检索结果-内蒙古大学图书馆

电子元件与材料 2022年第12期41卷 1324-1331页

作者：朴林华佟嘉程李备张严北京信息科技大学北京市传感器重点实验室北京100101

揭示了一种动热源摆式双轴MEMS热加速度计的敏感机理。在给出双轴敏感原理的基础上,通过建立二维物理研究模型、网格划分、加载加速度等方法对双轴敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明:(1)开机1.8 s后在敏感结构内形成一个以动热源... 详细信息

揭示了一种动热源摆式双轴MEMS热加速度计的敏感机理。在给出双轴敏感原理的基础上,通过建立二维物理研究模型、网格划分、加载加速度等方法对双轴敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明:(1)开机1.8 s后在敏感结构内形成一个以动热源为中心的温度场;(2)当有加速度加载时,动热源沿着加速度的方向移动,温度场随之偏移,两个正交X、Y敏感轴方向上对称设置的两热线温差ΔT_(X)、ΔT_(Y)随着输入加速度a_(x)、a_(y)的加大呈现线性增长,X、Y两轴平均温度灵敏度为7.2×10^(-2)K/g;(3)根据输入-输出特性a_(x)-V_(XOUT)和a_(y)-V_(YOUT)曲线得到数学模型,X、Y两轴平均灵敏度为0.502 V/g,平均非线性度为2.82%,平均交叉耦合为2.3%,从而揭示了敏感机理。

关键词：热气体加速度计微机械动热源双轴交叉耦合敏感机理

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浸没式燃烧器结构改进及低氮燃烧模拟研究

浸没式燃烧器结构改进及低氮燃烧模拟研究

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作者：薛志延中国石油大学(北京)

学位级别：硕士

近年来,人类工业化的步伐逐渐加快,随之而来的环境污染和资源短缺问题也受到了人们越来越多的关注。石化行业对于节能减排的要求也日益严苛,天然气由于其燃烧产物的清洁性在供暖、化工、机械等领域得到了越来越广泛的应用。近年来,针对... 详细信息

近年来,人类工业化的步伐逐渐加快,随之而来的环境污染和资源短缺问题也受到了人们越来越多的关注。石化行业对于节能减排的要求也日益严苛,天然气由于其燃烧产物的清洁性在供暖、化工、机械等领域得到了越来越广泛的应用。近年来,针对天然气燃烧炉的节能减排研究也成为了如今研究的主要方向之一。本文以中海油某天然气接收站浸没燃烧式气化器（SCV）中燃烧炉部分的节能减排为研究目标。利用CFD技术对现役燃烧炉以及新型低氮燃烧炉的燃烧与排放特性进行了模拟计算,证明了低氮燃烧炉在降低污染物排放方面的优越性。为了研究现役天然气燃烧炉污染物排放超标的原因,首先对现役天然气燃烧炉的燃烧情况进行了数值模拟研究。研究结果显示:（1）模拟计算结果和工业值相对误差小于10%,证明了计算结果和数学模型的可靠性;（2）炉膛内部存在局部高温区域,这会在燃烧过程中生成大量NOx,燃烧炉出口处NOx浓度为1108.60mg/m3;（3）甲烷和空气混合不完全导致燃烧不充分是造成出口处CO浓度过高的主要原因,出口处CO浓度为2376.30mg/m3。针对现役天然气燃烧炉中所存在的问题,对燃烧炉的空气入口结构进行改进,并结合分级燃烧与烟气再循环原理,提出了一种新型的低氮燃烧炉,并对低氮燃烧炉及其炉膛进行了数值模拟研究。研究结果表明:（1）采用环向四入口结构可以大幅度降低出口烟气中污染物浓度,但炉膛内无法形成明显的火焰形状;（2）采用轴向空气入口可以在炉膛中形成明显的火焰轨迹,但出口烟气中污染物浓度高于环向四入口结构;（3）新型燃烧炉采用烟气再循环技术,温度场均匀性提高,大幅降低了燃烧温度,减少了NOx的生成量;（4）采用了空气分级技术,使燃料和空气混合燃烧更加充分,减少了CO的排放量;（5）新型燃烧器出口的NOx排放浓度为71.96mg/m3,较现役燃烧器下降了93.50%;CO排放浓度为69.17mg/m3,较现役燃烧炉下降了97.46%。本文还研究了烟气再循环率、一次风比例和过剩空气系数对于燃烧器温度场以及污染物生成量的影响。结果表明:当新型燃烧器的烟气再循环率为0.3,一次风比例为55%,过剩空气系数为1.35时能够达到最佳燃烧效果。

