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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

作者：刘翔皋华敏李铁周萍王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院，北京，100039 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯... 详细信息

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言，没有可动部件，不需要复杂的微泵微阀结构和控制，成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理，只需单层控制电极，工艺简单，通过优化结构，采用高介电常数介质层和减少介质层厚度，大大降低了液滴驱动电压。

关键词：微全分析系统数字微流控芯片静电力驱动

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EMD算法在超导瞬变电磁(TEM)中的应用

EMD算法在超导瞬变电磁(TEM)中的应用

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第十二届全国超导学术研讨会

作者：徐婷谢晓明王会武常凯蒋坤侍文伍俊邱隆清荣亮亮孔祥燕上海超导中心中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

超导瞬变电磁应用的超导磁传感器的带宽需足够高(100 kHz以上),但同时大带宽磁场接收使数据极易受环境电磁干扰影响(尤其是晚期衰减信号).应用常规滤波方法对时非线性非平稳的超导TEM信号处理,易造成波形畸变,影响反演解释.经验模态分解...

超导瞬变电磁应用的超导磁传感器的带宽需足够高(100 kHz以上),但同时大带宽磁场接收使数据极易受环境电磁干扰影响(尤其是晚期衰减信号).应用常规滤波方法对时非线性非平稳的超导TEM信号处理,易造成波形畸变,影响反演解释.经验模态分解(EMD)方法完全基于数据驱动,自适应将信号从高频到低频分解成一系列模态函数分量,根据信号自身特性进行分量选择,不会造成波形畸变.

关键词：

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室温低阈值分布反馈量子级联激光器

室温低阈值分布反馈量子级联激光器

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第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

作者：徐刚毅李爱珍李耀耀魏林张永刚李华信息功能材料国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所上海市200050

本文报导了室温脉冲工作和低温下连续工作的分布反馈量子级联激光器(DFB-QCL).激光器的有源区基于三阱耦合垂直跃迁光发射结构,并通过降低有源区内调制掺杂浓度以降低激光器的波导损耗.作者提出了一种新型波导和光栅制备技术,同时获得... 详细信息

本文报导了室温脉冲工作和低温下连续工作的分布反馈量子级联激光器(DFB-QCL).激光器的有源区基于三阱耦合垂直跃迁光发射结构,并通过降低有源区内调制掺杂浓度以降低激光器的波导损耗.作者提出了一种新型波导和光栅制备技术,同时获得了合适的光耦合系数和低的波导损耗.利用这种方法研制出波长7.7μm的分布反馈量子级联激光器.激光器可以在大的温度范围内(155-320K)实现单模激射,边模抑制比～***-QCL在室温脉冲工作时阈值电流密度为970A/cm2,峰值输出功率达到75mW.该激光器还可以在连续模式下工作,最高工作温度为130K.

关键词：分布反馈量子级联激光器三阱耦合垂直跃迁光发射结构单模激射波导

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一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化

一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化

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中国微米/纳米第六届学术年会

作者：黄树森郭南翔黄晖宋朝辉李欣昕王跃林中科院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室上海200050

给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工艺给出了... 详细信息

给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果.

关键词：加速度传感器结构优化灵敏度自由振动振动频率深反应离子刻蚀

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面向下一代光通信的VCSEL激光器仿真模型

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数学的实践与认识 2018年第15期48卷 107-117页

作者：刘响张国威吴浩然沈斐中国科学院上海微系统与信息技术研究所中科院无线传感网与通信重点实验室上海201800 中国科学院大学北京100049 上海无线通信研究中心上海201800 东华大学信息学院上海201600

通过建立仿真模型研究了VCSEL激光器的输出光功率以及小信号频率响应特性，并提出了VCSEL激光器L—I经验模型参数求解方法和小信号带宽模型的三种改进改进方案，提高了模型的预测精度和对不同环境温度的泛化能力．再次，推导得出了激光... 详细信息

通过建立仿真模型研究了VCSEL激光器的输出光功率以及小信号频率响应特性，并提出了VCSEL激光器L—I经验模型参数求解方法和小信号带宽模型的三种改进改进方案，提高了模型的预测精度和对不同环境温度的泛化能力．再次，推导得出了激光器的小信号频率响应的显式表达结果，并从理论和仿真角度分析了参数对小信号带宽和平坦性的影响，提出了拓展小信号带宽和改善平坦性的参数设计方案．最后，提出了一种形式更为简单，计算复杂度更低的小信号带宽二次模型．

关键词： VCSEL激光器 L—I模型最大似然估计小信号响应模型带宽二次模型

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基于光频梳技术的太赫兹成像系统

基于光频梳技术的太赫兹成像系统

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第十二届全国激光技术与光电子学学术会议

作者：姚辰周涛张戎符张龙邵棣祥曹俊诚中科院上海微系统与信息技术研究所太赫兹固态技术重点实验室上海理工大学

利用级联马赫曾德尔(Mach-Zehnder)调制器和相位调制器产生光频梳，应用于基于光子学技术的太赫兹成像系统中，可以提高成像质量，消除由于单色光源造成的图像中的干涉效应。该系统中输入光功率只有采用掺铒光纤放大器作源的成像系统的3...

