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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 1 篇 管理学
    • 1 篇 工商管理

主题

  • 1 篇 技术改进
  • 1 篇 精度高
  • 1 篇 ebmf6.5
  • 1 篇 技术改造
  • 1 篇 电子束曝光机
  • 1 篇 畸变校正
  • 1 篇 改进措施
  • 1 篇 电磁线圈
  • 1 篇 图形尺寸
  • 1 篇 偏转线圈
  • 1 篇 地址分辨率
  • 1 篇 摄影设备
  • 1 篇 扫描策略

机构

  • 1 篇 哈尔滨工业大学

作者

  • 1 篇 李士章

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"机构=哈尔滨工业大学精密仪器系电子束研究室"
1 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
EBMF6.5型电子束曝光机的设计思想与技术改进措施
收藏 引用
微细加工技术 1985年 第3期 58-67页
作者: 李士章 哈尔滨工业大学精密仪器系电子束研究室
一、引言 英国剑桥仪器公司是世界上最早生产商品电子束曝光机的厂商之一。先后试制成功了EBMF1,EBMF2和EBMF6型电子束曝光机。EBMF6.5型机是对EBMF6改进后的新产品。但它对2型机做了重大的技术改进。改进后的6.5型机不仅保持着2型机的... 详细信息
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