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机构

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作者

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检索条件"机构=兰州大学特殊功能材料与结构设计教育部重点实验室"
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极紫外光刻光源研究进展
极紫外光刻光源研究进展
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引用
全国第二十次原子、原子核物理研讨会暨全国近代物理研究会第十三届学术年会
作者： 李博文 兰州大学核科学与技术学院 兰州 730000 兰州大学特殊功能材料与结构设计教育部重点实验室 兰州 730000
自1986年极紫外光刻技术(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)被提出,极紫外光刻光源的研发一直是实验室和半导体制造工业界的一个热点,商业化设备的发展已取得了长足的发展.由于多层Mo/Si反射镜在13.5nm波长上2％带宽内("内带&... 详细信息
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