检索结果-内蒙古大学图书馆

中华实验和临床病毒学杂志 2003年第4期17卷 375-377页

作者：毛红菊顾士民赵建龙刘江霞中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050 上海市传染病总医院复旦大学医学院分子病毒学卫生部重点实验室

目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速... 详细信息

目的建立一种简便、快速的以DNA芯片技术为基础的丙型肝炎病毒基因分型检测方法。方法根据丙型肝炎病毒HCV的基因序列信息设计分型探针,将采用荧光标记的寡核苷酸引物所扩增的丙型肝炎病毒基因产物与结合在芯片上的特异性探针进行快速杂交,通过扫描荧光强度值定性和定量判定结果。结果应用本法对65例患者血清中的丙型肝炎病毒核酸进行基因分型,对部分标本检测结果与测序法进行对比,吻合率达100％,说明检测结果有很高的特异性。结论我们所用DNA芯片技术检测HCV RNA及其基因分型,简便、快速、特异性好、灵敏度高、结果判定指标客观,可望在临床推广使用。

关键词： DNA芯片丙型肝炎病毒基因型 HCV基因传染病

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大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作

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功能材料与器件学报 2003年第3期9卷 313-318页

作者：王浙辉李铁王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57... 详细信息

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗。

关键词：光开关微动作器大位移静电驱动有限元分析设计制作微机械光通信自对准

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静电驱动光开关结构和位移的在线测量

静电驱动光开关结构和位移的在线测量

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：王浙辉王跃林传感技术国家重点联合实验室中国科学院微系统与信息技术研究所

本文报道了利用测量显微镜和WYKO搭建的微机械测试台.利用该测试台测得了静电驱动的光开关竖直方向位移.实验表明,利用静电力作为微吸引力,可测得复杂的悬空结构尺寸.测量数据能和扫描电镜测量数据符合.本方法具有测量速度快的特点,适... 详细信息

本文报道了利用测量显微镜和WYKO搭建的微机械测试台.利用该测试台测得了静电驱动的光开关竖直方向位移.实验表明,利用静电力作为微吸引力,可测得复杂的悬空结构尺寸.测量数据能和扫描电镜测量数据符合.本方法具有测量速度快的特点,适合静电驱动悬空结构的微机械器件在线检测.环境的震动和电极间微细颗粒是影响测量精度的主要因素.

关键词：竖直方向位移测量光开关

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传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示

传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：王跃林王渭源李昕欣焦继伟陆德仁熊斌罗乐吴亚明李铁杨建义传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所(中国上海)

近年来,国际上微电子技术的飞速发展极大地促进了传感器的研究.本文回顾了传感技术国家联合重点实验室传感器研究的起步,在微机电系统以及微光机电系统领域的涉足和发展.对十六年来的工作进行了总结和分析,希望可以得到一些有价值的启示... 详细信息

近年来,国际上微电子技术的飞速发展极大地促进了传感器的研究.本文回顾了传感技术国家联合重点实验室传感器研究的起步,在微机电系统以及微光机电系统领域的涉足和发展.对十六年来的工作进行了总结和分析,希望可以得到一些有价值的启示,以期对我国传感技术及MEMS的发展能提供一定的借鉴作用.

关键词：微机电系统微光机电系统传感器

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微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

微机械悬桥法研究LPCVD氮化硅薄膜力学性能

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：宗登刚王聪和王钻开鲍海飞陆德仁中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 香港理工大学应用物理系(香港九龙) 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室(上海)

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,... 详细信息

介绍了用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究LPCVD氮化硅薄膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形的微桥挠度解析表达式.对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.分析了误差的来源及其对实验结果的影响.报道了低应力和标准LPCVD氮化硅薄膜的研究结果.

关键词：微机械微桥法 LPCVD氮化硅杨氏模量残余应力弯曲强度

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基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅器件的设计

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光学学报 2002年第9期22卷 1100-1103页

作者：李柏阳江晓清唐衍哲杨建义王明华李铁吴亚明王跃林浙江大学信息与电子工程学系杭州3100272 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

设计了一种基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅解复用器件。将一全内反射波导镜引入原弯曲的波导列阵中 ,该波导镜具有偏振补偿的功能和缩小器件尺寸的特点。在器件数值模拟的基础上 ,制作了原理性器件。

关键词：绝缘体硅材料设计密集波分复用阵列波导光栅全内反射光通信

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一种超薄硅薄膜的制作方法

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功能材料与器件学报 2002年第4期8卷 388-390页

作者：李忻车录锋王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室上海200050

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在... 详细信息

超薄、平整的硅应变薄膜对于制作低量程的电容式压力传感器是非常重要的。提出一种简单的超薄薄膜制作方法,利用浓硼扩散、KOH自停止腐蚀和LPCVD等关键技术,得到了厚度4μm左右的平整的Si(P++)/Si3N4复合薄膜。由于内应力引起的挠度在几百纳米数量级,为制作压力传感器奠定了有用的工艺基础。

关键词：超薄硅薄膜制作方法内应力形变电容式微差压传感器

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