关键词：数值模拟低NOx燃烧器分级燃烧烟气循环

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范德华层状材料YCl的物性研究

范德华层状材料YCl的物性研究

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作者：方铮辉北京邮电大学

学位级别：硕士

尽管以易于剥离到少层或单层而闻名,绝大多数范德华层状材料的层间仍然存在着难以忽视的相互作用。除了范德华相互作用外,各种跨层的共价准键和长程库仑吸引在材料层间起着主导作用。对层间相互作用的类型、强度和产生机制的理解和探索... 详细信息

尽管以易于剥离到少层或单层而闻名,绝大多数范德华层状材料的层间仍然存在着难以忽视的相互作用。除了范德华相互作用外,各种跨层的共价准键和长程库仑吸引在材料层间起着主导作用。对层间相互作用的类型、强度和产生机制的理解和探索仍处于相当初步的阶段。另一方面,作为层状材料家族中的新成员,层状电子化合物因含有分布在晶格空隙中的阴离子化电子而具有很高的载流子迁移率和接近碱金属的低功函数,被认为有光明的应用前景。遗憾的是,由于活泼的阴离子电子直接暴露在分子层的表面上,已知的层状电子化合物在空气中很不稳定。在此,基于第一性原理计算,我们探索了一种阴离子电子分布在层内的新型范德华层状电子化合物材料YCl。我们预测,YCl的单层不仅可以稳定存在,而且具有较强的热稳定性和优良的面内力学性能,具备无衬底独立成膜的能力。由于具有独特的Cl-Y-Y-Cl三明治状单层结构,YCl层间的相互作用非常微弱。其具有比石墨烯和大多数二维材料更低的层间耦合强度、剥离能、层间最小滑动势垒以及弱层数依赖性的能带结构。更有趣的是,与已知的其他层状电子化合物不同,由于具有外阴内阳的层内离子分布,YCl中活跃的阴离子电子被外侧惰性的氯离子层本征的封装在层内。正是这一结构上的内在差异使YCl暴露在空气中时具有在层状电子化合物中罕见的稳定性。我们的研究不仅揭示了 YCl所具有的独特物理性质,阐明了其弱层间耦合和强稳定性产生的机制,而且为范德华层状电子化合物材料的下一步发展提供了新的思路。

关键词：第一性原理范德华层状材料层间相互作用电子化合物阴离子电子

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基于数字孪生的热交换器实时状态监测技术研究

基于数字孪生的热交换器实时状态监测技术研究

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作者：蔡睿中国石油大学(北京)

学位级别：硕士

智能化,数字化已成为现代工业发展的必然趋势,数字孪生技术是实现工业数字化的一个重要的方法。本文针对石油化工行业中过程和能源系统的热交换器缺乏数字化的实时状态监测技术的问题,利用目前数字孪生的实现手段,提出了面向数字孪生应... 详细信息

