难。通过修饰链霉亲和素的聚苯乙烯微球捕获BEAMing实验中生物素修饰的目标磁珠并利用微柱阵列芯片拦截微球,可以达到... 详细信息

BEAMing是一种基于磁珠表面核酸扩增的乳滴数字聚合酶链反应(PCR)技术,具有很高的灵敏度,然而后续检测目标磁珠比较困难。通过修饰链霉亲和素的聚苯乙烯微球捕获BEAMing实验中生物素修饰的目标磁珠并利用微柱阵列芯片拦截微球,可以达到统计磁珠的目的。微柱阵列芯片采用基于尺寸差异的拦截原理。该芯片组装简单成本低,降低了BEAMing技术的磁珠统计难度。利用该方法对不同浓度的特定DNA序列做了检测,验证了该方法的实用性。

关键词：微柱阵列芯片乳滴数字聚合酶链反应微球生物传感器

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令人难忘的我国化学传感器领域早期学术活动——纪念化学传感器专业委员会成立和《化学传感器》刊物创刊35周年

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化学传感器 2015年第1期35卷 3-9页

作者：章宗穰俞汝勤沈国励张国雄上海师范大学化学系上海200234 湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室湖南大学化学化工学院湖南长沙410082 中科院上海微系统与信息技术研究所上海200050

该文回顾了我国化学传感器领域自上世纪七十年代中期至八十年代末期的国内外学术交流活动以及在1979年12月成立的"离子选择电极协作组"和化学传感器专业委员会在1984年秋成立前后的人和事。也回顾了1981年创刊的《离子选择电... 详细信息

该文回顾了我国化学传感器领域自上世纪七十年代中期至八十年代末期的国内外学术交流活动以及在1979年12月成立的"离子选择电极协作组"和化学传感器专业委员会在1984年秋成立前后的人和事。也回顾了1981年创刊的《离子选择电极通讯》和在1985年更名为《化学传感器》后的历程。以纪念专业委员会成立和刊物创刊35周年。也表达了对本领域前辈学者和先驱者的怀念和敬意。

关键词：化学传感器专业委员会《化学传感器》杂志早期学术交流活动

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