咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 2 篇 会议
  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 结场效应晶体管
  • 1 篇 algan/gan异质结
  • 1 篇 第一性原理
  • 1 篇 内建电场
  • 1 篇 电荷密度

机构

  • 2 篇 厦门市先进半导体...
  • 1 篇 厦门市先进半导体...
  • 1 篇 厦门理工学院
  • 1 篇 福建省光电技术与...
  • 1 篇 厦门大学
  • 1 篇 福建省半导体材料...
  • 1 篇 用重点实验室

作者

  • 2 篇 连水养
  • 1 篇 闫金健
  • 1 篇 林伟
  • 1 篇 陈佳坭
  • 1 篇 庄芹芹

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"机构=厦门市先进半导体镀膜技术研发与应用重点实验室"
3 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
基于PEALD技术制备介电质薄膜在薄膜晶体管的应用
基于PEALD技术制备介电质薄膜在薄膜晶体管的应用
收藏 引用
新材料与能源产业发展大会
作者: 连水养 厦门市先进半导体镀膜技术研发与应 用重点实验室
本文基于PEALD技术制备具有高介电常数的HfO2薄膜,HfAlO薄膜及HfTiO薄膜。探究不同循环比、衬底温度和退火温度等工艺参数对HfO2基薄膜的沉积速率、化学组分、晶体结构、薄膜密度、表面形貌和光电学特性的影响。进一步研究以三种HfO2基...
来源: 评论
高性能掺锌氧化镓深紫外日盲光电探测器制备研究
高性能掺锌氧化镓深紫外日盲光电探测器制备研究
收藏 引用
2023第五届光电材料与器件战略论坛
作者: 连水养 厦门市先进半导体镀膜技术研发与应用重点实验室
本文采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术,通过改变 Ga2O3 和ZnO的循环比例,获得了不同浓度Zn掺杂的Ga2O3 薄膜,同时制备了深紫外日盲光电探测器,分析了ZnO循环比对器性能的影响.Zn掺杂Ga2O3 探测器与纯Ga2O3 器件相比,即使在光强较...
来源: 评论
AlGaN/GaN异质结电荷密度和内建电场强度的调控
收藏 引用
厦门理工学院学报 2023年 第5期31卷 12-16页
作者: 庄芹芹 林伟 闫金健 陈佳坭 厦门理工学院光电与通信工程学院 福建厦门361024 福建省光电技术与器件重点实验室 福建厦门361024 厦门市先进半导体镀膜技术研发与应用重点实验室 福建厦门361024 厦门大学物理科学与技术学院 福建厦门361005 福建省半导体材料及应用重点实验室 福建厦门361005
为了优化AlGaN/GaN异质结场效应晶体管的性能,实现对异质结界面附近电荷密度和内建电场强度的调控,采用第一性原理计算方法,通过改变AlGaN势垒层的Al组分,或掺入少量用于p型掺杂的Mg原子进行模拟计算。结果表明,在一定范围内增大Al的组... 详细信息
来源: 评论