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第十届中国太阳能光伏会议

作者：王世锋张晓丹赵颖魏长春许盛之孙建耿新华南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室南开大学天津大学

在脉冲调制的PECVD技术中,脉冲调制频率和占空比(或开关时间比)是两个关键的参数。本文采用Pulsed VHF-PECVD技术制备了高速率微晶硅薄膜材料,通过对材料的结构特性、电学特性的研究,并结合光发射谱(OES)对等离子体辉光进行了监测,发现... 详细信息

在脉冲调制的PECVD技术中,脉冲调制频率和占空比(或开关时间比)是两个关键的参数。本文采用Pulsed VHF-PECVD技术制备了高速率微晶硅薄膜材料,通过对材料的结构特性、电学特性的研究,并结合光发射谱(OES)对等离子体辉光进行了监测,发现脉冲调制频率和占空比对微晶硅材料的微结构和电学特性都有一定的影响。

关键词：脉冲调制微晶硅高速率太阳电池

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单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其在电池中的应用

单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其在电池中的应用

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：王光红张晓丹孙福和许盛之岳强魏长春孙建赵庚申耿新华熊绍珍赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)

为确定单室高效太阳电池的沉积参数,用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术制备了不同沉积条件下的本征微晶硅薄膜,并研究其结构及电学输运特性。选择器件质量级的本征微晶硅薄膜作为电池的有源层,针对单室沉积微晶硅薄膜... 详细信息

为确定单室高效太阳电池的沉积参数,用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术制备了不同沉积条件下的本征微晶硅薄膜,并研究其结构及电学输运特性。选择器件质量级的本征微晶硅薄膜作为电池的有源层,针对单室沉积微晶硅薄膜太阳电池进行了污染控制的初步研究,使单腔室中制备的单结微晶硅电池的光电转换效率提高到6.17%（1cm）。

关键词：单室甚高频等离子体增强化学气相沉积本征微晶硅太阳电池

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VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究

VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：张晓丹张发荣葛洪赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)

采用二维自适应流体模型对甚高频等离子体增强化学气相沉积高速率的微晶硅薄膜的过程进行了模拟研究。模拟的结果显示出:同非晶硅薄膜的沉积相比,关键基团的密度具有不同的量级,而且微晶硅薄膜沉积过程中原子H的密度和通量比较大,是影... 详细信息

采用二维自适应流体模型对甚高频等离子体增强化学气相沉积高速率的微晶硅薄膜的过程进行了模拟研究。模拟的结果显示出:同非晶硅薄膜的沉积相比,关键基团的密度具有不同的量级,而且微晶硅薄膜沉积过程中原子H的密度和通量比较大,是影响其结构的重要基团。另外,SiH和SiH基团的密度、通量和非晶硅薄膜的沉积过程相比较而言,SiH基团对微晶硅薄膜沉积的贡献增加。最后通过对电子密度和温度的空间分布研究,表明:甚高频率提高薄膜沉积速率主要是由于电子密度,特别是有效的电子密度的增加而导致的。

关键词：甚高频等离子体增强化学气相沉积微晶硅二维自适应流体模型模拟

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单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池的研究

单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电...

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：张晓丹赵颖魏长春孙福和王光红许盛之岳强孙建张德坤陈新亮耿新华熊绍珍南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)

本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术,针对单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜太阳电池存在交叉污染的问题,有意地进行了污染控制以及p/i/n型电池各层材料的优化研究。继而获得了单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅薄膜太... 详细信息

本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术,针对单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜太阳电池存在交叉污染的问题,有意地进行了污染控制以及p/i/n型电池各层材料的优化研究。继而获得了单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅薄膜太阳电池的效率达到6.3%（1cm）。同射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）技术制备的非晶硅薄膜太阳电池组合,所研制的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的效率达到了10.6%（0.25cm）。

关键词：微晶硅薄膜太阳电池非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池单室甚高频

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NaYF4:Er/Yb上转换材料特性改善的研究

NaYF4:Er/Yb上转换材料特性改善的研究

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：张晓丹赵颖金鑫刘永娟王东丰纪伟伟蔡宁熊绍珍南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室河北工业大学信息学院

本文针对太阳电池用上转换材料,采用水热法优化制备了掺杂稀土离子的纳米氟化钇钠上转换荧光材料。主要关注了有机溶剂和螯合剂对制备上转换材料性能的影响。测试结果表明:有机溶剂酒精(Ethanol)可以有效地抑制YF等杂峰;制备的Yb/Er共... 详细信息

本文针对太阳电池用上转换材料,采用水热法优化制备了掺杂稀土离子的纳米氟化钇钠上转换荧光材料。主要关注了有机溶剂和螯合剂对制备上转换材料性能的影响。测试结果表明:有机溶剂酒精(Ethanol)可以有效地抑制YF等杂峰;制备的Yb/Er共掺材料能够发射被薄膜太阳电池有效吸收利用的红光(653nm)和绿光(520、540nm);具有六角晶向结构的上转换材料的发射谱强度也明显高于立方晶向材料的发射光谱强度。

关键词：上转换材料氟化钇钠酒精乙二胺四乙酸二钠

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超声喷雾热解技术制备ZnO纳米片的研究

超声喷雾热解技术制备ZnO纳米片的研究

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：张霞张晓丹魏长春孙建杨瑞霞赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室河北工业大学信息学院

