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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：刘玉菲赵本刚吴亚明王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室上海200050 浙江大学杭州310027

本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计... 详细信息

本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT.

关键词： MOEMS技术磁场传感器扭转微镜面双光纤准直器

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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

作者：刘翔皋华敏李铁周萍王跃林传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 中国科学院研究生院，北京，100039 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯... 详细信息

微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点，近年来发展迅速，在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中，精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言，没有可动部件，不需要复杂的微泵微阀结构和控制，成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理，只需单层控制电极，工艺简单，通过优化结构，采用高介电常数介质层和减少介质层厚度，大大降低了液滴驱动电压。

关键词：微全分析系统数字微流控芯片静电力驱动

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高性感荧光传感材料的设计、性能及应用

高性感荧光传感材料的设计、性能及应用

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中国化学会第30届学术年会-第二十分会：光电功能器件

作者：贺庆国付艳艳徐炜范天驰姚俊俊高宜逊程建功传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所

危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全,这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来,荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。通过聚集态活化、聚集态发... 详细信息

危险化学品如爆炸物、神经毒剂和毒品等影响国家和社会安全,这些危险品的探测要求灵敏、快速和专一性识别以适应现场检测需要。近年来,荧光传感技术尤其由于其灵敏度高、选择性好、响应快等优点受到广泛关注。通过聚集态活化、聚集态发光调节、精巧的结构设计等合成了系列的高性能痕量危险品荧光传感材料。并以此为基础,制备了基于试纸或纳米基底的高性能传感器件,实现了部分危险化学品的探测应用。

关键词：爆炸物毒品神经毒剂荧光传感

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两维碰撞加速度传感器及其实用化

两维碰撞加速度传感器及其实用化

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第11届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：周伟刘民姜伟李昕欣中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器... 详细信息

基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4V,带宽500Hz。传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。

关键词：加速度传感器碰撞冲击测量两维碰撞 MEMS加工模块化封装

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CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器

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中国光学学会2010年光学大会

作者：徐德辉熊斌王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室中国科学院研究生院

微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结... 详细信息

微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。本文提出一种采用CMOS兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结构的制作难度。和传统的微机械热电堆红外探测器相比,自对准微机械热电堆红外探测器的释放孔大小是由多晶硅热电偶臂之间的间距确定,而不是由光刻工艺确定。为研究自对准微机械热电堆红外探测器性能和热电堆结构之间的关系,本文设计并制作了两种不同结构的自对准微机械热电堆红外探测器。测试结果表明方形热电堆结构可以获得大的输出电压及响应率,圆形热电堆结构则可以获得快的响应和大的探测率。

关键词：微机械热电堆红外探测器自对准 CMOS兼容微机电系统

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微图案技术及在组织工程中的应用

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中国组织工程研究 2018年第30期22卷 4900-4905页

作者：邱昌俊浑婷婷赵莹彤赵峰何静雯孙艳北京航空航天大学生物与医学工程学院生物力学与力生物学教育部重点实验室北京市100191 生物医学工程高精尖创新中心北京航空航天大学北京市102402 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海市200050

背景:随着微图案技术的不断创新和发展,其在细胞生物学、组织工程和再生医学等相关研究中也有着更加广泛的应用,为体外构建人工组织提供了新的动力。目的:总结并讨论微图案技术的分类、特点及其在组织工程中的应用。方法:检索2001至2017... 详细信息

背景:随着微图案技术的不断创新和发展,其在细胞生物学、组织工程和再生医学等相关研究中也有着更加广泛的应用,为体外构建人工组织提供了新的动力。目的:总结并讨论微图案技术的分类、特点及其在组织工程中的应用。方法:检索2001至2017年Web of Science数据库、Pub Med数据库及中国知网与微图案技术及其在组织工程中应用相关的文献,英文检索词为"micro-pattern technique,tissue engineering",中文检索词为"微图案技术,组织工程"。结果与结论:通过微图案技术可形成图案化的细胞排列,进而控制干细胞的形状,调控干细胞融合和分化等,以形成可用于组织替代物的人工组织工程产品,被广泛应用于骨组织工程、肌肉组织工程、血管组织工程及神经组织工程及肝脏组织工程研究中。然而,利用微图案技术构建人工组织的过程中,仍有许多细胞生物学机制和内在机制亟待进一步探索和阐明,例如:如何通过微图案技术构建人工肌肉组织,如何纯化许旺细胞,以及进一步促进微图案技术在血管组织工程和肝脏组织工程中的发展和创新等问题。

