检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2007年第6期13卷 566-571页

作者：许晓昕高翔徐静吴亚明中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中科院研究生院北京100039

高表面质量的pyrex玻璃对提高MEMS器件尤其是光学器件性能至关重要。本文采用TiW/Au+AZ4620厚胶作为多层复合刻蚀掩模,重点研究了玻璃湿法深刻蚀工艺中提高表面质量的方法,并分析了钻蚀和表面粗糙度产生的机理。结果表明,采用TiW/Au+AZA... 详细信息

高表面质量的pyrex玻璃对提高MEMS器件尤其是光学器件性能至关重要。本文采用TiW/Au+AZ4620厚胶作为多层复合刻蚀掩模,重点研究了玻璃湿法深刻蚀工艺中提高表面质量的方法,并分析了钻蚀和表面粗糙度产生的机理。结果表明,采用TiW/Au+AZA620厚胶的多层掩膜比TiW/Au掩膜能更有效地避免被保护玻璃表面产生针孔缺陷,减轻钻蚀。在纯HF中添加HCl,可以得到更光洁的刻蚀表面,当HF与HCl体积配比为10:1时,玻璃刻蚀面粗糙度由14.1nm减小为2.3nm。利用该工艺,成功实现了pyrex7740玻璃的150μm深刻蚀,保护区域的光学表面未出现钻蚀针孔等缺陷,同时完成了金属引线和对准标记的制作,为基于玻璃材料的MEMS器件制作提供了一种新的加工方法。

关键词：微机电系统(MEMS) Pyrex玻璃湿法刻蚀表面质量

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EMD算法在低温超导瞬变电磁噪声抑制中的应用

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低温物理学报 2014年第5期36卷 401-404页

作者：徐婷常凯王会武荣亮亮孔祥燕谢晓明中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中科院上海微系统所

瞬变电磁信号具有较宽的频谱,为使得超导瞬变电磁信号的接收不产生失真,要求接收信号的超导传感器具有足够高的带宽(100kHz以上),而接收高带宽信号会导致信号的噪声峰峰值变大,传统的滤波(模拟、数字)方法易造成衰减曲线畸变.基于数据... 详细信息

瞬变电磁信号具有较宽的频谱,为使得超导瞬变电磁信号的接收不产生失真,要求接收信号的超导传感器具有足够高的带宽(100kHz以上),而接收高带宽信号会导致信号的噪声峰峰值变大,传统的滤波(模拟、数字)方法易造成衰减曲线畸变.基于数据驱动的经验模态分解(Empirical Mode Decomposition,EMD)算法能够根据信号本身特性对其进行信号分解和分量选择,具有自适应和不产生波形畸变的特点.本文采用EMD算法分别对数值模拟和野外实测的超导瞬变电磁信号进行EMD滤波处理和分析,结果表明,EMD可以显著压制瞬变电磁信号衰减曲线中的宽频带噪声且波形无畸变.经过EMD滤波的超导瞬变电磁与原始信号相比,信号衰减时间显著延长(从5ms延长至50ms),表明EMD算法能够极大提高瞬变电磁方法对地下深部信息的探测能力.

关键词： SQUID 瞬变电磁 EMD IMF

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侧壁压阻式力传感器的研制与标定

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纳米技术与精密工程 2010年第3期8卷 201-205页

作者：陈涛孙立宁陈立国荣伟彬李昕欣王家畴苏州大学机器人与微系统研究中心苏州215021 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室哈尔滨150001 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻... 详细信息

在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻,改善了侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题.最后通过压电叠堆驱动平台结合精密电子秤对压阻传感器进行了标定.测试表明,这种微力传感器加工技术可以很好地与其他工艺相兼容,力传感器的灵敏度优于72V/N,分辨率优于3μN.

关键词：微机电系统侧壁压阻力传感器

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NEMS谐振器的研究与分析

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电子器件 2005年第1期28卷 30-34页

作者：宋达刘文平李铁李昕欣王跃林浙江大学信息与电子工程学系杭州310027 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室上海200050

介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器。最后分析了 NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出N... 详细信息

介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器。最后分析了 NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出NEMS谐振器将具有良好的应用与发展前景。

关键词： NEMS 纳米技术谐振器

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级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计

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中国惯性技术学报 2016年第3期24卷 399-403页

作者：陈方刘卫平刘礼张勇军中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 上海航天电子通讯设备研究所上海201109 北京科技大学高效轧制国家工程研究中心北京100083

基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、... 详细信息

基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、四阶Σ△M闭环系统(SD2、SD4)进行了仿真分析比较,研制了原理样机。微加速度计是基于结构层厚度50mm的SOI硅片通过DRIE刻蚀、气态HF释放等一系列微加工工艺得到,系统电路以数字化方式集成在FPGA中。常压下测试结果表明,样机的灵敏度为0.876 V/g,噪声基底为-110 d B,零偏不稳定性为20mg,静态温漂为40.8mg/℃,量程为±20 g。

关键词： Σ△M 微机械加速度计数字闭环模数转换 MASH_(2-2)

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一种低损耗V波段混合型360°移相器

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微波学报 2013年第5期29卷 159-162页

作者：孙晓玮韩克武李凌云吴亮中国科学院太赫兹固态技术重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所上海200050

