检索结果-内蒙古大学图书馆

电镀与涂饰 2025年第3期44卷 112-121页

作者：李文魏琪南阳鞠玉琳李少杰张笑尘中国航空制造技术研究院先进表面工程技术航空科技重点实验室/高能束流加工技术国家级重点实验室北京100024 江苏大学材料科学与工程学院江苏镇江212013

[目的]电镀Zn–Ni合金是一种可靠的代镉电镀技术,但其镀液成分复杂、维护困难,限制了其应用。因此,开发一种成分简单、工艺窗口宽的Zn–Ni合金镀液具有重要意义。[方法]以超高强钢300M为基体电镀Zn–Ni合金,先研究了镀液中NaOH和二乙烯... 详细信息

[目的]电镀Zn–Ni合金是一种可靠的代镉电镀技术,但其镀液成分复杂、维护困难,限制了其应用。因此,开发一种成分简单、工艺窗口宽的Zn–Ni合金镀液具有重要意义。[方法]以超高强钢300M为基体电镀Zn–Ni合金,先研究了镀液中NaOH和二乙烯三胺环氧衍生物(DEEO)含量对镀层Ni含量的影响,然后研究了电流密度和电镀时间对镀层微观结构和耐蚀性的影响。[结果]当镀液中锌离子与镍离子质量浓度比为5:1,Na OH、DEEO的质量浓度分别为120 g/L和40 g/L时,可以在2~4 A/dm^(2)的电流密度范围内获得均匀致密且为单一γ相的Zn–Ni合金镀层,其中Ni的质量分数稳定在13%~16%范围内。当电流密度为3~4 A/dm^(2),电镀时间在30 min以内时,阴极电流效率稳定在80%以上,镀层耐蚀性良好。[结论]本工艺的镀液成分简单、易于维护,能够在较宽的电流密度范围内电镀得到耐蚀性优良的Zn–Ni合金镀层,具有很好的应用前景。

关键词：超高强钢碱性电镀锌-镍合金氢氧化钠二乙烯三胺环氧衍生物电流密度耐蚀性

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用于超高分辨率位移测量的迈克尔逊激光器

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宇航计测技术 2025年第1期45卷 7-12页

作者：秦晓敏刘子捷王志洋史航博卢子奇史田田陈景标北京大学电子学院量子电子学研究所区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室北京100871 北京大学集成电路学院微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871 合肥国家实验室合肥230088

高分辨率位移测量对于光刻机、精密加工、生物探测等领域具有重要的作用。提出一种基于迈克尔逊激光器的新型位移测量方案,与传统激光干涉方案采用电子细分干涉条纹方法不同,该方案将位移测量溯源到激光频率测量,实现位移的高分辨率测... 详细信息

高分辨率位移测量对于光刻机、精密加工、生物探测等领域具有重要的作用。提出一种基于迈克尔逊激光器的新型位移测量方案,与传统激光干涉方案采用电子细分干涉条纹方法不同,该方案将位移测量溯源到激光频率测量,实现位移的高分辨率测量。搭建一种基于法拉第原子滤光器的法拉第-迈克尔逊激光器构型,利用窄带宽的法拉第反常色散原子滤光器作为选频器件,实现两路激光模式的同时起振输出,并初步测试了系统的位移测量分辨率,证实了方案的可行性。由于频率测量可以达到远超12位的分辨率,因此该方案理论上可以实现pm甚至优于pm的位移测量分辨率,为未来的高分辨率位移测量提供新思路。

关键词：高分辨率几何量测量拍频激光器激光干涉仪

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碳纳米管在混合电场下的运动规律及应用研究

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固体电子学研究与进展 2007年第3期27卷 309-313,390页

作者：邢晓凌方芳侯中宇张亚非微米纳米加工技术国家重点实验室

根据介电电泳理论关于碳纳米管在电场下的运动规律,对直流和高频电场驱动下影响碳纳米管运动的因素进行了实验对比,讨论了电压、频率、电极间距、挥发时间和溶剂种类等因素。直流和高频电场对碳纳米管的取向排布和杂质分离效果有不同影... 详细信息

