检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料 2010年第2期41卷 354-357,361页

作者：毛胜平汪红刘瑞汤俊李雪萍丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍... 详细信息

利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。

关键词： MEMS UV—LIGA镍电沉积力学性能单轴拉伸

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X波段移相器中低弹性系数RF-MEMS开关的研究

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传感器与微系统 2010年第9期29卷 42-44页

作者：臧法珩丁桂甫宿智娟上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计。通过对多臂梁式结构RF-MEMS开关的力学性能和电学性能进行有限元仿真和优化,开关的弹性系数为17.63 N/m。在10 GHz的工作频率下,此RF-MEMS开关驱动电压... 详细信息

讨论了一种应用于X波段开关线型移相器中的新型低弹性系数RF-MEMS静电式开关的设计。通过对多臂梁式结构RF-MEMS开关的力学性能和电学性能进行有限元仿真和优化,开关的弹性系数为17.63 N/m。在10 GHz的工作频率下,此RF-MEMS开关驱动电压为36.5 V,移相器的插入损耗小于9 dB。

关键词：射频MEMS 开关线性移相器插入损耗

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一维纳米材料定向排布技术的研究进展

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微纳电子技术 2010年第2期47卷 80-84+114页

作者：胡林陈长鑫张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

定向排列技术是一维纳米材料应用中的一项关键技术。论述了LB(Langmuir-Blodgett)膜法、介电泳法、接触印刷法和水流法几类定向排列方法及其特点。LB膜法利用材料的两亲特性,将一维纳米材料铺展在水面,压缩水面成膜区域,使材料取向排列... 详细信息

定向排列技术是一维纳米材料应用中的一项关键技术。论述了LB(Langmuir-Blodgett)膜法、介电泳法、接触印刷法和水流法几类定向排列方法及其特点。LB膜法利用材料的两亲特性,将一维纳米材料铺展在水面,压缩水面成膜区域,使材料取向排列;介电泳法借助材料在交变电场中的极化现象,使一维纳米材料沿着电极之间的电场线方向定向排列;接触印刷法利用材料和衬底表面的范德华力使一维纳米材料脱离施主衬底,定向排列到受主衬底上;水流法利用流体的冲刷作用或者液体的毛细效应,使一维纳米材料呈取向性排列。介绍了这些物理、化学和机械方法在一维纳米材料定向排布加工方面所具有的不同特色和适用条件。

关键词：一维纳米材料定向排列 LB 介电泳接触印刷水流法

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一种抗紫外自清洁纳米涂料的制备及应用

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功能材料 2010年第5期41卷 808-811,815页

作者：李娜贺蓉崔大祥孔毅飞上海交通大学微纳科学技术研究院 "薄膜与微细技术"教育部重点实验室"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室上海200240

采用硅烷偶联剂对纳米粒子(粒径30nm的TiO2、SiO2、ZnO)进行表面改性,并将改性后的纳米粒子用于氟碳涂料中,得到抗紫外自清洁纳米改性涂料。利用透射电镜TEM及沉降实验对纳米粒子的改性效果进行了表征,得到结果:改性后纳米粒子能均匀地... 详细信息

采用硅烷偶联剂对纳米粒子(粒径30nm的TiO2、SiO2、ZnO)进行表面改性,并将改性后的纳米粒子用于氟碳涂料中,得到抗紫外自清洁纳米改性涂料。利用透射电镜TEM及沉降实验对纳米粒子的改性效果进行了表征,得到结果:改性后纳米粒子能均匀地分散到甲苯等有机溶剂中。通过紫外分光光度计和接触角测量仪分别对改性后的涂膜对紫外光的吸收及表面疏水的自清洁性能进行了表征,结果表明,改性后的涂膜能有效地吸收大气中的紫外光,并且测得纳米改性的涂膜比未改性的涂膜接触角明显增大,有较好的表面疏水自清洁功效。

关键词：纳米粒子表面改性抗紫外自清洁

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一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究

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南京师大学报（自然科学版） 2010年第3期33卷 40-44页

作者：孔令飞戴旭涵苗晓丹丁桂甫赵小林上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分... 详细信息

介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础.

