检索结果-内蒙古大学图书馆

化学进展 2023年第3期35卷 421-432页

作者：王龙周庆萍吴钊峰张延铭叶小我陈长鑫新疆大学物理科学与技术学院乌鲁木齐830046 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

碳纳米管具有独特的一维结构和优异的光电特性,是构建光伏电池的理想材料。本文主要综述了近年来碳纳米管基光伏电池的结构设计、制备方法以及碳纳米管在器件中的不同功能应用。首先概述了碳纳米管的结构和光电特性,重点讨论了碳纳米管... 详细信息

碳纳米管具有独特的一维结构和优异的光电特性,是构建光伏电池的理想材料。本文主要综述了近年来碳纳米管基光伏电池的结构设计、制备方法以及碳纳米管在器件中的不同功能应用。首先概述了碳纳米管的结构和光电特性,重点讨论了碳纳米管作为光电转换材料、导电电极和载流子传输层等功能层时器件的原理、制作方法及优缺点,介绍了碳纳米管在微型光伏电池、碳纳米管/硅异质结光伏电池、染料敏化光伏电池、钙钛矿光伏电池、有机光伏电池以及柔性光伏电池中的应用,最后总结了碳纳米管基光伏电池的优势和挑战,以期为新型碳基光伏电池的设计和制作提供思路和参考。

关键词：碳纳米管光伏电池光电转换功率转换效率透明导电电极

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金属催化轴向解链法制备窄石墨烯纳米带

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新型炭材料 2020年第6期35卷 716-721页

作者：王锴周庆萍陈志刚陈由馨贺志岩江圣昊陈杰陈长鑫江苏科技大学材料科学与工程学院江苏镇江212001 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景.然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR.本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法.通过... 详细信息

窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景.然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR.本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法.通过研究,获得了该方法解链SWCNT的最佳工艺,通过控制H2流量能调节SWCNT的解链速率.窄GNR和GNR/SWCNT分子内异质结有望被用于下一代电子和光电器件.

关键词：单壁碳纳米管石墨烯纳米带异质结

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金刚石半球谐振微陀螺的结构设计与制备方法

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传感器与微系统 2021年第6期40卷 8-10页

作者：谷留涛张卫平刘朝阳张雷龚成向浩微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240 上海自主智能无人系统科学中心同济大学上海201210 中国电子科技集团公司第五十研究所上海200331 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真.模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37045 Hz... 详细信息

提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真.模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37045 Hz;谐响应分析表明,在0°方向上陀螺工作模态的振动频率为26593 Hz,最大位移为0.021 μm,在45°方向上陀螺工作模态的振动频率为26669 Hz,最大位移为0.0064 μm.随后提出了一种自对准制造工艺,使用该工艺制造16个均匀分布在半球壳外部的集成金刚石电极的方法,可确保整个网周的电容间隙均匀.

关键词：半球微陀螺微机电系统(MEMS) 有限元分析工作模态金刚石

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基于化学掺杂的碳纳米管二极管

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新型炭材料 2018年第5期33卷 476-480页

作者：宋传娟杨俊茹廖成浩刘晓东王英贺蓉董续盛钟汉清刘一剑张丽英陈长鑫山东科技大学机械电子工程学院山东青岛266590 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件... 详细信息

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件具有高的器件性能,其整流比可达10~3数量级、反向饱和电流仅为23 p A。此外,简要探讨了该结构二极管的工作原理。

关键词：单壁碳纳米管 p-i-n结二极管局部化学掺杂整流特性

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一体双驱对称式压电悬臂梁微驱动器

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压电与声光 2018年第5期40卷 657-660页

作者：寻之宇张卫平周岁欧彬微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了... 详细信息

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线。将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性。

关键词：压电驱动器一体双驱对称微机电系统悬臂梁式

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基于System Generator建模的微半球陀螺数字化测控电路设计

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飞控与探测 2019年第6期2卷 54-60页

作者：田梦雅张卫平谷留涛刘朝阳欧彬成宇翔赵万良微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240 上海航天控制技术研究所上海惯性工程技术研究中心上海201109

随着对于惯性测量单元精确度的要求不断提升,针对于陀螺仪测控电路的要求也逐步提高。首先介绍了微半球谐振陀螺的结构与工作原理,然后对其测控电路工作原理进行了介绍。之后通过System Generator建模设计出微陀螺的闭环控制与检测电路... 详细信息

随着对于惯性测量单元精确度的要求不断提升,针对于陀螺仪测控电路的要求也逐步提高。首先介绍了微半球谐振陀螺的结构与工作原理,然后对其测控电路工作原理进行了介绍。之后通过System Generator建模设计出微陀螺的闭环控制与检测电路方案,搭建微陀螺的电路系统,完成微陀螺的性能测试,为微陀螺的测控电路领域的研究提供参考和支持。

关键词：微半球陀螺 System Generator 测控电路系统建模仿真

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MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现

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仪表技术与传感器 2017年第6期 141-144,149页

作者：孙殿竣张卫平唐健邢亚亮欧彬刘朝阳微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240

MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高... 详细信息

MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。

关键词： MEMS微半球谐振陀螺力反馈闭环控制 FPGA

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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计

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上海交通大学学报 2015年第11期49卷 1675-1679页

作者：刘军李海华王庆康上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法... 详细信息

基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.

关键词：扭臂式静电驱动微执行器力矩法 Pull-in电压力电耦合分析方法

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空气阻尼对扭臂式静电驱动结构pull-in电压的影响

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半导体光电 2015年第4期36卷 592-596页

作者：刘军李海华胡克想王庆康上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压,得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电... 详细信息

基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压,得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电压的影响。结果表明,在一定范围内,随着上电极长度、上电极宽度的增加以及上下电极之间间距的减小,空气阻尼作用对pull-in电压的影响逐步增大;并且当上电极宽度增大或者上下电极之间间距减小到一定程度时,空气阻尼作用力甚至可以与驱动的静电力达到同一数量级,此时必须考虑空气阻尼作用的影响。

关键词：扭臂式静电驱动能量法力电耦合方法 pull-in电压空气阻尼

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扑翼微飞行器紫外激光加工技术

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半导体光电 2015年第4期36卷 657-660,666页

作者：张伟张卫平柯希俊邹阳柴双双叶以楠上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术... 详细信息

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术。并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3cm,最小尺寸为80μm的飞行器样机。

关键词：紫外激光非硅微加工碳纤维加工扑翼微飞行器

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