智能化,数字化已成为现代工业发展的必然趋势,数字孪生技术是实现工业数字化的一个重要的方法。本文针对石油化工行业中过程和能源系统的热交换器缺乏数字化的实时状态监测技术的问题,利用目前数字孪生的实现手段,提出了面向数字孪生应用的高保真有限元自适应降阶建模方法,研究了面向多物理场有限元模型的保结构降阶方法,建立了面向热交换器数字孪生应用的结垢虚拟感知和预测方法,最后开发了基于数字孪生的热交换器状态监测可视化系统,具体研究内容如下: (1)提出了面向数字孪生应用的高保真有限元自适应降阶建模方法。针对高保真有限元模型无法在实时数字孪生体系提供模型支持,以及数字孪生体系下巨量数据导致降阶模型构建的离线计算资源消耗的问题,引入了自适应模型降阶思想,提出了基于本征正交分解的径向基自适应模型降阶技术,通过分析原始快照数据集中每个快照数据中物理场数据之间的动态关系作为自适应采样降阶的依据,在可接受的精度下降的同时,提高了降阶建模的速度。在管板式换热器折板方腔的流动案例中,所提出的方法相比不使用采样技术时降阶建模总时间减少了6.73倍,平均绝对百分比误差为在1%以下,表明所提出的方法能够提高数字孪生体的降阶建模效率。 (2)研究了多物理场有限元分离场保结构降阶建模方法。针对多物理场高保真数字模型在降阶建模过程中出现的耦合关系丢失导致精度下降的问题,研究了多物理场有限元分离场保结构降阶建模方法。考虑到分离场保结构降阶中分离出的多个降阶子系统之间存在大量数据交换的问题,引入了自编码器来对分离出的多源降阶子模型进行降维和融合。最后,通过对比不同降阶算法对多物理场有限元数值模型的降阶性能,分析证明了该方法的有效性。相比非保结构降阶方法,所提出的方法的预测精度提高了7.8倍,相比传统的保结构降阶方法,所提出的方法的预测精度提高了2.5倍。 (3)建立了面向热交换器数字孪生的结垢故障感知和预测方法。针对传统热交换器常使用污垢热阻等间接指标反映结垢故障程度,缺乏直接准确表征热交换器污垢厚度手段,导致热交换器结垢故障诊断不直观,误差大和实用性差等问题,搭建管板式热交换器的结垢故障多物理场有限元降阶模型,能够感知不同结垢厚度下热交换器内部温度场分布情况、理论传热性能、流体流动分布等内部运行参数,并且针对传统神经网络故障预测算法由于故障数据不足出现的欠拟合和过拟合问题,通过降阶模型开发了基于BP神经网络的结垢厚度预测模型。结果表明:降阶模型计算结果与全阶模型结果之间的误差在1%以下;降阶模型与全阶模型相比其计算时间由分钟级降至秒级;使用降阶模型开发的BP算法相比传统BP算法有效避免了欠拟合和过拟合问题。 (4)开发了基于数字孪生的热交换器状态监测可视化系统。分析了系统架构与功能需求,在前期研究基础上设计了基于数字孪生的热交换器状态监测可视化系统,采用前后端分离的技术对系统进行了开发,构建了状态监测算法库,集成了换热器孪生模型,实现了热交换器状态监测和故障预测相关算法的参数配置、算法运行和可视化结果展示等应用,可有效提升设备的管理、运维水平。

关键词：热交换器数字孪生模型降阶状态监测故障诊断

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物联网场景下面向高能效联邦学习的资源分配算法研究

物联网场景下面向高能效联邦学习的资源分配算法研究

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作者：张家祥北京邮电大学

学位级别：硕士

在信息通信与人工智能等技术的推动下,物联网产业高速发展,各类智能应用相继涌现。联邦学习作为一种分布式机器学习技术,利用参数代替原始数据传输迭代更新模型,避免了隐私泄露并降低了通信开销,受到广泛关注。然而,在物联网场景中,任... 详细信息

在信息通信与人工智能等技术的推动下,物联网产业高速发展,各类智能应用相继涌现。联邦学习作为一种分布式机器学习技术,利用参数代替原始数据传输迭代更新模型,避免了隐私泄露并降低了通信开销,受到广泛关注。然而,在物联网场景中,任务发起者与计算设备之间缺失信任,数据潜力难以充分发掘,联邦学习的模型性能受限。将具有去中心化、不可篡改、可追溯特性的区块链技术融入联邦学习,可实现分布式可信的模型构建。同时,在工业物联网领域,工业设备计算资源具有显著的动态性与异质性,决策模型的构建部署周期受限。数字孪生技术通过实时的物理状态感知、映射、计算与交互,将加速决策模型的收敛。然而,在物联网中,受到系统计算资源、通信资源和能量资源等种种限制,融入区块链、数字孪生技术以提升联邦学习性能存在关键挑战。联邦学习性能提升和系统能耗相互制约,有效合理地分配多维资源从而实现高能效的联邦学习至关重要。本文针对物联网场景下联邦学习训练过程中泛在节点可信协同难、模型参数实时交互难的问题,结合区块链和数字孪生技术,分别提出了基于区块链的可信联邦学习框架和数字孪生赋能联邦学习的高效模型构建框架。进而,考虑联邦学习性能提升和系统能耗相互制约的问题,深入研究了基于深度强化学习的联合资源分配算法,对实现高能效联邦学习具有重要意义。首先,本文提出了一种基于区块链的可信联邦学习框架,设计了基于委员会机制的本地模型筛选方案,有效加速模型收敛并提高模型精度。进而,考虑物联网中多维资源受限对区块链和联邦学习联合部署造成的挑战,提出了一种联合频谱资源分配、区块大小调整及主节点选择的资源分配策略,实现高能效的联邦学习。仿真结果表明,对比传统联邦学习等方案,所提框架提升了联邦学习模型精度并加速了模型收敛。同时,对比传统资源分配算法,所提算法在保证联邦学习和区块链性能的前提下,显著降低了系统能耗。其次,本文提出了一种面向工业物联网的数字孪生赋能联邦学习框架,设计了一种自适应联邦学习策略,通过联合优化训练方式选择和频谱资源动态分配策略以最小化系统能耗。仿真结果表明,对比传统联邦学习等方案,所提算法可以自适应调整训练策略和频谱分配来降低系统能耗,为工业物联网中数字孪生赋能联邦学习的资源分配算法设计提供了理论指导。

