检索结果-内蒙古大学图书馆

仪表技术与传感器 2006年第1期 8-9+20页

作者：吴英周兆英江永清向毅小野崇人清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室中电集团电子44所 3. 重庆科技学院 4. 日本东北大学工学部机械知能系

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一。现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术。但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而... 详细信息

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一。现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术。但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而可能导致图形的失败。而LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源和特制的LIGA掩模板,加工周期长。为此,基于反应离子深刻蚀技术,结合电镀工艺,提出了一种金属微结构的微加工制作方法,并进行了相应的实验。结果表明,该方法不仅可以制造出深宽比为6的微型金属螺旋线圈,还可以为其他非硅三维微结构的加工提供一定的技术支持。

关键词： MEMS 微加工反应离子刻蚀电镀金属微结构

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虚拟仪器技术应用于桥梁结构测试

虚拟仪器技术应用于桥梁结构测试

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2006年全国高校机械工程测试技术研究会暨中国振动工程学会动态测试专委会学术年会

作者：邓焱胡嘉清华大学精密仪器与机械学系精密计量测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

介绍了3种典型桥梁结构测试任务(小型便携式检测、多传感器综合测试,分布式长期监测)中虚拟仪器技术的应用,主要阐述不同的测试背景中怎样确定测试系统结构,如何选择虚拟仪器硬件,并介绍了系统的特点.

关键词：桥梁虚拟仪器技术测试系统结构测试

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一种光电检测的食堂售饭系统的设计与试验

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实验技术与管理 2006年第10期23卷 69-71页

作者：郭宏于成晁沛荫王慧琴毛献辉清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 北京信息科技大学北京100084

介绍了一种光电检测的食堂售饭系统的设计与试验，介绍了系统的工作原理和系统结构组成，以及系统软、硬件设计。其中应用了模拟电路，数字电路及光电转换电路，最后由PC机来实现操作控制。该实验可作为仪器专业学生对光电技术实验课的... 详细信息

介绍了一种光电检测的食堂售饭系统的设计与试验，介绍了系统的工作原理和系统结构组成，以及系统软、硬件设计。其中应用了模拟电路，数字电路及光电转换电路，最后由PC机来实现操作控制。该实验可作为仪器专业学生对光电技术实验课的一项实验课题。

关键词：光电转换模数转换计算机控制食堂自动售饭系统

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回馈中的若干激光物理效应

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红外与激光工程 2006年第Z3期35卷 238-238页

作者：张书练清华大学精密仪器测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

文中将两个激光物理概念"激光回馈效应"和"正交偏振激光"交叉结合,并向"纳米干涉技术"应用渗透产生新的结果。"激光回馈效应"(又称激光自混合效应)是激光器的十分重要的物理现象,当激光器输出... 详细信息