给出了一种低损耗V波段（60GHz）混合型360°移相器的新结构和设计方法．其结构包括一个反射型移相单元（RTPS）与一个开关线型移相单元（SLTPS），其中1位开关线型移相单元完成0—180°移相功能，而反射型移相单元由一对源漏... 详细信息

给出了一种低损耗V波段（60GHz）混合型360°移相器的新结构和设计方法．其结构包括一个反射型移相单元（RTPS）与一个开关线型移相单元（SLTPS），其中1位开关线型移相单元完成0—180°移相功能，而反射型移相单元由一对源漏短路的pHEMT与Lange耦合器组成。实验结果表明文中提出的低损耗360°混合型移相器结构和设计方法有效。

关键词： 60GHz 移相器反射型可变负载开关线 360°

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芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析

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中国惯性技术学报 2023年第9期31卷 932-939,954页

作者：魏雯强鲁征浩陈方申冲石云波曹慧亮中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 苏州大学微纳传感技术研究中心苏州215006 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀... 详细信息

微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀螺阵列法。其次,通过对当前方案的总结与分析,比较了各方案的优缺点,设计了一种频差小、抗冲击能力强的单片三轴轮环式陀螺结构。仿真实验表明该结构能承受20000 g冲击,轮结构频差为180.3 Hz,环结构频差为3 Hz。最后,分析了未来芯片级多轴集成微陀螺仪的改良方向。

关键词：微机械陀螺仪敏感结构单结构三轴正交集成陀螺阵列

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基于高温超导SQUID的低场核磁共振研究

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低温与超导 2008年第11期36卷 29-33页

作者：邱隆清张懿谢晓明中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050 IBN-2 Juelich研究中心

采用一高温超导射频量子干涉器(HTS rf-SQUID)作为信号探测器件,研究了多种液体样品的低场核磁共振信号。通过改变测量场(简称Bm)的大小,可以探测到质子拉莫频率(简称fL)从2Hz到40kHz的信号。由于在低场核磁共振中,Bm的均匀性能很好的... 详细信息

采用一高温超导射频量子干涉器(HTS rf-SQUID)作为信号探测器件,研究了多种液体样品的低场核磁共振信号。通过改变测量场(简称Bm)的大小,可以探测到质子拉莫频率(简称fL)从2Hz到40kHz的信号。由于在低场核磁共振中,Bm的均匀性能很好的得到满足,因而可能得到很窄的谱线宽度。实验发现,对自来水样品,在7μT以下均可接近谱线的自然宽度。同时,在低场核磁共振条件下,样品的化学位移很小以至于消失,因而可以研究"纯"的异核间的自旋耦合谱。作者研究了低场下2,2,2-三氟乙醇的低场自旋耦合谱。另外,作者首次采用SQUID在户外探测到地球磁场下的核磁共振现象,并研究了地球磁场的涨落对测量的影响,为SQUID的低场核磁共振研究开辟了一个新的研究方向。

关键词： SQUID 低场核磁共振谱线宽度自旋-自旋耦合

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可调谐双波长半导体外腔激光器性能研究

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光电子．激光 2016年第7期27卷 716-721页

作者：赵旺鹏王海龙龚谦严进一高金金荣春朝曲阜师范大学物理系山东省激光偏光与信息技术重点实验室山东曲阜273165 中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室上海200050

提出并实现了利用笼式共轴搭建的傅里叶变换外腔结构(FTECS)产生大范围电流下双模式强度保持相等的双波长激光器,通过改变电流实现输出功率连续可调的双模输出,可以作为混频太赫兹(THz)源的种子源,对多波长脉冲设备的研究有借鉴意义。... 详细信息

提出并实现了利用笼式共轴搭建的傅里叶变换外腔结构(FTECS)产生大范围电流下双模式强度保持相等的双波长激光器,通过改变电流实现输出功率连续可调的双模输出,可以作为混频太赫兹(THz)源的种子源,对多波长脉冲设备的研究有借鉴意义。实验结果表明,在阈值电流8 mA之上从1.45 I_(th)到3.85 I_(th)范围内,用压电陶瓷推动镀金条镜改变反馈,实现了间距1 THz的双模输出,双模式峰值强度差值小于0.07dB,边模抑制比(SMSR)可以达到30dB以上。进一步研究了双模式的峰值强度与条镜位置和激光器电流变化之间的关系,对后续小型化结构设计相关可快速调谐性和稳定性等参考。。

关键词：激光器外腔可调谐双模等功率输出

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新型MEMS质量传感器的研究

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仪表技术与传感器 2011年第8期 1-3,16页

作者：熊磊焦继伟葛道晗宓斌伟张轩雄上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室上海200050

研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,... 详细信息

研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,腔外的真空环境使得圆盘谐振器受到更小的阻尼。利用ANSYS对圆盘在质量吸附前后的模态及频率分裂进行仿真,计算结果显示对质量的测量灵敏度达pg量级。采用MEMS双牺牲层工艺方法成功制作出具有双层结构的空心圆盘谐振器。

关键词： MEMS 谐振器质量传感器自补偿

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