我们曾用离子注入法 ,脉冲激光沉积等方法制备出了HgBa2 Ca2 Cu3 O8+δ超导薄膜 .但这些方法费用昂贵 ,难度较大 .因此我们探索利用化学雾化技术在衬底上制备Hg Ba2 Ca2 Cu3 O8+δ超导薄膜 .制备过程包括两个步骤 :第一步控制衬底温度制备Ba Ca Cu O薄膜 ,并退火得到Ba Ca Cu O前驱物 ;第二步 ,控制衬底温度并将HgCl2 喷射在Ba Ca Cu O前驱物薄膜上得到Hg Ba Ca Cu O薄膜 ,并将所得薄膜在氧气中氧化 .目前我们正在探索利用这一技术来制备Hg 1 2 2 3高质量的超导薄膜 .
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