文中将两个激光物理概念"激光回馈效应"和"正交偏振激光"交叉结合,并向"纳米干涉技术"应用渗透产生新的结果。"激光回馈效应"(又称激光自混合效应)是激光器的十分重要的物理现象,当激光器输出光束被前进路程上的反射面反射回激光内部时,这一现象总要发生。"偏振"也是大多数类型的激光器输出光束的特性。腔内有量子阱、布儒斯特窗、双折射元件等偏振机制或元件时,激光器必是偏振输出。即使无此类元件,大多数类型激光器输出的每一个纵模(频率)也都是线偏振的,且相邻的两个纵模经常是正交偏振的。作者课题组发展了新类型的 HeNe 和 Nd:YAG 微片激光器:正交偏振激光器(双折射双频激光器)输出两个模(频率),模间隔可调且偏振态垂直。作者意识到,模(频率)间隔的改变(特别是很小的间隔)导致模竞争强度改变。还认识到,正交偏振特性正好可利用来研究这种改变:可用偏振分光镜将正交偏振激光束中的两正交模分开,以研究每个偏振态各自的特性和它们之间的相互作用。在研究之前,人们对外腔调谐的研究都是用一个反射镜将激光输出的光束的全部纵模(频率)反射回激光器。这就意味着不区分纵模多少及其间隔大小,不区别激光输出的偏振状态,不顾及激光频率之间的竞争。如果说以往是站在激光器外头研究回馈,研究是进入激光器内部研究回馈:由偏振器件将两正交偏振频率分开,研究每个偏振频率的回馈行为,研究它们之间的相互影响。作者课题组取得的主要发现点包括:(1)设计了(单模激光器腔调谐+PBS分开正交偏振两成分)的方法研究激光器模间作用、光强改变及偏振特性。(2)双折射双频激光器、M3弱反射并调谐:o、e 光强度曲线均为类正弦;两频频差小于200 MHz 时,o、e 曲线的位相差随频差变大而减小;两频频差大于200 MHz 时,o、e 曲线位相差为相对腔长和相对频率分裂量的乘积。(3)双折射双频激光器、M3中等反射率并调谐:o、e 光强度总是反向变化;一周期分为缓交换区和快交换区;两个等光强点:缓区的高于快区的。(4)单纵模激光器,M3高反射并欠准直,M3调谐:M3每位移λ/80,光强变化一个周期,即生成了纳米光条纹。(5)单纵模激光器,M3高反射并欠准直,M3调谐:M3每变向一次激光偏振态旋转90°—次。(6)外腔内有λ/4片、M3调谐:光强调制曲线倍频,即外腔长每变化λ/4,光强变化一个周期;曲线类似正弦全波整流;如波片快轴与光偏振方向平行或垂直,相邻周期偏振态正交;如波片快轴与激光器偏振方向夹45°角,偏振态不因 M3调谐而变。(7)波片置外腔、M3调谐,强度曲线上一种偏振态占据宽度和一个周期宽度之比等于双折射元件位相延迟。(8)双折射一塞曼双频激光器,M3调谐:单偏振回馈,o、e 光强调制曲线都为类正弦,变化趋势相反;双偏振回馈,o、e 曲线的相位差因 M3运动方向不同分别为π/2或3π/2。(9)Nd:YAG 双频激光器、M3调谐,M3反射率越大,光强调制越深;频差是外腔自由光谱区1/2的偶数倍,调制深度最小;奇数倍时,调制深度最大。(10)用"任意位相差波片外腔、M3调谐:强度曲线上一种偏振态占据宽度和一个周期宽度之比等于双折射元件的位相延迟"的原理已制成新的波片测量仪,其具有高精度和可在位测量的特点。

关键词：回馈效应偏振正交偏振激光器

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利用DEP和流体驱动的碳纳米管组装研究

利用DEP和流体驱动的碳纳米管组装研究

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第八届中国微米/纳米技术学术年会

作者：谭苗苗叶雄英王晓浩周兆英清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器与机械学系微米纳米技术研究中心北京100084

碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键.本论文分别采用电泳和流体驱动方法对两种不同的多壁碳纳米管进行了排布组装研究.电泳过程中频率一定时,增加电压或电泳时间,碳管沉积的密度增加;流体排布组装过程中,适当的流体速度得到较... 详细信息

碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键.本论文分别采用电泳和流体驱动方法对两种不同的多壁碳纳米管进行了排布组装研究.电泳过程中频率一定时,增加电压或电泳时间,碳管沉积的密度增加;流体排布组装过程中,适当的流体速度得到较好的排布效果;较直的碳管取得更好的排布组装效果.同时根据实验结果对电泳和流体驱动两种组装方法的优势和问题进行了比较,结果表明,介电电泳组装能实现在电极间的定位组装,流体排布组装可实现较大面积的均匀排布.

关键词：碳纳米管介电电泳组装流体排布

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傅里叶变换光谱分析系统及其测试

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物理实验 2006年第5期26卷 9-12,17页

作者：吴晓芳朱昊国防科技大学电子科学与工程学院湖南长沙410073 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

构建了一套改进的光的时间相干性以及傅里叶光谱分析实验系统,该系统利用光机电以及计算机软件编程技术,实时采集以He-Ne激光器、钠光灯和白炽灯为代表的各种光源在迈克耳孙干涉仪上产生的干涉条纹信号,将得到的光信号经光电倍增管转换... 详细信息

构建了一套改进的光的时间相干性以及傅里叶光谱分析实验系统,该系统利用光机电以及计算机软件编程技术,实时采集以He-Ne激光器、钠光灯和白炽灯为代表的各种光源在迈克耳孙干涉仪上产生的干涉条纹信号,将得到的光信号经光电倍增管转换为电信号进入电路系统,经滤波、A/D转换后,再输送到计算机进行傅里叶变换以及频谱分析.实验结果证实了该系统的有效性和实用性.