关键词：细胞图案化细胞形状细胞分化微图案技术组织工程细胞外基质 3D打印技术纤维支架生物材料细胞外基质细胞分化组织工程

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石墨烯三维微电极生物传感器研究

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传感器与微系统 2017年第2期36卷 4-7页

作者：唐琳吴蕾周麟杜晓薇吴春艳赵建龙传感技术联合国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050 上海科技大学上海200120

基于石墨烯优良的导电性和透明性,为改善生物传感器存在透明性不足的缺陷,提出了石墨烯三维微电极传感器的研究。利用SEM,Raman对其形貌进行表征,以及采用电化学测试电极电化学性能,结果表明:研究的石墨烯三维电极生物传感器在透明性和... 详细信息

基于石墨烯优良的导电性和透明性,为改善生物传感器存在透明性不足的缺陷,提出了石墨烯三维微电极传感器的研究。利用SEM,Raman对其形貌进行表征,以及采用电化学测试电极电化学性能,结果表明:研究的石墨烯三维电极生物传感器在透明性和电化学性能方面优于传统微电极生物传感器,为透明生物传感器的制作提供了新思路。

关键词：微电极阵列石墨烯三维电极平面电极电化学

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同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究

同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究

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2016中国环境科学学会学术年会

作者：金妍黄善洛宿子琪郭慧金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 上海师范大学上海200234 上海师范大学上海200234 中国科学院大学北京100049

采用MEMS工艺技术制备平面金电极,并利用阳级溶出伏安法检测水溶液中的铜离子浓度.考察了平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的响应情况,使用铋膜电极可以提高检测的灵敏度,同时避免使用汞膜电极带来的污染.实验结果表明,在pH=4.... 详细信息

采用MEMS工艺技术制备平面金电极,并利用阳级溶出伏安法检测水溶液中的铜离子浓度.考察了平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的响应情况,使用铋膜电极可以提高检测的灵敏度,同时避免使用汞膜电极带来的污染.实验结果表明,在pH=4.5的醋酸-醋酸钠缓冲液中,当沉积时间为3min时,平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的检出限分别达3μg/L和0.5μg/L.同时,由于每次检测溶出完成后可方便地将铋膜溶解更新,可以保证各次测定的重复性。

关键词：水环境铜离子铋膜平面金电极检测灵敏度

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基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造

基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造

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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

作者：郭联峰王翊戴正飞段国韬蔡伟平王跃林李铁中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家实验室传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院固体物理研究所安徽合肥 230031

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最... 详细信息

文中设计制造了基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度的二悬梁微加热器平台(MHP).利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.在最佳工作温度下(250℃),此微纳融合气体传感器的功耗仅为24mW,响应时间约为2s,对1ppm的乙醇的灵敏度(Rair/Rgas)可达到3.47,有望在安全监控、环境保护等方面得到广泛应用.

关键词：气体传感器制造工艺微型加热器平台二氧化锡薄膜

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同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究

同位镀铋膜平面金电极测定水样中铜离子的研究

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中国环境科学学会2016年学术年会

作者：金妍黄善洛宿子琪郭慧金庆辉赵建龙中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室中国科学院大学上海师范大学

采用MEMS工艺技术制备平面金电极,并利用阳级溶出伏安法检测水溶液中的铜离子浓度。考察了平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的响应情况,使用铋膜电极可以提高检测的灵敏度,同时避免使用汞膜电极带来的污染。实验结果表明,在pH=... 详细信息

采用MEMS工艺技术制备平面金电极,并利用阳级溶出伏安法检测水溶液中的铜离子浓度。考察了平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的响应情况,使用铋膜电极可以提高检测的灵敏度,同时避免使用汞膜电极带来的污染。实验结果表明,在pH=4.5的醋酸-醋酸钠缓冲液中,当沉积时间为3 min时,平面金电极和同位镀铋膜平面金电极对铜离子的检出限分别达3μg/L和0.5μg/L。同时,由于每次检测溶出完成后可方便地将铋膜溶解更新,可以保证各次测定的重复性。

关键词：同位镀铋膜平面金电极铜离子

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