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作者

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语言

  • 152 篇 中文
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GSMBE生长的InP基扩展波长InGaAs探测器研制
GSMBE生长的InP基扩展波长InGaAs探测器研制
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第十届全国分子束外延学术会议
作者： 李好斯白音 张永刚 顾溢 陈星佑 周立 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
短波红外波段探测器在空间遥感和气体检测等领域有着十分重要的作用.InGaAs是制备该波段探测器的优良材料,InGaAs探测器具有可以室温工作,探测率高等特点,特别适用于空间遥感应用.对于遥感和成像用InGaAs探测器,要求器件具有低噪声和高... 详细信息
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电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计
电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计
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中国微米/纳米第六届学术年会
作者： 宋朝辉 贾孟军 李昕欣 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,故驱动和检测间的耦合大大地减小.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响,并针对初步确定的... 详细信息
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晶圆级石墨烯单晶形核控制与快速生长机理研究
晶圆级石墨烯单晶形核控制与快速生长机理研究
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第十二届全国分子束外延学术会议
作者： 吴天如 张学富 袁清红 卢光远 谢晓明 江绵恒 中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050
本文作者对石墨烯单晶的快速可控制备提出了独创性的研究思路和制备方案。通过向具有一定溶碳能力的Cu85Ni15合金表面局域提供碳源，产生局部碳浓度过饱和，成功解决了石墨烯单个核心控制形核这一技术难题。研究发现，Cu85Ni15衬底上石... 详细信息
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气态源分子束外延生长的InGaAsP中Be补偿掺杂机制
气态源分子束外延生长的InGaAsP中Be补偿掺杂机制
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第二十一届全国半导体物理学术会议
作者： 马英杰 张永刚 顾溢 奚苏萍 陈星佑 杜奔 李爱珍 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050
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低密度InAs/GaAs量子点的GSMBE生长
低密度InAs/GaAs量子点的GSMBE生长
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第十届全国分子束外延学术会议
作者： 岳丽 龚谦 严进一 汪洋 柳庆博 成若海 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海2000
单个量子点的发光具有反聚束特征,可以为量子信息处理、量子保密通信提供可靠的单光子源.化合物半导体外延生长的量子点具有很多优点:如量子点单光子源具有高的振子强度、窄的谱线宽度、不会发生光褪色,并且易于集成等,量子点单光子源... 详细信息
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GaSbBi薄膜的分子束外延生长
GaSbBi薄膜的分子束外延生长
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第十二届全国分子束外延学术会议
作者： 岳丽 张焱超 陈熙仁 张凡 朱忠赟珅 王利娟 邵军 王庶民 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海科技大学 中科院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 中科院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 瑞典查尔姆斯理工大学
将少量的Bi原子凝入GaSb中,能够使价带顶升高,降低导带底,使禁带宽度变窄,拓展发光波长,在2-5μm中红外波段有很大的应用潜力,为GaSb基激光器能带结构的设计提供了一种新的解决途径.由于Sb和Bi是Ⅴ族中紧相邻的两种元素,在GaSbBi薄膜的... 详细信息
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热堆红外探测器模型的建立
热堆红外探测器模型的建立
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第八届敏感元件与传感器学术会议
作者： 刘月英 沈德新 传感器国家重点实验室 中科院上海微系统及信息技术研究所(中国上海)
基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不断优化,该结构器件的优越性逐渐被人们所认识.文章对热电堆的基本工作原理进行了分析.在此基础上建立的数... 详细信息
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基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造
基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造
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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者： 郭联峰 王翊 戴正飞 段国韬 蔡伟平 王跃林 李铁 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所 安徽 合肥 230031
文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息
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LED用蓝宝石单晶衬底抛光工艺的研究
LED用蓝宝石单晶衬底抛光工艺的研究
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2008年上海纳米科技与产业发展研讨会
作者： 胡晓凯 宋志棠 刘卫丽 汪海波 张泽芳 王良泳 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室纳米技术研究室上海200050
本论文研究了蓝宝石抛光初始阶段抛光速率与下压力、抛光转速两项工艺参数的关系;分析了抛光过程中摩擦系数的动态变化规律.结果表明,抛光速率大致正比于下压力,即随压力增大抛光速率线性加快;而抛光转速对抛光速率则影响不大.摩擦系数... 详细信息
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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
低电压下静电力驱动的数字微流控芯片
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
作者： 刘翔 皋华敏 李铁 周萍 王跃林 传感技术联合国家重点实验室 微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院，北京，100039 传感技术联合国家重点实验室 微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050
微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯... 详细信息
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