检索结果-内蒙古大学图书馆

电镀与涂饰 2023年第15期42卷 57-64页

作者：王海英王辰伟刘玉岭赵红东杨啸陈志博王雪洁河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 光电信息科学与工程控制和安全技术重点实验室天津300308

集成电路铜互连沟槽内互连线厚度(THK)影响着集成电路的性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。基于无氧化剂、无缓蚀剂的碱性抛光液,研究了铜螯合剂FA/O II、介质促进剂柠檬酸钾(CAK)和抑菌剂1,2−苯并异噻唑啉−3−酮(BIT)对铜互连... 详细信息

集成电路铜互连沟槽内互连线厚度(THK)影响着集成电路的性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。基于无氧化剂、无缓蚀剂的碱性抛光液,研究了铜螯合剂FA/O II、介质促进剂柠檬酸钾(CAK)和抑菌剂1,2−苯并异噻唑啉−3−酮(BIT)对铜互连阻挡层化学机械抛光(CMP)中Cu去除速率和TEOS(正硅酸乙酯)去除速率及THK的影响。结果表明,THK受TEOS与Cu去除速率选择比的影响,与铜电阻呈负相关的关系。当FA/OⅡ质量分数为0.8%、CAK质量分数为1%及BIT质量分数为0.04%时,TEOS与Cu的去除速率比约为1.7,THK和电阻分别为225 nm和0.18Ω,均满足工业生产要求。

关键词：铜互联阻挡层化学机械抛光互连线厚度去除速率电阻

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

不同表面活性剂对铜互连阻挡层CMP一致性的影响

引用

电子元件与材料 2022年第10期41卷 1108-1113页

作者：魏艺璇王辰伟刘玉岭赵红东河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 光电信息控制和安全技术重点实验室天津300308

为实现铜互连阻挡层化学机械抛光的高平坦化,研究了阻挡层抛光液中表面活性剂的作用。在抛光液中分别添加非离子型表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFC-E)、本课题组研发的Ⅱ型活性剂以及复合表面活性剂,研究其对阻挡层CMP中铜和正硅酸乙酯(... 详细信息

为实现铜互连阻挡层化学机械抛光的高平坦化,研究了阻挡层抛光液中表面活性剂的作用。在抛光液中分别添加非离子型表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFC-E)、本课题组研发的Ⅱ型活性剂以及复合表面活性剂,研究其对阻挡层CMP中铜和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率及一致性的影响。实验结果表明,表面活性剂不仅可以改善Cu和TEOS的去除速率一致性和晶圆全局一致性,还可以降低铜表面的粗糙度,通过复配两种不同的表面活性剂,可以提高Cu和TEOS的去除速率,使Cu和TEOS的剩余厚度片内非均匀性(WIWNU)分别降低至1.39%和1.38%,铜表面粗糙度从5.25 nm降至1.51 nm。基于实验结果,研究并提出了表面活性剂影响抛光液润湿性,从而改善片内非均匀性和铜表面质量的机理。

关键词：化学机械抛光表面活性剂去除速率片内非均匀性粗糙度

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

超滤和活性剂协同作用对铜阻挡层CMP后缺陷的控制机理研究

引用

电子元件与材料 2022年第4期41卷 392-397页

作者：崔志慧王辰伟刘玉岭赵红东续晨河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 光电信息控制和安全技术重点实验室天津300308

在铜互连阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中,由于工艺和材料等因素会产生划伤和沾污等缺陷问题,造成器件失效、良率降低及潜在可靠性等问题。研究了抛光液中活性剂及超滤工艺对CMP后缺陷的影响,提出了活性剂和超滤协同控制CMP后缺陷的作用... 详细信息

在铜互连阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中,由于工艺和材料等因素会产生划伤和沾污等缺陷问题,造成器件失效、良率降低及潜在可靠性等问题。研究了抛光液中活性剂及超滤工艺对CMP后缺陷的影响,提出了活性剂和超滤协同控制CMP后缺陷的作用机理。通过粒径和大颗粒测试仪表征抛光液粒径和大颗粒数的变化,通过扫描电子显微镜(SEM)和接触角测试仪表征抛光液的变化。通过缺陷检测仪测试验证CMP后缺陷情况。实验结果表明,加入活性剂在未超滤的情况下,抛光液平均粒径从66.1 nm降为65.3 nm,粒径分布更加集中,缺陷总数从4251降低至1480。在此基础上通过研究不同超滤工艺对缺陷的影响,结果显示,在5μm+1μm二级超滤系统下,抛光液大颗粒数量从34.25万颗/mL减少到26.12万颗/mL,经图形片验证,缺陷总数和各缺陷占比显著降低,对于提高电路性能和产品良率有着重要意义。

