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  • 203 篇 中文
检索条件"机构=中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室"
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硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制
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仪表技术与传感器 2009年 第B11期 232-235,254页
作者: 王家畴 李昕欣 孙立宁 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室 黑龙江哈尔滨150001
为了解决纳米级定位平台小型化、低能耗、定位精度高的问题,基于结构、驱动和检测一体化的设计理念,研制出了一种硅基片上集成式微型平面纳米级XY定位平台,在建立定位平台数学模型基础上,利用Matlab分析软件对定位平台开环和闭环控制特... 详细信息
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An Electrostatic MEMS Actuator with Large Displacement Under Low Driving Voltage
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Journal of Semiconductors 2008年 第9期29卷 1703-1707页
作者: 明安杰 李铁 周萍 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室 中国科学院研究生院 北京100049
A comb-drive actuator for lateral movement of over 100μm under low driving voltage is designed. Side stability is analyzed to improve the performance of the actuator. According to the analysis,a comb-drive actuator w... 详细信息
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RE-Mg-Ni系储氢电极合金“电化学相图”的构建
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稀有金属材料与工程 2018年 第7期47卷 2107-2112页
作者: 时雨 庞越鹏 罗群 陈双林 李谦 娄豫皖 上海大学省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室 上海200072 Compu Therm LLC MiddletonWI 53562USA 上海大学材料基因组工程研究院 上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
将相图计算和RE-Mg-Ni(RE=Nd,Ce,Y)系储氢电极合金的最大放电容量测试相结合,然后通过矩阵运算的方式构建了合金"电化学相图",提出了一种储氢电极合金设计的新方法,可快速定位高放电容量区域,为储氢电极合金设计提供指导,缩... 详细信息
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用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究
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中国科学(E辑) 2009年 第5期39卷 948-953页
作者: 金钦华 王跃林 李铁 李昕欣 许钫钫 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200030 中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 微系统技术国家实验室上海200050 中国科学院硅酸盐研究所 上海200050
透射电镜内的原位拉伸测试是研究纳米尺度的单晶硅材料的力学性质的一种很有发展前景的研究方法.开展了集成单晶硅纳米梁的微电子机械系统测试芯片的设计、制作,并完成了原位拉伸的测试实验.集成的微电子机械系统芯片由基于静电梳齿结... 详细信息
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基于新型非易失内存的远程零拷贝文件系统
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国防科技大学学报 2020年 第3期42卷 9-16页
作者: 韩文炳 陈小刚 李顺芬 李大刚 陈诗雁 段有康 宋志棠 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049 北京大学深圳研究生院信息工程学院 广东深圳518055
为提升物联网与边缘计算应用中前端节点间的数据访问效率,提出了一种新型远程零拷贝文件系统。该文件系统无须借助特殊硬件,可直接基于通用网卡设备实现零拷贝的数据传输框架;充分利用新型非易失内存的随机访问特性,尽可能减少数据缓存... 详细信息
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InP基RTD特性的数值模拟研究
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固体电子学研究与进展 2010年 第3期30卷 317-322,332页
作者: 王伟 孙浩 孙晓玮 徐安怀 齐鸣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 信息功能材料国家重点实验室 上海200050
采用基于非平衡格林函数法(Non-equilibrium Green’s function,NEGF)量子输运模拟器WinGreen对InP基共振隧穿二极管(RTD)的输运特性进行了计算模拟,分析了Ga0.47In0.53As/AlAs以及富In组份势阱双势垒结构几何参数、散射参数、发射区和... 详细信息
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Littman结构的平移透镜外腔半导体激光器
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激光杂志 2017年 第6期38卷 1-3页
作者: 荣春朝 严进一 龚谦 中科院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室上海200050 中国科学院大学 北京100049
首次提出并实现了一种利用笼式共轴系统搭建的Littman结构平移透镜外腔半导体激光器。通过微调节架驱动准直透镜平移从而改变光栅表面的激光入射角,可以实现约8.5 nm的连续波长调谐,准直透镜平移1μm波长改变约0.02 nm,实验测量值与理... 详细信息
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基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型
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传感技术学报 2008年 第6期21卷 942-945页
作者: 赵楷 熊斌 车录锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证... 详细信息
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超导磁力仪射频屏蔽仿真与实验研究
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低温物理学报 2014年 第2期36卷 136-139页
作者: 刘洋 荣亮亮 蒋坤 常凯 孔祥燕 谢晓明 信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中科院上海微系统所-吉林大学“地球物理探测技术”联合实验室 上海科技大学
超导量子干涉器件(SQUID)是超导磁力仪的核心器件,应用于地球物理探测时,环境射频电磁场干扰SQUID工作,导致性能(噪声和工作稳定性等)全面下降,甚至无法正常工作.本文运用电磁场仿真技术和测试方法,对物探SQUID应用的射频干扰屏蔽方法... 详细信息
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用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征
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仪器仪表学报 2008年 第12期29卷 2527-2531页
作者: 吴义伯 徐爱兰 惠春 任秋实 李刚 上海交通大学生命科学技术学院 上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 上海200240 中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室 上海200050
用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能... 详细信息
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