检索结果-内蒙古大学图书馆

分析化学 2009年第3期37卷 471-476页

作者：朱亮叶雄冯焱颖冯金杨武雁斌周兆英清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器与机械学系传感技术联合国家重点实验室

利用微机械加工技术,在ITO玻璃上设计制作了基于介质上电润湿效应的以离散液滴为对象的免疫检测芯片,对芯片的液滴驱动特性、免疫反应参数进行了测试,并对小鼠IgG和羊抗鼠IgG-HRP进行了初步的免疫测试。研究结果表明,在电压100V的情况... 详细信息

利用微机械加工技术,在ITO玻璃上设计制作了基于介质上电润湿效应的以离散液滴为对象的免疫检测芯片,对芯片的液滴驱动特性、免疫反应参数进行了测试,并对小鼠IgG和羊抗鼠IgG-HRP进行了初步的免疫测试。研究结果表明,在电压<100V的时候,接触角测量值基本上和预测曲线吻合,在>100V的情况下出现了接触角饱和现象,在芯片上实现了液滴操纵,120V时得到最大平均速度为3.75mm/s;该芯片可以实现免疫反应检测,所需样品体积为0.5μL,检测时间约为20min,对于羊抗鼠IgG-HRP实验系统的检测范围为0.1～20mg/L。

关键词：介质上电润湿微流体液滴芯片实验室免疫检测

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MEMS变发射率真空热控器件研究进展

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真空科学与技术学报 2009年第4期29卷 403-410页

作者：任大海田景峰尤政清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

变发射率热控技术是空间环境下的重要热控手段。微小卫星质量轻,尺寸小,功耗低及其真空环境工作等特点对热控系统提出了新的要求,相应热控器件应具有小质量、大发射率调节比、关闭状态漏热小、响应快等特点。MEMS技术由于其设计灵活性... 详细信息

变发射率热控技术是空间环境下的重要热控手段。微小卫星质量轻,尺寸小,功耗低及其真空环境工作等特点对热控系统提出了新的要求,相应热控器件应具有小质量、大发射率调节比、关闭状态漏热小、响应快等特点。MEMS技术由于其设计灵活性高、功耗低及器件体积、重量方面的优势,可很好地满足这类器件的要求。本文重点对基于MEMS技术的微百页窗,微热开关,微静电换热器等技术的研究进展、关键技术与适用范围进行了归纳总结,将基于MEMS技术的变发射率器件和基于材料研究的电致变色和热致变色这两种技术进行了对比分析,指出了MEMS技术在微小卫星变发射率热制器件中的发展趋势和潜力。

关键词：微机电系统真空热控变发射率百页窗

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基于氧化锌纳米线的硅谐振式加速度计(英文)

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光学精密工程 2009年第6期17卷 1279-1285页

作者：陈国炜朱荣中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 清华大学精密仪器及机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计,该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器。采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线,并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性。在... 详细信息

设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计,该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器。采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线,并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性。在加速度的作用下,质量块引起的惯性力通过支撑梁对纳米线施加应力,因此,在谐振条件下,纳米线谐振频率的变化反映了加速度的大小。谐振式加速度计的准数字输出能解决多数MEMS器件输出微弱信号检测难的问题。实验结果表明,加速度计的灵敏度随着纳米线的厚度的减小而急剧增加,选择500nm厚度的纳米线作为理论分析,加速度计的灵敏度可达2.5kHz/g以上。

关键词：氧化锌纳米线微机电系统加速度计谐振器介电电泳

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集成光栅干涉微位移测量方法

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纳米技术与精密工程 2009年第1期7卷 56-59页

作者：伍康叶雄英刘力涛陈烽周兆英清华大学精密仪器与机械学系北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、... 详细信息

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成.入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化,通过测量衍射光强的变化可以得到位移.测试实验结果表明,所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测,最小可检测的位移约0.2nm.

关键词：位移测量干涉法衍射光栅微机电系统

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布里渊散射分布式光纤传感器研究热点跟踪

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激光技术 2009年第5期33卷 473-477,481页

作者：任成张书练清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

综述了基于布里渊散射的分布式光纤传感技术最新进展。介绍了其测量原理和研究现状;阐述了该领域目前的热点研究问题,包括空间分辨率提高、解决多参量测量的交叉敏感问题、消偏振衰落提高测量精度等;比较了各种解决方案的利弊;展望了今... 详细信息

综述了基于布里渊散射的分布式光纤传感技术最新进展。介绍了其测量原理和研究现状;阐述了该领域目前的热点研究问题,包括空间分辨率提高、解决多参量测量的交叉敏感问题、消偏振衰落提高测量精度等;比较了各种解决方案的利弊;展望了今后的发展方向。

关键词：传感器技术分布式光纤传感布里渊散射空间分辨率交叉敏感消偏振衰落

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敞开式小型线-筒电极负电晕放电离子源(英文)

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光学精密工程 2009年第8期17卷 1953-1957页

作者：唐飞王晓浩刘坤张亮清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 北京交通大学电子信息工程学院北京100044

针对目前商用质谱仪的离子源都为封闭式且工作在真空或者低气压环境中,应用范围十分受限这一问题,提出了一种新型的可在大气环境下工作的离子源。该离子源通过电晕放电产生离子,呈线-筒结构,由内电极和外筒电极组成,电极直径分别为0.16m... 详细信息

