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文献类型

  • 73 篇 期刊文献
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馆藏范围

  • 91 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 87 篇 工学
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    • 10 篇 仪器科学与技术
    • 9 篇 信息与通信工程
    • 6 篇 光学工程
    • 6 篇 软件工程
    • 5 篇 控制科学与工程
    • 3 篇 机械工程
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    • 1 篇 化学工程与技术
  • 9 篇 理学
    • 6 篇 物理学
    • 2 篇 化学
    • 1 篇 数学
  • 3 篇 军事学
    • 3 篇 军队指挥学
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    • 2 篇 管理科学与工程(可...
  • 1 篇 艺术学
    • 1 篇 设计学(可授艺术学...

主题

  • 5 篇 低功耗
  • 4 篇 极性搜索
  • 4 篇 量子遗传算法
  • 3 篇 功率放大器
  • 2 篇 光刻机
  • 2 篇 原子层淀积
  • 2 篇 整体退火遗传算法
  • 2 篇 灵敏放大型逻辑
  • 2 篇 抗差分能量攻击
  • 2 篇 真随机数发生器
  • 2 篇 金属氧化物半导体
  • 2 篇 相变存储器
  • 2 篇 多输出rm电路
  • 2 篇 体系结构
  • 2 篇 快速热退火
  • 2 篇 聚合物
  • 2 篇 非接触式ic卡
  • 2 篇 原子层沉积
  • 2 篇 热噪声
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机构

  • 75 篇 复旦大学
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  • 12 篇 专用集成电路与系...
  • 7 篇 浙江大学
  • 4 篇 珠海复旦创新研究...
  • 3 篇 中国电子科技集团...
  • 3 篇 桂林电子科技大学
  • 3 篇 中国科学院研究生...
  • 3 篇 上海交通大学
  • 3 篇 中国科学院上海技...
  • 2 篇 专用集成电路与系...
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  • 2 篇 中国科学院上海微...
  • 2 篇 中国科学院上海技...
  • 2 篇 华东师范大学
  • 2 篇 上海航天电子技术...
  • 2 篇 中国科学院电子学...
  • 1 篇 广东顺德中山大学...
  • 1 篇 云南电力试验研究...

作者

  • 14 篇 汪鹏君
  • 11 篇 张卫
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  • 6 篇 王俊宇
  • 6 篇 zhang wei
  • 5 篇 曾晓洋
  • 5 篇 张小颖
  • 5 篇 吴文晋
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  • 3 篇 黄宜平
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  • 3 篇 苟鸿雁
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语言

  • 91 篇 中文
检索条件"机构=复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室ICCAD研究室"
91 条 记 录,以下是91-100 订阅
排序:
基于PZT的500MHz超声传感器设计和MEMS制作
收藏 引用
传感器与微系统 2018年 第7期37卷 63-65,69页
作者: 刘嘉 王续博 徐卫疆 周嘉 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433 法国国家科研中心电子微电子与纳米技术研究所UMR CNRS 8520 瓦朗谢纳 埃诺-坎布雷斯大学声光电子学部 法国F-59313
利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478 MHz的超声传感器。采用溶胶—凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅(PZT)厚膜压电材料,对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试,材料均匀致密,具有较好的压电性。研... 详细信息
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