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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电气工程

主题

  • 1 篇 四探针电阻率测试...
  • 1 篇 计量学
  • 1 篇 电阻率
  • 1 篇 测量不确定度

机构

  • 1 篇 厦门市计量检定测...
  • 1 篇 厦门市平板显示器...

作者

  • 1 篇 张顶

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"机构=厦门市平板显示器件计量测试重点实验室"
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排序:
四探针电阻率测试仪测量结果的不确定度评定
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中国计量 2025年 第3期 146-149页
作者: 张顶 厦门市计量检定测试院 厦门市平板显示器件计量测试重点实验室
半导体材料的电阻率是半导体器件生产制造过程中的重要测量参数,四探针电阻率测试仪是测量半导体材料电阻率和方块电阻的主要测量器具,其测量不确定度的评定至关重要,而JJG 508-2004《四探针电阻率测试仪》并未对不确定度评定进行详细... 详细信息
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