针对目前商用质谱仪的离子源都为封闭式且工作在真空或者低气压环境中,应用范围十分受限这一问题,提出了一种新型的可在大气环境下工作的离子源。该离子源通过电晕放电产生离子,呈线-筒结构,由内电极和外筒电极组成,电极直径分别为0.16mm和4mm。外筒电极上开有对称的4个槽,用于通入样品和牵引离子。实验结果表明,在大气环境下,当载气为N2,内电极电压达到-3800V时,内电极和外筒电极之间发生电晕放电,可以很好地电离乙酸等负电性的化学物质。质谱图显示,大气中的N2和O2可能也参与电离,生成了NO2-(m/z:46)、NO3-(m/z:62)和[M+NO-H]-(m/z:89)。结合COMSOL仿真软件,对该离子源的放电起始电压进行了理论分析,分析结果与实验结果相符。此外,该离子源接口简单,可广泛应用于敞开式质谱仪、离子迁移质谱仪(IMS)和高场非对称波形离子迁移质谱仪(FAIMS)中。

关键词：线筒结构敞开式质谱仪离子源电晕放电

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集成于微型飞行器机翼上的流场传感器测量系统研究

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传感技术学报 2009年第7期22卷 950-954页

作者：刘旭东朱荣续立军张福星刘鹏周兆英中北大学电子测试技术国防重点实验室太原030051 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

阐述了热式流场传感器测量微型飞行器(MAVs)飞行参数的基本原理,介绍了流场传感器阵列在翼表流场测量中的应用。选用薄膜热敏电阻作为流场传感器敏感元件,采用恒温工作方式实现传感系统的测量。通过小型风洞试验,对传感器阵列进行了测试... 详细信息

阐述了热式流场传感器测量微型飞行器(MAVs)飞行参数的基本原理,介绍了流场传感器阵列在翼表流场测量中的应用。选用薄膜热敏电阻作为流场传感器敏感元件,采用恒温工作方式实现传感系统的测量。通过小型风洞试验,对传感器阵列进行了测试,并运用最小二乘法进行模型辨识。实验结果表明,所采用的流场传感器阵列可实现对风速测量,测量范围为2m/s～12m/s,测量精度为1m/s;对迎角的测量范围为0°～20°,测量精度为1°;对侧滑角的测量范围为-16°～18°,测量精度为1°。基本满足微型飞行器翼表流场的使用需要。

关键词：传感器阵列风洞风速迎角侧滑角最小二乘法

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芯轴型光纤水听器声压相移灵敏度响应分析

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光子学报 2009年第7期38卷 1641-1646页

作者：殷锴张敏丁天怀周宏朴荆振国廖延彪清华大学精密仪器与机械学系清华大学电子工程系光纤传感实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

提出了一种带空气腔芯轴型光纤水听器的结构模型,并对其声压相移灵敏度的响应特性进行了研究.通过对空气腔芯轴型光纤水听器的基本原理和结构进行分析,得出光纤与弹性筒作用的相互关系;建立了动力学等效模型,得出带空气腔芯轴型光纤水... 详细信息

提出了一种带空气腔芯轴型光纤水听器的结构模型,并对其声压相移灵敏度的响应特性进行了研究.通过对空气腔芯轴型光纤水听器的基本原理和结构进行分析,得出光纤与弹性筒作用的相互关系;建立了动力学等效模型,得出带空气腔芯轴型光纤水听器声压相移灵敏度表达式以及频率特性的理论模型;利用有限元方法,得到芯轴型光纤水听器的响应模型.根据提出的结构和确定的参量制作出相应的探头,经过试验测试,其3dB带宽约为30kHz,测试结果验证了提出的理论模型与有限元模型的正确性.

关键词：光纤传感器光纤水听器声压相移灵敏度有限元方法

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无线传感网络节点能效性测量优化方法

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电测与仪表 2009年第7期46卷 1-5,37页

作者：王勇王雪孙欣尧清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

本文研究了无线传感网络节点能效性测量优化问题。给出了无线传感网络分簇式拓扑结构和节点概率检测模型,建立了网络测量覆盖率指标和通信能耗指标。遗传算法和微粒群算法在节点能效性测量优化时存在容易陷入局部最优和精度不高的缺点... 详细信息

本文研究了无线传感网络节点能效性测量优化问题。给出了无线传感网络分簇式拓扑结构和节点概率检测模型,建立了网络测量覆盖率指标和通信能耗指标。遗传算法和微粒群算法在节点能效性测量优化时存在容易陷入局部最优和精度不高的缺点。将禁忌搜索算法和遗传算法结合,增强了遗传算法的全局搜索能力。仿真实验证明,采用遗传-禁忌搜索算法进行节点能效性测量优化时,网络测量覆盖率更高,通信能耗更小,优化效果更好。

关键词：无线传感网络能效性遗传算法微粒群算法遗传-禁忌搜索算法

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一种微流控检测芯片的设计与工艺研究

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仪器仪表学报 2009年第7期30卷 1464-1468页

作者：杨波唐飞王晓浩杨卓熊继军中北大学清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室早稻田大学情报生产系统研究院

设计并制作了一种PMMA材料的微流控检测芯片,利用外界气体驱动液体,用于实验样品的分析和检测。芯片的整体尺寸为86 mm×60 mm×4.5 mm,利用精密加工的方法进行加工。采用一种简单实用的溶胶-凝胶改性方法对微通道管路进行亲水... 详细信息

设计并制作了一种PMMA材料的微流控检测芯片,利用外界气体驱动液体,用于实验样品的分析和检测。芯片的整体尺寸为86 mm×60 mm×4.5 mm,利用精密加工的方法进行加工。采用一种简单实用的溶胶-凝胶改性方法对微通道管路进行亲水处理,实验证明亲水性有明显提高。并分析了亲水性提高的机理。提出一种新的溶剂键合方法,在室温下对芯片进行键合。溶剂为二氯乙烷和无水乙醇按1:1混合的混合液。分析了不同溶液配比、键合时间和键合压力对键合效果的影响。同时,芯片上集成了多个阀,对阀膜材料的选择、粘接工艺进行了研究。

关键词：微流控检测芯片亲水性键合阀

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