关键词：化学机械抛光缺陷活性剂超滤工艺协同作用

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

国外机载导弹逼近告警装备发展趋势分析

引用

激光与红外 2022年第8期52卷 1107-1111页

作者：刘彤宇闫秀生王恒立光电信息控制和安全技术重点实验室天津300308 中国电子科技集团公司光电研究院天津300308

针对机载导弹逼近告警装备的快速发展和广泛应用,对比分析了紫外和红外导弹逼近告警装备的技术特点、应用场合及其应用局限;评价了国外机载红外告警装备的技术特点及发展现状;梳理了未来机载平台对红外告警技术的需求情况;讨论了国外机... 详细信息

针对机载导弹逼近告警装备的快速发展和广泛应用,对比分析了紫外和红外导弹逼近告警装备的技术特点、应用场合及其应用局限;评价了国外机载红外告警装备的技术特点及发展现状;梳理了未来机载平台对红外告警技术的需求情况;讨论了国外机载红外告警系统技术体制的发展趋势。

关键词：机载平台红外告警紫外告警发展趋势

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

2.79μm电光调Q Cr, Er:YSGG激光器

引用

激光与红外 2023年第2期53卷 225-230页

作者：李涛崔建丰岱钦丁宇邬小娇李福玖沈阳理工大学理学院辽宁沈阳110159 鞍山紫玉激光科技有限公司辽宁鞍山114000 光电信息控制与安全技术重点实验室天津300308

采用Cr, Er∶YSGG晶体作为激光增益介质,脉冲氙灯进行泵浦结合电光调Q技术,研制了2.79μm波段固体激光器。Cr, Er∶YSGG晶体中Cr^(3+)掺杂浓度为2 at.%,Er^(3+)离子掺杂浓度为30 at.%。电光晶体选用La_(3)Ga_(5)SIO_(14)(LGS)晶体作为... 详细信息

采用Cr, Er∶YSGG晶体作为激光增益介质,脉冲氙灯进行泵浦结合电光调Q技术,研制了2.79μm波段固体激光器。Cr, Er∶YSGG晶体中Cr^(3+)掺杂浓度为2 at.%,Er^(3+)离子掺杂浓度为30 at.%。电光晶体选用La_(3)Ga_(5)SIO_(14)(LGS)晶体作为退压调Q工作物质。分析讨论了Cr, Er∶YSGG晶体能级结构以及两种不同Cr^(3+)掺杂浓度对晶体激光性能的影响,谐振腔中输出镜透过率分别为T=70%、T=83%以及T=91%时单脉冲能量及斜效率的变化,并且利用软件模拟分析了晶体内的温度分布以及热透镜焦距随泵浦功率变化情况。结果表明,选用Cr^(3)掺杂浓度为2 at.%的Cr, Er∶YSGG晶体作为工作物质以及透过率为91%的蓝宝石作输出镜时能获得更高的输出能量及更好的光斑模式。当脉冲氙灯注入总能量为259 J,调Q延时设置为180μs,重复频率为5 Hz时,实现了最大单脉冲能量119 mJ的2.79μm激光的稳定输出,在此能量条件下测得脉冲宽度为68.65 ns,平均功率为0.595 W,斜率效率为0.11%。

关键词： 2.79μm Cr Er:YSGG晶体退压调Q LGS

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

通信感知一体化原型验证的研究现状与发展趋势

引用

通信学报 2023年第11期44卷 43-54页

作者：杨杰黄艺璇杜涛阙杭夏树强金石东南大学移动信息通信与安全前沿科学中心江苏南京210096 东南大学复杂工程系统测量与控制教育部重点实验室江苏南京210096 东南大学移动通信全国重点实验室江苏南京210096 中兴通讯股份有限公司广东深圳518055 移动网络和移动通讯多媒体技术国家重点实验室广东深圳518055

针对技术落地面临的实际挑战,对通信感知一体化原型验证的研究现状和发展趋势进行了阐述和总结。首先,概括基于单节点的通信感知一体化原型系统在定位、环境制图、成像、波形设计和波束追踪等方面的研究进展和实测性能。接着,从车联网... 详细信息