关键词：物联网联邦学习区块链数字孪生资源分配

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改进分数阶梯度下降算法及其应用研究

改进分数阶梯度下降算法及其应用研究

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作者：黄晓昕中国石油大学(北京)

学位级别：硕士

随着科学技术的不断进步,优化在多个学科领域发挥重要的作用.物理描述、数学建模、最优控制等复杂问题可以通过抽象描述为最优化问题而得以简化.梯度下降算法由于简单易用,已成为求解各类无约束优化问题的有效工具.但是,传统梯度下降算... 详细信息

随着科学技术的不断进步,优化在多个学科领域发挥重要的作用.物理描述、数学建模、最优控制等复杂问题可以通过抽象描述为最优化问题而得以简化.梯度下降算法由于简单易用,已成为求解各类无约束优化问题的有效工具.但是,传统梯度下降算法具有收敛速度慢,容易陷入局部极值等缺点.近年来,学者们开始将分数阶微积分应用于梯度类算法的设计中,以克服梯度法的缺陷.目前国内外对分数阶梯度的理论和应用研究处于发展的初期,现有的分数阶梯度下降算法在解决最优化问题时尚存在不足,研究仍然不够深入.因此,本文旨在探索分数阶梯度下降算法的特性,设计出全局搜索能力强、收敛速度快且精度高的分数阶梯度下降算法,以拓展基于梯度下降法的设计研究的应用范围,提高实际问题的解决效率. 首先,本研究基于数值实验结果,探究了分数阶梯度下降算法的自适应性.通过比较非精确线搜索在不同性状函数下表现出的特性,给出了分数阶梯度下降算法在搜索步长时的推荐准则,阐释了非精确线搜索准则对算法收敛速度的影响. 其次,为了提高算法的全局搜索能力和跳出局部极值,本研究提出了具有模拟退火思想的拟分数阶梯度下降算法.该算法依概率接受劣解,使其获得跳出当前解所在区域的能力,搜索到其他可能更好的解.通过函数优化测试和比较分析,验证了该算法在求解多峰问题时具有良好的全局搜索能力. 最后,针对系统辨识问题,本研究利用全局收敛性更好的拟分数阶梯度下降-模拟退火算法对系统的参数进行估计,并通过仿真测试展示了改进算法有效避免分数阶梯度下降算法受初始值影响、容易陷入局部极值等问题,证明了改进算法具有更强的实用性和可靠性.

关键词：分数阶梯度下降算法非精确线搜索模拟退火全局收敛性系统辨识

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社区燃气管道泄漏过程仿真与抢修风险评价

社区燃气管道泄漏过程仿真与抢修风险评价

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作者：李腾中国石油大学(北京)

学位级别：硕士

城市燃气管道由于腐蚀、电流干扰和管道老化等因素导致泄漏事故常有发生,燃气的实际泄漏速率和浓度分布是燃气管道泄漏事故的重要评价指标之一,可用来评价泄漏事故对气源及用户影响程度,也可以为事故后果评价提供参考。为了减小泄漏事... 详细信息

