检索结果-内蒙古大学图书馆

激光与光电子学进展 2022年第9期59卷 287-294页

作者：张志平杨晓峰复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心上海201203

超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点,是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于... 详细信息

超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点,是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于光刻机的超精密位移测量系统主要有双频激光干涉仪和平面光栅测量系统两种,二者均以激光外差干涉技术为基础。本文将分别对这两种测量系统的原理、优缺点以及在光刻机中的典型应用进行阐述。

关键词：光刻机外差干涉双频激光干涉仪平面光栅

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压电爬行平台高精度步长控制调速方法

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动力学与控制学报 2024年第10期22卷 59-66页

作者：杨奕潇孙煜康华洲杨晓峰复旦大学微电子学院上海200433 复旦大学上海市超精密运动控制与检测工程研究中心上海200433 复旦大学工程与应用技术研究院上海200433

压电爬行平台是实现微纳尺度运动控制的重要执行器,其调速精度直接影响定位的准确性.然而,压电爬行平台在开环调速中常采用频率控制调速方法,并未考虑压电致动率相关特征对单步步长的影响,因此导致压电爬行平台的速度公式失准,使运动的... 详细信息

压电爬行平台是实现微纳尺度运动控制的重要执行器,其调速精度直接影响定位的准确性.然而,压电爬行平台在开环调速中常采用频率控制调速方法,并未考虑压电致动率相关特征对单步步长的影响,因此导致压电爬行平台的速度公式失准,使运动的定位精度受到损害.为解决此问题,本文提出高精度步长控制调速方法.该方法能够结合速度公式,在定频率下使用电压-单步位移特性对步长精准建模,通过调节切向压电叠堆的电压信号峰峰值控制步长大小,从而忽略率相关特征的影响,满足压电爬行平台调速精度需求.实验证明,在压电爬行平台的倍速控制对比中,高精度步长控制调速方法的控制效果显著优于传统频率控制调速方法.在2.0秒定时长的终点位置处,两组对照实验的开环定位误差率分别从9.642%和17.01%减小至0.282%与0.729%.

关键词：压电爬行平台步长控制调速速度公式电压-单步位移特性

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光刻机运动台控制方法研究进展

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激光与光电子学进展 2022年第9期59卷 35-47页

作者：姜龙滨丁润泽丁晨阳杨晓峰徐云浪复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心上海200433 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433

光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备,而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项工作指标,高性能的运动台控制方法必不可少。本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍,首... 详细信息

光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备,而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项工作指标,高性能的运动台控制方法必不可少。本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍,首先介绍了运动台的工作原理及基本控制架构,然后从前馈控制、反馈控制、冗余驱动/冗余测量等方面对运动台控制方法进行具体介绍,旨在为光刻机运动台控制方法的进一步发展提供参考。

关键词：光刻机运动台前馈控制反馈控制

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基于氦氖激光器的光纤耦合效率影响因素研究

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科学技术创新 2023年第13期 1-4页

作者：张文华张志平上海拍频光电科技有限公司上海复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心上海

光纤传输技术通常应用于光通信行业,本研究将光纤传输应用到激光精密测量中,对氦氖激光耦合到光纤的效率进行了实验研究,分析了其耦合效率的影响因素。氦氖激光器具有很高的波长稳定性,但由于其出光功率普遍较小,对光纤耦合效率有很高... 详细信息

光纤传输技术通常应用于光通信行业,本研究将光纤传输应用到激光精密测量中,对氦氖激光耦合到光纤的效率进行了实验研究,分析了其耦合效率的影响因素。氦氖激光器具有很高的波长稳定性,但由于其出光功率普遍较小,对光纤耦合效率有很高的要求。本研究从理论分析与实验两方面入手,研究了光纤芯径大小、光束与耦合器的夹角、光纤端面与透镜焦点偏离量等因素对光纤耦合效率的影响。

关键词：光纤耦合效率纤耦合

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集成电路光刻机精密运动台控制方法综述

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长春工业大学学报 2022年第4期43卷 419-427页

作者：姜龙滨刘维珂杨晓峰复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心上海200433 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433

集成电路的持续发展推动了信息技术的进步。步进扫描式光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备。其中,精密运动台是光刻机最为核心的子系统之一,高速、高加速和高精度的要求对控制方法的研究和应用提出了挑战。文中... 详细信息

集成电路的持续发展推动了信息技术的进步。步进扫描式光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备。其中,精密运动台是光刻机最为核心的子系统之一,高速、高加速和高精度的要求对控制方法的研究和应用提出了挑战。文中对集成电路光刻机中精密运动台的控制方法进行了综述。首先,介绍了面向光刻机工件台或掩模台单一运动台的前馈反馈复合控制方法;其次,介绍了工件台和掩模台的同步控制方法;最后,介绍了运动台的主动减振控制方法。

关键词：光刻机迭代学习控制扰动观测器同步控制主动减振控制

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