由于显微镜存在小景深且景深范围即清晰到模糊的界限不易察觉的特点,导致当待测物体高度超出景深范围时其高度不易测量.针对这一问题,本文提出了一种基于体视显微镜的对象高度测量方法.
首先,采用近似欧式极线校正算法校正原始拍摄立体标定图像;然后,利用SURF算法优化提取景深范围内的序列标定图片的平面特征点,计算出相应的视差数据,联合步进电机的高度步进值线性拟合Disparity-DOF(Depth Of Field)曲线;再用聚合匹配算法匹配待测立体图像得到局部视差值,通过超景深的两个平面的局部视差值回归分析得到待测元件移位相对高度;最后,根据立体成像几何法以及步进电机的移位尺度计算待测物体的高度值.实验结果表明,本文提出的算法在Z轴步进方向的超景深测量误差在 1.6~7.8%,可用于在误差允许条件下测量微小物体超显微镜景深高度,有效地解决了显微镜的小景深测量问题.
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