城市燃气管道由于腐蚀、电流干扰和管道老化等因素导致泄漏事故常有发生,燃气的实际泄漏速率和浓度分布是燃气管道泄漏事故的重要评价指标之一,可用来评价泄漏事故对气源及用户影响程度,也可以为事故后果评价提供参考。为了减小泄漏事故对用户用气造成的影响,并保障抢修作业的顺利进行,研究燃气泄漏后压力和流量随时间的变化规律并识别维抢修过程中关键风险因素具有重要的理论意义和应用价值。本文首先建立了燃气管道泄漏仿真模型,模型由基本控制方程、气体状态方程、物性方程和泄漏计算模型组成,考虑到燃气泄漏过程为瞬态过程,采用特征线法对数学模型进行变换,进而求解管内各节点的压力、温度、流量以及泄漏速率等参数随时间的变化规律。针对某条燃气管道泄漏工况进行计算,将模型求解结果与TGNET软件的仿真结果对比,误差在2%以内,证明模型具有较高的精度。根据建立的社区燃气管网泄漏仿真模型,对1cm、2cm和3cm泄漏孔径及不同泄漏位置的工况进行了模拟,结果表明泄漏孔径越大,相同时间内泄漏速率和泄漏量越大,而泄漏位置不同对各参数的影响较小。其次针对埋地燃气管道内燃气泄漏的工况,利用FLUENT软件建立大气-土壤混合的泄漏扩散模型,湍流模型选择Realizable k-ε模型,将泄漏孔设为压力入口,空气区域的左边界设为速度入口,其余边界为压力出口,考虑社区燃气管道一般为中低压的特点,选取3000Pa、0.1MPa和0.2MPa分别进行模拟。模拟结果表明,压力对泄漏燃气的浓度扩散影响十分明显,压力越大,气体扩散越快,同时也考虑了不同风速对燃气扩散的影响,受风速影响,燃气会被吹离泄漏位置,监测点甲烷浓度先增大后趋于平缓。最后对燃气管道泄漏后的维抢修阶段开展深入研究,以接警处置、作业准备、实施修段和后期恢复四个抢修阶段为主体。综合考虑不同维抢修阶段下的36种风险因素,根据贝叶斯网络基本原理建立抢修风险评价模型,采用专家打分法确定先验概率,利用Ge NIe软件确定事件出现概率,将事件出现概率的变化率作为判断关键风险因素的依据,并针对评价结果提出应做好技术交底、应急物资管理和现场人员监督等措施,保障抢修作业合理安全。

关键词：燃气管道泄漏仿真扩散模拟抢修风险

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数据特征机制下的符号回归研究

数据特征机制下的符号回归研究

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作者：何柏河中国石油大学(北京)

学位级别：硕士

符号回归(Symbol Regression,SR)表示从数学表达式空间中找到一个拟合给定数据集的符号方程,演化计算和机器学习是解决符号回归问题的主流方法。然而,演化计算通常在不利用数据集特征的情况下,随机地转换个体来搜索数据集的结果,从而导... 详细信息

符号回归(Symbol Regression,SR)表示从数学表达式空间中找到一个拟合给定数据集的符号方程,演化计算和机器学习是解决符号回归问题的主流方法。然而,演化计算通常在不利用数据集特征的情况下,随机地转换个体来搜索数据集的结果,从而导致演化计算的搜索过程较慢且最终的结果不稳定;机器学习(包括深度学习)方法通常会因为预定义的回归模型所假设的数据集分布与真实的数据集分布不同,导致结果产生偏差。本文针对这些问题提出了利用数据特征指导的泰勒遗传编程算法TaylorGP。 TaylorGP从给定数据集上确定展开点并生成一个6)6)阶泰勒多项式。得到的6)6)阶泰勒多项式可以展现出目标函数的数据特征(称为泰勒特征):低阶多项式判别、变量可分性、有界性、单调性和奇偶性,从而帮助TaylorGP建立数据集到目标符号方程的映射关系。不同于传统演化计算的初始化和交叉变异等重组过程,TaylorGP提出的函数特征演化方法基于泰勒多项式的函数特征重新设计了个体初始化算子来随机生成个体,以防止种群过早收敛;同时TaylorGP基于函数特征设计出了一种适应性重组算子来进化个体,这种重组算子能够保证演化产生的后代与目标解具有相同的函数特征,因此在很大程度上缩小了种群搜索空间。实验在三种基准数据集上进行:经典符号回归数据集、Penn机器学习数据集和Feynman物理数据集。实验结果表明,与XGBoost、BSR、GPLearn等9种基准算法相比,从泰勒多项式中挖掘的数据特性能够为TaylorGP提供有效指导,使得TaylorGP不仅能获得更高的预测精度,而且能更快地找到稳定的结果。然而,由于TaylorGP提取的特征都是局部的,在高维情况下会因为数据集变稀疏导致拟合效果欠佳。为了解决这一问题,本文提出了一种基于多点泰勒展开的遗传编程算法MTaylorGP,MTaylorGP通过将多点泰勒展开提取出的一组局部特征转换成全局特征来帮助寻找符号方程。本文还提出了一种基于多赌臂机的动态空间划分策略,通过动态调整划分空间,以缓解分区不正确造成的问题。通过将MTaylorGP与TaylorGP在内的基准算法对比,证明了MTaylorGP不仅能缓解高维数据集下的稀疏性问题,而且能搜索到适应度更优的目标公式。

