检索结果-内蒙古大学图书馆

光学学报 2010年第7期30卷 2080-2083页

作者：顾华荣赵瑱曹良才何庆声金国藩清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

为了利用二值空间光调制器实现多灰阶全息存储,将待存储数据页分解成一系列等价二值数据页,并将记录时间分割成与二值数据页对应的一系列递减时间段,每个时间段使用二值空间光调制器加载相应的二值数据页与参考光在存储介质内部干涉记... 详细信息

为了利用二值空间光调制器实现多灰阶全息存储,将待存储数据页分解成一系列等价二值数据页,并将记录时间分割成与二值数据页对应的一系列递减时间段,每个时间段使用二值空间光调制器加载相应的二值数据页与参考光在存储介质内部干涉记录一系列全息图。从理论上证明了再现所得数据页的灰阶分布与待存储的数据页一致,并从实验上验证了用二值空间光调制器实现四灰阶存储的可行性。多灰阶全息存储提高了每幅数据页的信息量,更加充分地利用了存储介质的动态范围,提高了存储密度与读出数据传输速率。

关键词：信息光学全息存储二值空间光调制器数据页分解记录时间分割

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硅微谐振式加速度计2种谐振结构比较

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清华大学学报（自然科学版） 2010年第11期50卷 1825-1828页

作者：董景新曹宇万蔡辛胡淏清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉(DETF)作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。该文通过理论分析、有限元仿真和实验验证,给出了2种谐振结构的比较结果:单根振梁结构的标度因数约为DETF的1.76倍;随着工作环境气压... 详细信息

硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉(DETF)作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。该文通过理论分析、有限元仿真和实验验证,给出了2种谐振结构的比较结果:单根振梁结构的标度因数约为DETF的1.76倍;随着工作环境气压的增大,DETF结构的机械品质因数Q从单根振梁结构的1.95倍(气压为0.01 Pa)减小至1.12倍(气压为86.8 Pa)。此外,由于国内现有微加工工艺限制,加工得到的DETF结构2根振梁的谐振频率存在一定误差,给外围电路的设计造成了一定困难。

关键词：微机电系统硅微谐振式加速度计谐振结构双端固定音叉标度因数机械品质因数

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激光频率分裂测波片的误差分析和实验评价

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光电工程 2010年第2期37卷 54-59页

作者：刘维新张书练丁铭谈宜东清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

本文讨论了利用激光频率分裂技术测量波片位相延迟的主要误差因素,并对其中激光器初始位相延迟和波片非对正引入的系统误差进行补偿。误差分析表明:系统对于多级波片的测量不确定度约为1.7′,对于零级波片为0.8′。然后针对系统性能进... 详细信息

本文讨论了利用激光频率分裂技术测量波片位相延迟的主要误差因素,并对其中激光器初始位相延迟和波片非对正引入的系统误差进行补偿。误差分析表明:系统对于多级波片的测量不确定度约为1.7′,对于零级波片为0.8′。然后针对系统性能进行实验评价,包括:比较波片沿激光轴线对正和倾斜时对测量结果的显著影响,以及测量波片通光面内不同点的位相延迟和波片光轴与其表面的夹角。根据实测结果,系统测量重复性和复现性优于0.02°,不确定度优于2′,即约λ/104。

关键词：波片 He-Ne激光器频率分裂位相延迟

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用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器

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仪器仪表学报 2010年第1期31卷 208-212页

作者：王晓浩张亮唐飞清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种应用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器。法拉第筒采用电阻率为1.678×10-8Ω·m的紫铜材料。屏蔽壳尺寸为40×43×37mm3,壁厚为3mm。气路设计为T型,进气口直径Φ6,出气口为双排8×Φ1.6均布小孔。铜敏感... 详细信息

介绍了一种应用于FAIMS系统的法拉第筒离子检测器。法拉第筒采用电阻率为1.678×10-8Ω·m的紫铜材料。屏蔽壳尺寸为40×43×37mm3,壁厚为3mm。气路设计为T型,进气口直径Φ6,出气口为双排8×Φ1.6均布小孔。铜敏感极经过化学处理,以提高表面质量与抗氧化能力。与KEITHLEY237电流表级联,测得系统的噪声水平在50fA以下。实验测得FAIMS输出信号为480pA,远远大于系统噪声。该法拉第筒满足了现有FAIMS系统对离子检测器的要求。

关键词： FAIMS 法拉第筒离子检测器微弱电流屏蔽

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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计

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中国惯性技术学报 2010年第2期18卷 236-239页

作者：刘民杰刘云峰董景新赵常德清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS... 详细信息

介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。

关键词： MEMS加速度计通用电容读取芯片 MS3110 闭环系统

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基于遥外差数据估算初始定位误差的新方法

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中国惯性技术学报 2010年第6期18卷 680-685页

作者：郑小兵董景新孟令晶张志国清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室大连91550部队

针对潜地导弹初始定位误差的估算问题,提出一种基于发射惯性系下遥外差数据进行解算的初始定位误差估算的新方法。该方法基于制导工具误差的产生机理及传递关系:建立了初始定位误差与遥外测数据之间的关系,推导出利用遥外差数据估算初... 详细信息

