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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 力学(可授工学、理...
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 闭环控制
  • 1 篇 力反馈
  • 1 篇 mems微半球谐振陀...
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 悬臂梁式
  • 1 篇 一体双驱
  • 1 篇 压电驱动器
  • 1 篇 fpga
  • 1 篇 对称

机构

  • 1 篇 微米/纳米加工技术...
  • 1 篇 微米/纳米加工国家...

作者

  • 2 篇 ou bin
  • 2 篇 欧彬
  • 2 篇 张卫平
  • 1 篇 周岁
  • 1 篇 zhang wei-ping
  • 1 篇 邢亚亮
  • 1 篇 孙殿竣
  • 1 篇 tang jian
  • 1 篇 刘朝阳
  • 1 篇 zhang weiping
  • 1 篇 唐健
  • 1 篇 zhou sui
  • 1 篇 liu chao-yang
  • 1 篇 寻之宇
  • 1 篇 xun zhiyu
  • 1 篇 xing ya-liang
  • 1 篇 sun dian-jun

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"机构=微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
一体双驱对称式压电悬臂梁驱动器
收藏 引用
压电与声光 2018年 第5期40卷 657-660页
作者: 寻之宇 张卫平 周岁 欧彬 微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 上海200240
设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了... 详细信息
来源: 评论
MEMS半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现
收藏 引用
仪表技术与传感器 2017年 第6期 141-144,149页
作者: 孙殿竣 张卫平 唐健 邢亚亮 欧彬 刘朝阳 微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 上海200240
MEMS(micro-electro-mechanical system)型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS半球谐振陀螺是MEMS陀螺领域的研究热点,文中分析了半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS半球谐振陀螺高工作频率,高... 详细信息
来源: 评论