关键词：泰勒多项式遗传编程符号回归动态空间划分稀疏回归

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海上大井距热采窜流识别及调控技术研究

海上大井距热采窜流识别及调控技术研究

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作者：冯亚斌中国石油大学(北京)

学位级别：硕士

热采在海上稠油油藏取得了很好的开发效果,为我国石油供应提供了有效保证,但由于注采工艺及储层特征影响,注采井间逐渐发生汽窜,严重影响了海上稠油的高效开发。本文针对海上稠油油藏热采过程中出现的窜流问题,以南堡35-2油田为例进行... 详细信息

热采在海上稠油油藏取得了很好的开发效果,为我国石油供应提供了有效保证,但由于注采工艺及储层特征影响,注采井间逐渐发生汽窜,严重影响了海上稠油的高效开发。本文针对海上稠油油藏热采过程中出现的窜流问题,以南堡35-2油田为例进行窜流识别及调控技术研究。依据海上热采储层流体物性参数,开展大井距热采三维物理模拟实验,基于相同尺度的数值反演模型,通过多参数扩展研究,分析了大井距热采窜流规律,优选了影响窜流的主控因素。以南堡35-2油田为例,研究多元热流体、蒸汽驱窜流过程注采参数的变化规律,根据水平井注采曲线变化特征,绘制海上大井距窜流识别图版,并在实际海上稠油油藏进行应用,结合生产动态曲线验证了图版的准确性。应用能量守恒和物质平衡方法,建立考虑凝析、温压变化的窜流通道定量描述模型,验算非均质储层的窜流体积,满足实验精度要求,并在实际海上稠油油藏中进行应用。采用了油田实际的流体物性及地质参数,建立了南堡35-2油田区块数值模型,拟合了蒸汽驱井组的生产动态,完成了大井距窜流后注采参数调整和氮气泡沫调控参数优化。本文通过物理实验、数值模拟及油藏工程理论等手段分析大井距热采窜流规律,进行窜流识别,计算得到通道体积为6655.8m3,对注汽速度、采注比和间歇天数进行参数调整,对影响氮气泡沫的注入时机、泡沫浓度、气液比和段塞尺寸进行参数优化,得到最优的参数调整和氮气泡沫调控方案。

关键词：大井距热采识别调控物理模拟

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微系统集成全新阶段——IC芯片与电子集成封装的融合发展

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微电子学与计算机 2021年第1期38卷 1-6页

作者：缪旻金玉丰北京信息科技大学信息微系统研究所北京100101 北京大学深圳研究生院深圳518055

拓展摩尔定律已成为集成电路及电子信息通信硬件产业的重大战略之一,其中微系统技术发展进入全新阶段,集成电路芯片与集成封装组件的界限日渐模糊,形成了融合发展的新局面,正对微系统异质集成技术领域发展产生深远影响.结合团队科研实践... 详细信息

拓展摩尔定律已成为集成电路及电子信息通信硬件产业的重大战略之一,其中微系统技术发展进入全新阶段,集成电路芯片与集成封装组件的界限日渐模糊,形成了融合发展的新局面,正对微系统异质集成技术领域发展产生深远影响.结合团队科研实践,本文从架构演进、芯片-封装一体化设计策略、多物理域协同分析与优化、集成平台的重大创新等层面,分析IC与集成封装融合发展阶段的技术特征、内涵与动向,并对未来应用前景、发展路径进行展望.

关键词：微系统三维异质集成拓展摩尔定律三维系统芯片电子设计自动化组装集成技术

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