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作者

  • 27 篇 黄宜平
  • 26 篇 周嘉
  • 17 篇 张卫
  • 15 篇 鲍敏杭
  • 13 篇 屈新萍
  • 11 篇 纪新明
  • 10 篇 包宗明
  • 9 篇 丁士进
  • 9 篇 卢红亮
  • 8 篇 洪志良
  • 8 篇 茹国平
  • 8 篇 汤庭鳌
  • 7 篇 李炳宗
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  • 6 篇 林殷茵
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  • 5 篇 徐敏
  • 5 篇 王跃林
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  • 4 篇 杨涓涓

语言

  • 115 篇 中文
检索条件"机构=复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室"
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排序:
原子层淀积Nb2O5薄膜的光学特性表征
原子层淀积Nb2O5薄膜的光学特性表征
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第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
作者: 徐岩 刘晗 陈琳 孙清清 丁士进 张卫 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 复旦大学微电子学系上海200433
本文采用原子层淀积(ALD)的方法,以Nb(OEt)5和H2O为反应源,在Si(100)衬底上生长了4.2 nm的超薄Nb2O5薄膜。研究了不同温度下N2气氛中快速热退火对介质薄膜的厚度、折射率和禁带宽度的影响。结果表明,Nb2O5薄膜的折射率随退火温度的... 详细信息
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原子层淀积铪铝氧高K栅介质特性研究
原子层淀积铪铝氧高K栅介质特性研究
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第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
作者: 陈琳 孙清清 刘晗 徐岩 王鹏飞 张卫 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 复旦大学微电子学系上海200433
本文利用先进的原子层淀积技术在Si(100)衬底上制备了HfAlO3.5高k栅介质薄膜。在等效电学厚度4.1 nm 的情况下,样品呈现优良的C-V 特性曲线,以及较小的电压滞回窗口(小于10 mV)。在100 kHz下测定了Al/HfAlO3.5/Si(100) MOS 结构电... 详细信息
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基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究
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传感技术学报 2008年 第8期21卷 1352-1356页
作者: 王国勋 纪新明 周嘉 包宗明 鲍敏杭 黄宜平 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 上海200433
研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振SPR(Surface plasmon resonance)效应的红外辐射源,该辐射源基本结构为Si-SiO2(650nm)-Cr(100nm)-Au(800nm),并在Au表面刻蚀5μm的周期性排列的圆孔。设计加工了几种不同的结构... 详细信息
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基于13X型沸石分子筛的类神经毒气传感器
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传感器与微系统 2008年 第2期27卷 86-88,92页
作者: 杨涓涓 任楠 周嘉 刘全 黄宜平 唐颐 复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室 上海200433 复旦大学化学系 上海200433
研制了基于13X型分子筛阻抗型气体传感器,探测了神经类毒气沙林的相似物甲基磷酸二甲脂(DMMP)。通过交流电压对传感器进行激励,得到其交流阻抗谱的变化,从而实现对不同体积分数DMMP的检测。对0.2×10-6,0.4×10-6和1×10-6D... 详细信息
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利用喷墨打印技术制备的类神经气体传感器
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传感技术学报 2008年 第3期21卷 385-387页
作者: 杨涓涓 王聪 王金意 周嘉 蔡文斌 黄宜平 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室 微电子学系上海200433 复旦大学化学系 上海市分子催化和功能材料重点实验室上海200433
利用喷墨打印技术沉积生物高分子溶液的方法,打印出金的梳状微电极的阵列图形,并采用NaX型沸石分子筛作为敏感膜,研制了探测神经类毒气沙林的相似物DMMP气体的阻抗型传感器。电极图形使用简单的绘图软件autoCAD画出,通过简单改进过的办... 详细信息
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三维神经微电极阵列新制作技术研究
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传感技术学报 2008年 第4期21卷 553-555页
作者: 吕尊实 周嘉 黄宜平 是慧芳 复旦大学微电子学系专用集成电路及系统国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海技术物理研究所 上海200083
尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法。玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成阴模板。利用阴模板进行电镀,可以得到三维微电极阵列。制作的铜电极阵列高度约180μm,为制作更长的神经... 详细信息
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氢离子注入GaAs晶片表面剥离机理
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功能材料与器件学报 2007年 第1期13卷 59-62,67页
作者: 郭育林 倪敏璐 周嘉 竺士炀 黄宜平 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 上海200433
为了更深入的了解GaAs经氢离子注入后的剥离特性,实验研究了GaAs晶片经6×1016/cm2剂量氢离子以不同能量注入,再经过不同温度和不同时间的退火过程后,晶片表面的剥离情况。研究表明:注入能量小的晶片较容易表面剥离,当注入能量大到... 详细信息
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A Three-Stage Operational Amplifier for a Wide Range of Capacitive Loads
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Journal of Semiconductors 2007年 第11期28卷 1685-1689页
作者: 胡晶晶 Huijsing J H 任俊彦 上海复旦大学微电子学系专用集成电路与系统国家重点实验室 上海201203 荷兰代尔夫特理工大学电子仪器实验室
This paper presents a three-stage CMOS operational amplifier (opamp) that combines accuracy with stability for a wide range of capacitive loads. A so-called quenching capacitor is added to a multipath nested Miller ... 详细信息
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Ta/TaN作为Cu和NiSi接触的阻挡层研究
Ta/TaN作为Cu和NiSi接触的阻挡层研究
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第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
作者: 周觅 赵莹 黄巍 王保民 茹国平 蒋玉龙 李炳宗 屈新萍 ASIC与系统国家重点实验室 复旦大学 微电子学系上海 200433
研究了以Ta/TaN作为阻挡层的Cu在Nisi衬底上的接触的热学及电学稳定性。用四探针方法(FPP)、X射线衍射谱(XRM)、扫描电子显微镜(SEM)、深度俄歇电子能谱(AES)、电流-电压测试(I-V)及肖特基势垒高度拟合(SBH)等手段表征了了Cu/扩散阻挡层... 详细信息
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片上集成三电极体系微电极阵列的表征
片上集成三电极体系微电极阵列的表征
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者: 吕尊实 周嘉 陈华 黄宜平 鲍敏杭 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系
设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列。工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100~900μm,工作电极与对电极间距为50~200μm。利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了电极性能表征,具... 详细信息
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