根据介电电泳理论关于碳纳米管在电场下的运动规律,对直流和高频电场驱动下影响碳纳米管运动的因素进行了实验对比,讨论了电压、频率、电极间距、挥发时间和溶剂种类等因素。直流和高频电场对碳纳米管的取向排布和杂质分离效果有不同影响,两者都不能完全解决近电极区域碳纳米管和杂质的分离,在综合了两种方法的特点基础上发展了直流和高频电场混合操纵碳纳米管的方法,得到碳纳米管取向分布以及与杂质分离的效果。

关键词：碳纳米管电场排布分离

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梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性

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光学精密工程 2020年第5期28卷 1066-1074页

作者：刘梦霞赵前程崔健北京大学微电子研究所微米/纳米加工技术国家级重点实验室北京100871

硅微谐振式加速度计的非线性振动可以导致振动幅度噪声耦合到频率输出进而恶化器件的噪声性能,因此有必要对谐振式加速度计的非线性振动特性进行评估及优化,拓展线性振动范围。本文针对所设计的基于梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加... 详细信息

硅微谐振式加速度计的非线性振动可以导致振动幅度噪声耦合到频率输出进而恶化器件的噪声性能,因此有必要对谐振式加速度计的非线性振动特性进行评估及优化,拓展线性振动范围。本文针对所设计的基于梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计进行了仿真与实验分析。首先对加速度计结构使用COMSOL仿真软件进行了非线性仿真分析,该方法通过在谐振梁的振动方向上施加一个静力,得到力与位移之间的关系,计算出非线性三次项系数k3,eff和线性系数keff的比值约为2.13×10^10 m^-2。然后,对双端固支音叉(DETF)进行扫频测试,得出DETF的非线性振动频响曲线。根据Duffing方程对实验数据进行拟合,得出器件两个DETF的非线性三次项系数k3,eff和线性系数keff的比值分别为2.24×10^10 m^-2和2.19×10^10 m^-2。仿真值与测试值的误差分别为5.2%和2.8%。实验结果与仿真值吻合得较好,印证了仿真方法的有效性和测试数据的可靠性。最后,对所设计的谐振加速度计进行非线性分析,当振幅小于35.4 nm时,DETF工作在线性区,可为后续谐振式加计的控制电路设计提供参考。

关键词：硅微谐振式加速度计非线性振动复合结构仿真分析

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一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路(英文)

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北京大学学报（自然科学版） 2014年第4期50卷 734-740页

作者：方然鲁文高陶婷婷沈广冲胡俊嵘陈中建张雅聪于敦山北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室北京100871

提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路。第一步采用通用级和TIA得到低噪声C／V转换，同时集成采样率1．25MS／s的14位***，将驱动和感应模式的信号转换到数字域。采用这种策略，模拟电路的复杂性被降低，数字域的信号可以... 详细信息

提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路。第一步采用通用级和TIA得到低噪声C／V转换，同时集成采样率1．25MS／s的14位***，将驱动和感应模式的信号转换到数字域。采用这种策略，模拟电路的复杂性被降低，数字域的信号可以更精确操作。此接口适用于共振频率为3～15kHz的MEMS陀螺仪。此电路在0．18μm CMOS工艺流片。实验结果显示，在3．5kHz频率下，输出电容的噪声密度为0．03aF／√Hz。

关键词：电容接口电路 MEMS陀螺仪 SAR—ADC

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碳纳米管/金属接触改善方法的研究进展

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无机材料学报 2012年第5期27卷 449-457页

作者：陈长鑫金铁凝张亚非上海交通大学微米/纳米科学技术研究院薄膜和微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

碳纳米管(CNT)由于其独特结构和优异特性已被广泛用来构筑各种纳米器件.而CNT与电极间的接触在CNT器件中扮演着重要的作用,是器件性能的关键影响因素.采用何种有效的方法来改善CNT与金属电极间的接触一直是CNT器件研究中的一个重要方面... 详细信息

碳纳米管(CNT)由于其独特结构和优异特性已被广泛用来构筑各种纳米器件.而CNT与电极间的接触在CNT器件中扮演着重要的作用,是器件性能的关键影响因素.采用何种有效的方法来改善CNT与金属电极间的接触一直是CNT器件研究中的一个重要方面.本文综述了近年来CNT/金属接触改善方法的研究进展,结合本课题组的研究对目前有代表性的接触改善方法进行介绍.阐述了各种改善方法的原理和加工工艺,讨论了采用这些方法获得的接触特性和器件性能,并对各方法的特点进行了比较.

