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    • 1 篇 环境科学与工程(可...
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    • 1 篇 公共卫生与预防医...
  • 1 篇 农学
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    • 1 篇 公共管理

主题

  • 4 篇 体硅工艺
  • 4 篇 mems
  • 3 篇 光学电流传感器
  • 3 篇 微电子机械系统
  • 3 篇 微流控芯片
  • 3 篇 扭转微镜
  • 2 篇 闭环控制
  • 2 篇 折叠梁
  • 2 篇 q值
  • 2 篇 静电驱动
  • 2 篇 液滴
  • 2 篇 开环控制
  • 2 篇 有限元分析
  • 2 篇 微机电系统
  • 2 篇 温度补偿
  • 2 篇 位移传感器
  • 2 篇 电容检测
  • 1 篇 微机械悬臂梁
  • 1 篇 噪声机制
  • 1 篇 电磁驱动

机构

  • 21 篇 中国科学院上海微...
  • 19 篇 中国科学院研究生...
  • 14 篇 中科院上海微系统...
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  • 2 篇 特种光纤与光接入...
  • 2 篇 宁波大学
  • 2 篇 上海交通大学
  • 2 篇 中科院上海微系统...
  • 2 篇 中科院研究生院
  • 2 篇 苏州大学
  • 2 篇 中科院上海微系统...
  • 1 篇 复旦大学附属华山...
  • 1 篇 北京科技大学
  • 1 篇 东南大学
  • 1 篇 上海交通大学医学...
  • 1 篇 中科院上海微系统...
  • 1 篇 中科院上海微系统...
  • 1 篇 上海理工大学
  • 1 篇 中北大学
  • 1 篇 delft university...

作者

  • 12 篇 王跃林
  • 9 篇 吴亚明
  • 8 篇 李昕欣
  • 6 篇 李铁
  • 6 篇 徐静
  • 5 篇 王家畴
  • 5 篇 金庆辉
  • 4 篇 焦继伟
  • 4 篇 李四华
  • 4 篇 赵建龙
  • 4 篇 杨恒
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  • 3 篇 孙立宁
  • 3 篇 刘玉菲
  • 3 篇 毛红菊
  • 3 篇 赵本刚
  • 2 篇 周永金
  • 2 篇 贾春平
  • 2 篇 贾孟军
  • 2 篇 刘翔

语言

  • 47 篇 中文
检索条件"机构=中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室"
47 条 记 录,以下是41-50 订阅
排序:
微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析
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传感技术学报 2007年 第1期20卷 101-106页
作者: 金大重 李昕欣 刘剑 于海涛 王跃林 左国民 李鹏 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频... 详细信息
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一种新型数字式加速度传感器原理与设计
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传感技术学报 2007年 第9期20卷 1996-2000页
作者: 庞洁 Lukasz Pakula Paddy French 杨恒 王跃林 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 Delft University of Technology
建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论... 详细信息
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SOI基光学电流传感器的设计与仿真
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光电子.激光 2006年 第12期17卷 1447-1452页
作者: 赵本刚 刘玉菲 穆参军 徐静 吴亚明 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
将光纤与微电了机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明:ANSYS与理论... 详细信息
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微机电光学电流传感器的设计
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电子元件与材料 2006年 第12期25卷 27-30页
作者: 赵本刚 徐静 高翔 刘玉菲 吴亚明 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
提出了一种检测50Hz交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理,结合工艺条件给出了器件的设计要求,并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果。计算表明,器件可以测... 详细信息
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单晶硅纳米梁的分子动力学模拟
单晶硅纳米梁的分子动力学模拟
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 曹共柏 焦继伟 陈云飞 李铁 杨恒 王跃林 中科院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室200050 东南大学机械工程学院教育部MEMS重点实验室 南京210096
本文采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1%,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能... 详细信息
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电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计
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微纳电子技术 2003年 第7期40卷 309-311页
作者: 宋朝辉 贾孟军 李昕欣 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理。该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量 ,故驱动和检测间的耦合大大地减小。本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响 ,并针对初步确... 详细信息
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电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计
电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计
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中国微米/纳米第六届学术年会
作者: 宋朝辉 贾孟军 李昕欣 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,故驱动和检测间的耦合大大地减小.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响,并针对初步确定的... 详细信息
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