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  • 3 篇 传感技术联合国家...
  • 3 篇 上海理工大学
  • 3 篇 传感技术联合国家...

作者

  • 47 篇 金庆辉
  • 40 篇 王跃林
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语言

  • 196 篇 中文
检索条件"机构=传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家级重点实验室"
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单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计
单片集成MEMS红外传感器的读出电路设计
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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者: 姚镭 李铁 郝跃国 熊斌 王跃林 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室微系统技术国家重点实验室上海 200050
实现了一种用于放大MEMS红外传感器微弱输出信号的低噪声读出电路。电路架构基于斩波技术(CHS),理论分析其能有效降低低频噪声。利用苏州和舰科技(HJTC)的商用0.18umCMOS工艺流程制作的试样芯片。测试结果证实了此电路的工作原理。整个... 详细信息
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曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究
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光电工程 2006年 第9期33卷 138-144页
作者: 杨尊先 李昕欣 于映 福州大学电子科学与应用物理系 福建福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动... 详细信息
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新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究
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仪器仪表学报 2006年 第7期27卷 693-697页
作者: 杨尊先 于映 林丽华 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机... 详细信息
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用苯并环丁烯进行圆片硅–硅气密性键合
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电子元件与材料 2006年 第2期25卷 55-57页
作者: 刘玉菲 李四华 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室微系统技术国家级重点实验室
应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片进行了圆片低温键合,并研究了其在气密性封装工艺中的应用。测试表明:在250℃的低温键合条件下,封装后样品的气密性优于3.0×10–***3/sHe;剪切力达4.7MPa以上;封装样品合格率达94%以上;通过热循环... 详细信息
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MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析
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电子元件与材料 2006年 第1期25卷 19-22,26页
作者: 杨尊先 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福建福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
为实现一种高量程加速度传感器的近临界阻尼设计以提高其输出性能,采用有限元方法分别研究了阻尼带隙宽度、阻尼介质特性及温度等对器件冲击性能的影响。结果表明:器件冲击响应是受迫振动与悬梁固有振动叠加;随着阻尼带隙变宽,悬梁固有... 详细信息
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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 刘玉菲 赵本刚 吴亚明 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室 微系统技术国家级重点实验室上海200050 浙江大学 杭州310027
本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计... 详细信息
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单晶硅纳米梁的分子动力学模拟
单晶硅纳米梁的分子动力学模拟
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第八届中国微米/纳米技术学术年会
作者: 曹共柏 焦继伟 陈云飞 李铁 杨恒 王跃林 中科院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室200050 东南大学机械工程学院教育部MEMS重点实验室 南京210096
本文采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1%,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能... 详细信息
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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究
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传感技术学报 2005年 第4期18卷 766-770页
作者: 杨尊先 于映 林丽华 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随... 详细信息
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微机械面型微加热器的热学分析
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功能材料与器件学报 2005年 第4期11卷 466-470,475页
作者: 吴雷 李铁 王立春 王翊 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分... 详细信息
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用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制
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真空科学与技术学报 2005年 第6期25卷 422-426页
作者: 杨尊先 于映 李昕欣 福州大学电子科学与应用物理系 福州350002 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器件,具体包括:先进的纳米硅尖制... 详细信息
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