关键词：微机电系统电磁继电器碰撞动态测试

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牛血清白蛋白辅助合成Ag2Se-Se复合纳米粒子

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材料科学与工程学报 2010年第5期28卷 641-644,752页

作者：孔毅飞高峰崔大祥黄鹏贺蓉李娜 “薄膜与微细技术”教育部重点实验室 “微米/纳米加工技术”国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

本文利用牛血清白蛋白(BSA)作为表面活性剂,在水相中成功合成了具有复合结构的Ag2Se-Se纳米粒子。该复合纳米粒子具有较好的分散性。整个实验过程均在室温下进行,合成方法简单、可控且重复性好。结合傅立叶变换红外光谱(FTIR)和紫外吸... 详细信息

本文利用牛血清白蛋白(BSA)作为表面活性剂,在水相中成功合成了具有复合结构的Ag2Se-Se纳米粒子。该复合纳米粒子具有较好的分散性。整个实验过程均在室温下进行,合成方法简单、可控且重复性好。结合傅立叶变换红外光谱(FTIR)和紫外吸收光谱(UV-vis)的结果,分析了纳米粒子复合结构的形成过程;采用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)结合选区电子衍射(SAED)和能谱分析(EDS),对制备的复合粒子形貌和成份组成进行了分析测定;利用X射线粉末衍射(XRD)分析了复合粒子的晶体结构和相组成。采用BSA修饰制备得到的纳米粒子生物相容性好,可以在生物医学领域中得到广泛应用。

关键词：牛血清白蛋白 Se Ag2Se 复合纳米粒子

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基于狄恩流的微混合器的研究

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微纳电子技术 2010年第1期47卷 38-44页

作者：肖丽君芦琦陈翔李以贵陈迪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

所设计的微混合器是一种基于狄恩流的被动式混合器,该混合器的结构特点是由多个不同半径的弯曲管道双螺旋而成,中部通过"S"形管道将输入管道和输出管道相连。首先分析了狄恩流形成的机理及特点,再通过流体计算软件CFD-ACE+三... 详细信息

所设计的微混合器是一种基于狄恩流的被动式混合器,该混合器的结构特点是由多个不同半径的弯曲管道双螺旋而成,中部通过"S"形管道将输入管道和输出管道相连。首先分析了狄恩流形成的机理及特点,再通过流体计算软件CFD-ACE+三维模拟并分析了不同流速对二次流强弱以及混合程度的影响,最后利用微细加工技术制作微混合器,罗丹明B溶液与去离子水用作待混合液体,利用Image J软件获取混合图像的灰度值来分析混合器的性能。

关键词：微混合器狄恩流微管道二次流狄恩数灰度值

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纳米分子电子器件的研究

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微纳电子技术 2010年第3期47卷 136-141,169页

作者：张耀中张亚非上海交通大学微纳米研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240

纳米分子电子器件是未来电子器件发展的重要方向。对几种典型的纳米分子电子器件,如纳米分子开关、纳米分子整流器、纳米分子晶体管、纳米分子电磁器件和纳米分子电光器件的工作原理、应用前景等方面进行了介绍,同时分析了各自的优势与... 详细信息

纳米分子电子器件是未来电子器件发展的重要方向。对几种典型的纳米分子电子器件,如纳米分子开关、纳米分子整流器、纳米分子晶体管、纳米分子电磁器件和纳米分子电光器件的工作原理、应用前景等方面进行了介绍,同时分析了各自的优势与问题所在。这一领域所遇到的主要挑战问题在于器件的可靠性与生产的高成本。目前纳米分子电子器件的发展趋势和研究重点是通过对器件原理的深入研究以及制备方法的不断探索,找到提高器件可靠性的方法以及解决降低成本和适应市场化的问题。

关键词：分子开关整流器分子晶体管分子器件碳纳米管

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带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应分析

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传感技术学报 2010年第5期23卷 665-669页

作者：周镇威杨卓青蔡豪刚丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 哥伦比亚大学机械工程系纽约100276902

针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关... 详细信息

针对带有凸条平板的MEMS结构压膜阻尼效应,利用基本Reynolds方程和特定的第一类边界条件,给出一种压膜阻尼系数的解析分析方法。在带有凸条平板的MEMS微开关设计与制作的基础上,利用引入该压膜阻尼系数的Simulink模型仿真分析了微开关的动态响应特性,得到的阈值加速度与其落锤测试结果是一致的,从而验证了所提出的带有凸条平板压膜阻尼效应理论分析的正确性。

关键词：微机电系统压膜阻尼带凸条平板解析解

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基于准分子激光工艺制作X射线光掩膜

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半导体技术 2010年第4期35卷 349-351页

作者：陈少军李以贵上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的... 详细信息

LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的成本。分析讨论了基于电子束制作掩膜版和基于准分子激光制作掩膜版两种方法,得出了准分子激光制作的掩膜在成本和时间上都有优势的结论。将通过准分子激光技术制作的掩膜置于X射线下,在PMMA基板上可以加工很好的三维微结构。通过依次直接激光烧蚀金薄膜可以加工具有一系列微球状结构的吸收体图形,再将此图形转写到PMMA基板上,可以得到的最低像素为25μm。

关键词：准分子激光掩膜版投影 LIGA掩膜版 PMMA基板

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