利用级联马赫曾德尔(Mach-Zehnder)调制器和相位调制器产生光频梳，应用于基于光子学技术的太赫兹成像系统中，可以提高成像质量，消除由于单色光源造成的图像中的干涉效应。该系统中输入光功率只有采用掺铒光纤放大器作源的成像系统的30％，保护光探测器不被损坏，有效降低系统功耗和成本。所提出系统可应用于未来安检等领域。

关键词：

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铁基超导体隧道结的构筑和约瑟夫森效应研究

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中国科学：物理学、力学、天文学 2023年第12期53卷 201-209页

作者：王腾于奥博李春红刘以鑫彭炜姜达牟刚中国科学院上海微系统与信息技术研究所集成电路材料全国重点实验室上海200050 上海科技大学物质科学与技术学院上海201210 中国科学院大学北京100049 中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室北京100190 浙江工业大学前沿交叉科学研究院杭州310014

作为超导体中最重要的物理特性之一,约瑟夫森效应不但是超导电子学应用的基础,同时也在基础研究中有着重要的价值.本文针对铁基超导的两个体系:KCa_(2)Fe_(4)As_(4)F_(2)和FeSe_(0.5)Te_(0.5),开展了约瑟夫森效应研究.利用导电层-绝缘层... 详细信息

作为超导体中最重要的物理特性之一,约瑟夫森效应不但是超导电子学应用的基础,同时也在基础研究中有着重要的价值.本文针对铁基超导的两个体系:KCa_(2)Fe_(4)As_(4)F_(2)和FeSe_(0.5)Te_(0.5),开展了约瑟夫森效应研究.利用导电层-绝缘层-导电层交替堆叠的结构特点及其导致的强各向异性,对KCa_(2)Fe_(4)As_(4)F_(2)单晶c方向的电输运行为进行了探究.通过微纳加工等手段,成功降低了样品的尺寸和临界电流,从而大大减小了热效应对测量的影响,最终通过基于超导电子隧穿的A-B方程拟合临界电流随温度的变化行为获得了超导能隙方面的信息,并且观察到了临界电流随面内磁场周期性振荡的超导量子衍射行为,证明了该体系中本征约瑟夫森效应的存在.另外,利用机械剥离的方式制备了超薄FeSe_(0.5)Te_(0.5)单晶的约瑟夫森隧道结,并获得了其临界电流随温度和磁场的变化行为.分析表明,临界电流随温度的变化数据,同样可以被A-B方程很好地描述;从中提取出来的超导能隙值,与文献报道相一致.

关键词：铁基超导约瑟夫森效应临界电流超导能隙

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一种无线传感网节点设备的中间件平台研究

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现代电子技术 2014年第12期37卷 11-14,18页

作者：赵敏超赵鲁阳何为赵康中国科学院上海微系统与信息技术研究所中科院无线传感网与通信重点实验室上海200050

为屏蔽无线传感网节点在应用过程中底层软硬件平台的差异性,给上层应用程序提供统一的接口,提出一种针对传感网节点的中间件平台架构。该中间件平台由软硬件抽象层、网络协议栈层、中间件管理器和应用域中间件组成,采用模块化、接口抽... 详细信息

为屏蔽无线传感网节点在应用过程中底层软硬件平台的差异性,给上层应用程序提供统一的接口,提出一种针对传感网节点的中间件平台架构。该中间件平台由软硬件抽象层、网络协议栈层、中间件管理器和应用域中间件组成,采用模块化、接口抽象和分层设计的思想,各层之间以服务原语的方式进行交互。中间件平台成功移植到STM32,MSP430,CC2530三种硬件平台和μCOS-Ⅱ,FreeRTOS,OSAL三种软件平台上。实验证明该中间件平台具有良好的移植性和可扩展性。

关键词：无线传感网中间件平台服务原语接口抽象节点设备

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制备AlN薄膜为绝缘埋层的新型SOI材料

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功能材料与器件学报 2002年第4期8卷 331-334页

作者：门传玲徐政安正华张苗林成鲁同济大学材料学院微电子所上海200092 中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

采用离子束增强技术(IBED)在100mm硅片上合成了AlN薄膜。以速率0.05nm/s蒸发高纯Al得到AlN样品,XPS结果证实了成功合成了AlN薄膜,其N/Al比为0.618:1,扩展电阻结果表明其绝缘性能良好,原子力显微镜(AFM)显示其表面平整光滑,均方根粗糙... 详细信息

采用离子束增强技术(IBED)在100mm硅片上合成了AlN薄膜。以速率0.05nm/s蒸发高纯Al得到AlN样品,XPS结果证实了成功合成了AlN薄膜,其N/Al比为0.618:1,扩展电阻结果表明其绝缘性能良好,原子力显微镜(AFM)显示其表面平整光滑,均方根粗糙度(RMS)为0.13nm,满足键合需要。利用智能剥离技术(Smart-cutprocess)成功地制备了以AlN薄膜为埋层的SOI(silicon-on-insulator)材料。剖面透射电镜照片(XTEM)给出了此SOI结构,高分辨TEM实验结果表明上层硅具有与衬底硅相似的结晶质量可满足器件制造的要求。

关键词：制备绝缘埋层 AlN薄膜键合 SOI 离子束增强沉积氮化铝

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器件无关的经典/量子鉴熵实验

器件无关的经典/量子鉴熵实验

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第十七届全国量子光学学术会议

作者：朱锋张巍陈思井尤立星黄翊东王镇清华信息科学与技术国家实验室清华大学电子工程系信息功能材料国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所

器件无关的量子信息处理仅基于观测的数据。其中的器件被认为是黑盒子,不需要假设黑盒子内遵循的物理原理和工作模式。器件无关的概念最早是为研究量子密钥分配过程的安全性提出的[1]。而后,这一概念被应用到了对信息资源的鉴定上,比如... 详细信息

器件无关的量子信息处理仅基于观测的数据。其中的器件被认为是黑盒子,不需要假设黑盒子内遵循的物理原理和工作模式。器件无关的概念最早是为研究量子密钥分配过程的安全性提出的[1]。而后,这一概念被应用到了对信息资源的鉴定上,比如对纠缠度的鉴定[2]和对系统维度[3]的鉴定。这种器件无关的资源鉴定是通过提出一个鉴定函数实现的。以鉴

关键词：维函数纠缠度

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