关键词：光谱分析傅里叶变换时间相干性迈克耳孙干涉仪

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腔调谐过程中激光器中两垂直偏振光的回馈特性

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物理学报 2005年第10期54卷 4701-4709页

作者：刘刚张书练徐亭朱钧李岩清华大学精密仪器测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

腔调谐过程中同时对HeNe激光器进行光回馈,设定回馈镜驱动信号的周期远小于腔调谐信号的周期,此时便获得腔调谐过程中谐振腔中两垂直偏振光的回馈信号.回馈的形式分为仅垂直光回馈、仅平行光回馈以及两光同时回馈三种情况.当两光同时回... 详细信息

腔调谐过程中同时对HeNe激光器进行光回馈,设定回馈镜驱动信号的周期远小于腔调谐信号的周期,此时便获得腔调谐过程中谐振腔中两垂直偏振光的回馈信号.回馈的形式分为仅垂直光回馈、仅平行光回馈以及两光同时回馈三种情况.当两光同时回馈时,两模式间的模竞争较弱,两光回馈曲线有一定的相位差,该相位差小于180°,两光总体波动幅度变化趋势相反.当仅单偏振光回馈时,两模式间的模竞争较强,两光回馈曲线始终反相,而且两光波动幅度变化趋势相同,此时可以将两光强度信号相减以实现成倍提高回馈信号幅度,从而提高系统灵敏度.尤其仅垂直光回馈时,两光各自光强波动幅值都较大,并且在较大的增益曲线范围内保持光强波动幅值无明显变化,该特性可用于提高回馈系统的抗干扰能力,减少因激光功率漂移而引起的错误计数.

关键词：自混合干涉光回馈模竞争位移测量垂直偏振光腔调谐激光器特性系统灵敏度驱动信号

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一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究

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中国机械工程 2005年第z1期16卷 99-101页

作者：朱常兴李勇陈旭鹏叶雄英周兆英清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(... 详细信息

介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.

关键词： MEMS 微型阀微小流量控制电磁致动器

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扫描近场光学显微镜探针与光场相互作用的分析

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光学学报 2005年第4期25卷 465-469页

作者：徐铁军许吉英王佳田芊清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

采用时域有限差分方法对镀金属膜光纤探针在近场光探测中对光场产生的扰动和相互作用过程进行了数值分析。选择纳米孔径的隐失场光场和镀金属膜光纤探针建立了近场光探测的理论模型,讨论了探针孔径尺寸、扫描高度等因素对光场探测的影响... 详细信息

采用时域有限差分方法对镀金属膜光纤探针在近场光探测中对光场产生的扰动和相互作用过程进行了数值分析。选择纳米孔径的隐失场光场和镀金属膜光纤探针建立了近场光探测的理论模型,讨论了探针孔径尺寸、扫描高度等因素对光场探测的影响,以及测量光场与初始光场之间的关系等。研究结果表明,当探针孔径尺寸与待测纳米孔径尺寸相当,探针扫描高度在接近探针孔径尺寸的一半时,测量得到的光场分布数据能够准确描述初始光场分布。

关键词：成像系统探针与隐失场相互作用时域有限差分法光场探测扫描近场光学显微镜

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纳米激光器测尺中猫眼腔的优化设计

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中国激光 2005年第10期32卷 1305-1308页

作者：杜文华张书练李岩清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

由双面增透的凸透镜和凹面全反镜组成的猫眼逆反器(CER),替代传统平凹腔中的平面腔镜可构成一具有较佳失调特性的猫眼腔(CEC)。根据腔中稳定振荡高斯光束的自再现特性,对腔内各处的q参量进行分析,证明了束腰刚好处于猫眼腔中凸透镜的位... 详细信息

由双面增透的凸透镜和凹面全反镜组成的猫眼逆反器(CER),替代传统平凹腔中的平面腔镜可构成一具有较佳失调特性的猫眼腔(CEC)。根据腔中稳定振荡高斯光束的自再现特性,对腔内各处的q参量进行分析,证明了束腰刚好处于猫眼腔中凸透镜的位置,因此猫眼系统可用几何光学成像公式进行设计。但因光学加工或装配等误差,传统的光腔参量选择的经验公式不再适用,所以还利用了光线追迹和空间衍射计算方法对光腔参量的最佳选择进行分析。分析表明在其他参量不变的情况下,增加凹面输出镜曲率半径可较好地改善激光横场模式。最后对分析进行了实验验证。

关键词：光学设计猫眼腔失调光线追迹横模

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