以二水合醋酸锌作为前驱体,利用超声喷雾热解技术（USP）在Si（100）衬底和FTO衬底上生长出ZnO纳米片。通过扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射谱（XRD）对其形貌和结构进行分析。结果表明,纳米片横向交叉,纵向垂直衬底生长,薄膜表面呈... 详细信息

以二水合醋酸锌作为前驱体,利用超声喷雾热解技术（USP）在Si（100）衬底和FTO衬底上生长出ZnO纳米片。通过扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射谱（XRD）对其形貌和结构进行分析。结果表明,纳米片横向交叉,纵向垂直衬底生长,薄膜表面呈现多孔状。纳米片为（101）择优生长。室温下的PL测试表明,两种衬底上生长的具有类似形貌的ZnO纳米片却表现出明显不同的发光行为。

关键词： ZnO纳米片超声喷雾热解 Si衬底 FTO衬底

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USP法制备p型Zn1-xMgxO薄膜的初步研究

USP法制备p型Zn1-xMgxO薄膜的初步研究

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：边楠张晓丹张霞孙福和杨瑞霞赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学) 河北工业大学信息学院

利用超声雾化热分解技术（USP）,在eagle2000衬底上采用用N-Al共掺法获得了p型ZnMgO薄膜,在Al掺入比例为0.05时获得了最优的p型ZnMgO薄膜,其电学特性为电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm/（V.s）、载流子浓度为1.24×10cm。并... 详细信息

利用超声雾化热分解技术（USP）,在eagle2000衬底上采用用N-Al共掺法获得了p型ZnMgO薄膜,在Al掺入比例为0.05时获得了最优的p型ZnMgO薄膜,其电学特性为电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm/（V.s）、载流子浓度为1.24×10cm。并尝试与FTO薄膜结合生成FTO/p-ZnMgO复合薄膜,应用于微晶硅薄膜电池前电极。

关键词： N-Al共掺 p型Zn1-xMgxO薄膜复合薄膜

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USP法制备p型Zn1-zMgzO薄膜的初步研究

USP法制备p型Zn1-zMgzO薄膜的初步研究

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：边楠张晓丹张霞孙福和杨瑞霞赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)天津300071 河北工业大学信息学院天津300130 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学)天津300071 河北工业大学信息学院天津300130

利用超声雾化热分解技术(USP),在eagle2000衬底上采用用N-Al共掺法获得了p型Zn1-xMgxO薄膜,在Al掺入比例为0.05时获得了最优的p型Zn1-xMgxO薄膜,其电学特性为电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018c... 详细信息

利用超声雾化热分解技术(USP),在eagle2000衬底上采用用N-Al共掺法获得了p型Zn1-xMgxO薄膜,在Al掺入比例为0.05时获得了最优的p型Zn1-xMgxO薄膜,其电学特性为电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3.并尝试与FTO薄膜结合生成FTO/p-Zn1-xMgxO复合薄膜,应用于微晶硅薄膜电池前电极。

关键词：复合薄膜超声雾化热分解电学特性

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太阳电池用上转换材料的合成及其性能研究

太阳电池用上转换材料的合成及其性能研究

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第十届中国太阳能光伏会议

作者：刘永娟张晓丹金鑫王东丰张存善赵颖南开大学光电子薄膜器件与技术研究所南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学天津大学) 河北工业大学信息工程学院

采用水热法,在以乙醇为反应溶剂,EDTA为络合剂加的情况下,通过调变Ln/EDTA(Ln=Y,Yb,andEr)的比例,得到了具有较高发射强度的掺杂18%Yb、2%Er的NaYF纳米上转换材料;调变Ln/F的比例,得到了具有强发光度的掺杂18%Yb、2%Er的NaYF微米上转换... 详细信息

采用水热法,在以乙醇为反应溶剂,EDTA为络合剂加的情况下,通过调变Ln/EDTA(Ln=Y,Yb,andEr)的比例,得到了具有较高发射强度的掺杂18%Yb、2%Er的NaYF纳米上转换材料;调变Ln/F的比例,得到了具有强发光度的掺杂18%Yb、2%Er的NaYF微米上转换材料,以期应用于不同的太阳电池。且通过对比发现微米材料的发射强度大于纳米材料。

关键词：上转换乙二胺四乙酸二钠(EDTA) 纳米材料微米材料乙醇太阳电池

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用VHF-PECVD技术研制大面积均匀硅基薄膜

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太阳能学报 2007年第11期28卷 1227-1232页

作者：薛俊明侯国付王凯杰孙建任慧志张德坤赵颖耿新华南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室天津300071

首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析,认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大,而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心馈入法,对馈线和电极的连接方式进行了仔细研究,然后就工作... 详细信息

首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析,认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大,而通过选择不同的电源馈入方式可减小其影响。采用中心馈入法,对馈线和电极的连接方式进行了仔细研究,然后就工作压力、沉积功率、流量等工作参数对均匀性、沉积速率、材料特性的影响进行了研究。结果表明:在本文所研究的范围内,适当提高工作气压可以提高薄膜的均匀性,而功率的变化对均匀性影响不大;在一定范围内提高工作气压和功率都可提高沉积速率;从薄膜的质量来说,气压低时较好,而功率则应适当选择。通过优化沉积条件,我们在普通浮法玻璃上制备出了面积为23×24cm^2,厚度不均匀性为±1.4%,最高沉积速率达10.5/s,光敏性最大为2.25×10~5的a-Si:H薄膜材料。

关键词： VHF-PECVD 硅基薄膜大面积均匀性电源馈入方式

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