关键词：碳纳米管(CNT) 碳纳米管/金属接触接触电阻碳纳米管场效应晶体管(CNTFET) 综述

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不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究

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中国机械工程 2005年第Z1期16卷 449-450,453页

作者：王莎莎陈兢张海霞北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871

测量了淀积在三种不同的牺牲层材料(热氧SiO2、LPCVD SiO2、LPCVD PSG)上LPCVD氮化硅薄膜的应力,结果表明,不同牺牲层上淀积的氮化硅薄膜残余应力存在较大的差异.从多方面分析了残余应力差异产生的原因,实验得到的结果为器件的设计提供... 详细信息

测量了淀积在三种不同的牺牲层材料(热氧SiO2、LPCVD SiO2、LPCVD PSG)上LPCVD氮化硅薄膜的应力,结果表明,不同牺牲层上淀积的氮化硅薄膜残余应力存在较大的差异.从多方面分析了残余应力差异产生的原因,实验得到的结果为器件的设计提供了更准确的依据.

关键词：微机械系统残余应力薄膜牺牲层氮化硅

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纳米压印过程中的聚合物流变机理

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上海交通大学学报 2012年第6期46卷 887-891,899页

作者：刘瑞宏李海华王庆康上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200040

针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比... 详细信息

针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比及非周期结构对光刻胶填充效果的影响.结果表明,相对于非周期模板,周期结构的模板所能引起的图形转移缺陷小;占空比及深宽比对小周期模板比大周期模板的影响大.进行了纳米压印实验,实验结果与仿真结果吻合,说明了仿真的可信,可以作为模板结构设计及表面处理工艺的依据.

关键词：紫外纳米压印有限元仿真占空比周期结构任意的拉格朗日-欧拉

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面向脑机接口的犹他神经电极技术

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物理化学学报 2020年第12期36卷 24-35页

作者：谢凡奚野徐庆达刘景全微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳电子学系上海200240

脑机接口(Brain-computer interface,BCI),是指在人或动物脑与计算机或其它电子设备之间建立的连接通路,实现了脑与外部设备的直接交互,在认识脑、保护脑和模拟脑方面有着重要的作用,尤其是将来可用于治疗患有神经系统疾病的患者,使他... 详细信息

脑机接口(Brain-computer interface,BCI),是指在人或动物脑与计算机或其它电子设备之间建立的连接通路,实现了脑与外部设备的直接交互,在认识脑、保护脑和模拟脑方面有着重要的作用,尤其是将来可用于治疗患有神经系统疾病的患者,使他们受损的运动和感知等功能得以恢复。神经电极作为脑机接口的核心部分,是与神经元相互作用的电生理器件,可以用来记录或干预神经活动状态,由美国犹他大学提出的犹他电极阵列(Utah Electrode Array,UEA)是神经电极的一个典型代表。犹他独特的三维针状结构使每个电极具有高时空分辨率的同时相互之间有良好的绝缘,植入后电极尖端只作用于周围一小群神经元,甚至可以记录单个神经元的放电活动。本文主要介绍了UEA的结构、制造工艺流程和功能特点,重点论述其在高密度阵列、无线传输、光电极阵列等方面的研究进展,同时分析了可用于提高电极可靠性的表面修饰方法,并举例说明了UEA的临床应用,最后对未来的发展趋势进行了展望。

关键词：神经电极植入式犹他电极阵列表面修饰生物相容性

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应用于电磁驱动器的非线性平面微弹簧及其集成制造工艺研究

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传感技术学报 2020年第2期33卷 167-172页

作者：邵秀锋赵小林戴旭涵唐智勇黄建泽丁桂甫上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构。目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点。本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一种变形量在100 μm左右,弹性变形力在5 mN附近的非线性变刚度... 详细信息

平面微弹簧是MEMS器件(如微驱动器、开关等)中一种常用的微结构。目前,平面非线性微弹簧的设计、制造与应用正日益成为关注的焦点。本文针对微机械电磁驱动器的需求,研制了一种变形量在100 μm左右,弹性变形力在5 mN附近的非线性变刚度微弹簧。研究包括通过仿真分析确定了弹簧的结构方案和影响因素,提出了配套的原位集成制造微加工工艺,并测试了所研制“V型”平面微弹簧的非线性特性,验证了所提出方案的可行性。为非线性弹簧的进一步设计和应用提供参考。

关键词：微机电系统非线性平面微弹簧仿真集成制造

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