针对潜地导弹初始定位误差的估算问题,提出一种基于发射惯性系下遥外差数据进行解算的初始定位误差估算的新方法。该方法基于制导工具误差的产生机理及传递关系:建立了初始定位误差与遥外测数据之间的关系,推导出利用遥外差数据估算初始定位误差的数学模型,结合飞行试验数据分析了该方法的计算精度。在研究遥外差信息选取原则的基础上,重点分析了外测数据随机误差对于估算精度的影响,并提出了时间域上的最小二乘改进算法来提高估计结果的精度。利用飞行试验测量数据来验证该算法,计算结果证实了该估算方法的有效性和可行性。

关键词：初始定位误差发射惯性系遥外差数据制导工具误差

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用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器(英文)

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纳米技术与精密工程 2010年第2期8卷 95-101页

作者：董瑛高伟郑义尤政清华大学精密仪器与机械学系北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

在研制成功的用于化学气体探测的热驱动微悬臂梁谐振器的基础上,提出了基于这种微悬臂梁谐振器,并以聚合物涂层作为挥发性有机化合物吸附敏感层的谐振式气体传感器.利用3种聚合物材料:聚氧化乙烯(PEO)、聚乙烯醇(PVA)和聚乙二醇乙醚醋酸... 详细信息

在研制成功的用于化学气体探测的热驱动微悬臂梁谐振器的基础上,提出了基于这种微悬臂梁谐振器,并以聚合物涂层作为挥发性有机化合物吸附敏感层的谐振式气体传感器.利用3种聚合物材料:聚氧化乙烯(PEO)、聚乙烯醇(PVA)和聚乙二醇乙醚醋酸酯(PEVA),在微悬臂梁谐振器上制备气体敏感层,探测6种挥发性有机化合物:甲苯、苯、乙醇、丙酮、己烷和辛烷.通过有限元分析估计了聚合物涂层的工作温度.用喷射法制备了PVA和PE-VA涂层,用点滴法制备了PEO涂层.测试了传感器的开环幅频特性,实验检测了气体传感器的谐振频率变化与分析物蒸气浓度的关系以及传感器对相对湿度的响应,分析了传感器的灵敏度和线性度.实验结果表明,这种涂覆聚合物敏感层的热驱动微悬臂梁谐振器为探测挥发性有机化合物提供了良好的平台.根据实验结果,可开发几种基于不同聚合物敏感层的高灵敏度微型气体传感器.

关键词：气体传感器聚合物挥发性有机化合物微悬臂梁谐振器

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环形蠕动微泵的优化仿真和实验

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纳米技术与精密工程 2010年第4期8卷 323-329页

作者：杜敏叶雄英伍康陈烽周兆英清华大学精密仪器与机械学系北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

本文分析了矩形截面环形蠕动微泵存在的泄漏问题及其对微泵性能的影响,减小泄漏是提高微泵背压和自吸能力的有效途径.通过Ansys有限元建立二维接触模型,模拟了各参数项对微泵泄漏率的影响,得出影响微泵泄漏率的主要参数为深宽比和挤压力... 详细信息

本文分析了矩形截面环形蠕动微泵存在的泄漏问题及其对微泵性能的影响,减小泄漏是提高微泵背压和自吸能力的有效途径.通过Ansys有限元建立二维接触模型,模拟了各参数项对微泵泄漏率的影响,得出影响微泵泄漏率的主要参数为深宽比和挤压力,在一定范围内,深宽比越小、挤压力越大,则密封性越好,通过仿真拟合得到了计算泄漏率的近似公式;根据计算结果,设计制作了具有不同深宽比参数和不同挤压力的微泵,并对比测量了不同参数微泵的流量及背压,实现了最小2%的实际泄漏率.实验结果表明通过仿真拟合公式计算得到的泄漏率与实测泄漏率具有较好的吻合性.通过拟合公式优化设计微泵的结构参数,可有效降低微泵泄漏率,提高流量控制准确性,增大背压和自吸能力.

关键词：微流体微泵环形蠕动泵泄漏

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压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究

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压电与声光 2010年第6期32卷 999-1001页

作者：胡小根李玉和林浩山童晓蕾祁鑫清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性... 详细信息

压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性,计算出其他上升或下降回线,同时得到其逆模型。利用逆模型对压电驱动器进行开环控制实验结果表明,实验系统控制误差范围为-36^+47 nm。

关键词：压电驱动器迟滞开环控制

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微探针纳米尺度振动测试的实验研究

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光学技术 2010年第2期36卷 168-171页

作者：林浩山李玉和王东生李庆祥刘梅清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件,其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法,对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移... 详细信息

微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件,其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法,对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移分辨率的双频激光外差干涉光学测量系统,对微探针纳米尺度振动特性进行了测试对比实验,并对SPM标定样块进行了比对分析。实验结果验证了双频激光外差干涉测量方法的可行性和其应用价值。

关键词：光学测量微探针纳米尺度振动外差干涉共振频率

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