针对技术落地面临的实际挑战,对通信感知一体化原型验证的研究现状和发展趋势进行了阐述和总结。首先,概括基于单节点的通信感知一体化原型系统在定位、环境制图、成像、波形设计和波束追踪等方面的研究进展和实测性能。接着,从车联网和物联网场景入手,分析基于多点协作的通信感知一体化原型系统的实际增益。然后,聚焦基于跨设备的通信感知一体化原型验证,总结各传感器的优劣势和实测融合效果。最后,针对现有原型验证遇到的问题和挑战,指出通信感知一体化系统实现和技术验证的研究趋势。

关键词：通信感知一体化原型验证定位环境制图成像波形设计波束追踪

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

美军网络化协同电子战发展划代初探

引用

中国电子科学研究院学报 2022年第3期17卷 213-217,237页

作者：张春磊王一星吕立可陈鼎鼎王雪琴中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033 通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033

网络中心战理念在美军电子战领域的落地催生出了网络化协同电子战的理念,而近年来随着人工智能领域的快速发展,美军网络化协同电子战又呈现出了一些新特点与趋势。文章在对美军网络化协同电子战发展现状进行综述的基础上,尝试从网络中... 详细信息

网络中心战理念在美军电子战领域的落地催生出了网络化协同电子战的理念,而近年来随着人工智能领域的快速发展,美军网络化协同电子战又呈现出了一些新特点与趋势。文章在对美军网络化协同电子战发展现状进行综述的基础上,尝试从网络中心战与人工智能这两大驱动要素的维度,对美军网络化协同电子战的代际划分进行研究与探索。

关键词：网络化协同电子战网络中心战代际划分体系智能

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于孤子自频移效应的超短脉冲波长连续调谐

引用

光电技术应用 2023年第1期38卷 28-35页

作者：张永宁刘政陈科亦王毕艺丁宇赵万利光电信息控制和安全技术重点实验室天津中国人民解放军93046部队沈阳

作为光纤非线性效应中的一种,孤子自频移效应由于其特殊的脉冲自持性而成为光纤中超短脉冲波长调谐的有效方式。从理论计算和实验验证角度对光纤中的孤子自频移效应进行研究,基于广义非线性薛定谔方程对光纤中的孤子自频移效应进行仿真... 详细信息

作为光纤非线性效应中的一种,孤子自频移效应由于其特殊的脉冲自持性而成为光纤中超短脉冲波长调谐的有效方式。从理论计算和实验验证角度对光纤中的孤子自频移效应进行研究,基于广义非线性薛定谔方程对光纤中的孤子自频移效应进行仿真计算,通过测量超短脉冲在保偏光子晶体光纤输出端的光谱对其进行实验分析,理论和实验结果相符合,均表明基于孤子自频移效应的超短脉冲波长可以实现大于300 nm的光纤反常色散区连续调谐。

关键词：孤子自频移超短脉冲波长调谐光子晶体光纤

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

电子战破击舰船超视距防空体系策略分析

引用

火力与指挥控制 2022年第11期47卷 76-80,87页

作者：周园明蒋春山曾政智周天卫通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033 中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033

从舰船防空面临的挑战着手,阐述了当前舰船防空的现状,并以美海军NIFC-CA体系为典型代表,阐述了舰船超视距发展趋势;分析了预警机在舰船超视距防空体系中的核心作用。以电子战对超视距防空体系的信息系统破坏性为突破口,基于对预警机的... 详细信息

从舰船防空面临的挑战着手,阐述了当前舰船防空的现状,并以美海军NIFC-CA体系为典型代表,阐述了舰船超视距发展趋势;分析了预警机在舰船超视距防空体系中的核心作用。以电子战对超视距防空体系的信息系统破坏性为突破口,基于对预警机的电子干扰,对舰船超视距防空体系的体系破击点和方式进行了分析,并在此基础上探讨了电子战的未来发展,以期削弱舰船防空体系的作战能力。

关键词：舰船防空远程交战预警机电子战防空体系

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

红外微扫描超分辨率仿真分析与实验研究

引用

光电技术应用 2023年第1期38卷 46-51页

作者：于快快郝克刘严严刘政杜玉萍梁志强常瑶李宇海光电信息控制和安全技术重点实验室天津中国电子科技集团公司光电研究院天津不详

对微扫描成像技术的研究现状进行了分析,建立了红外成像系统模型,分析了微扫描成像技术的技术原理,对其超分辨能力理论仿真分析,并通过实际红外微扫描成像系统对超分辨率效果进行验证,并对成像结果进行了分析和评价。

关键词：微扫描超分辨率信息熵质量评价

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：