检索结果-内蒙古大学图书馆

化学进展 2023年第3期35卷 421-432页

作者：王龙周庆萍吴钊峰张延铭叶小我陈长鑫新疆大学物理科学与技术学院乌鲁木齐830046 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

碳纳米管具有独特的一维结构和优异的光电特性,是构建光伏电池的理想材料。本文主要综述了近年来碳纳米管基光伏电池的结构设计、制备方法以及碳纳米管在器件中的不同功能应用。首先概述了碳纳米管的结构和光电特性,重点讨论了碳纳米管... 详细信息

碳纳米管具有独特的一维结构和优异的光电特性,是构建光伏电池的理想材料。本文主要综述了近年来碳纳米管基光伏电池的结构设计、制备方法以及碳纳米管在器件中的不同功能应用。首先概述了碳纳米管的结构和光电特性,重点讨论了碳纳米管作为光电转换材料、导电电极和载流子传输层等功能层时器件的原理、制作方法及优缺点,介绍了碳纳米管在微型光伏电池、碳纳米管/硅异质结光伏电池、染料敏化光伏电池、钙钛矿光伏电池、有机光伏电池以及柔性光伏电池中的应用,最后总结了碳纳米管基光伏电池的优势和挑战,以期为新型碳基光伏电池的设计和制作提供思路和参考。

关键词：碳纳米管光伏电池光电转换功率转换效率透明导电电极

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集成PVB修饰Ag/AgCl参比电极的pH传感硅探针阵列

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传感器与微系统 2024年第9期43卷 68-70页

作者：王卓刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.... 详细信息

介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.44 mm^(2)。最终硅记录探针的pH灵敏度为53.13 mV/pH,电位漂移为8 000 s下20 mV,并且探针工艺与硅基探针高度融合。总之,集成参比电极并且提高其稳定性对于生物传感器以及脑疾病诊断生物标志物的电化学检测具有重要意义。

关键词： Ag/AgCl参比电极 pH传感器生物稳定性

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基于章鱼吸盘柔性干电极的可穿戴脑电采集系统

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传感器与微系统 2022年第9期41卷 69-72页

作者：宋振宇申跟财刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的... 详细信息

研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的数据处理与控制模块和基于WiFi协议的无线传输模块,整体尺寸为52 mm×35 mm×12 mm,使用锂电池供电,PC端通过Python编写接收程序实时显示存储EEG信号。系统使用章鱼吸盘电极得到的EEG信号质量和传统湿电极相当。

关键词：章鱼吸盘柔性电极可穿戴脑电信号采集

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Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究

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传感器与微系统 2022年第1期41卷 7-9,14页

作者：仲逸飞刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 详细信息

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。

关键词：微型加热器微机电系统 Evanohm合金低温

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硅阵列探针上基于IrO_(x)的pH传感器和电生理信号传感器

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传感器与微系统 2022年第4期41卷 70-72,85页

作者：王琛刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz... 详细信息

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz时具有10 kΩ的低阻抗,而电化学电极点则对pH值具有47 mV/pH的灵敏度。此多功能密歇根探针能够帮助揭示神经生理学和病理学的机制。

关键词： pH传感器微机电系统多功能密歇根探针

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一种回折梁结构低频压电能量采集器

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压电与声光 2020年第1期42卷 93-96页

作者：牟方晓王淇刘景全上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

为满足振动频率在一定范围内变动,且在空间有限的环境下无线传感器系统的自供能需求,设计了一种具有3个自由度的回折梁振动压电能量采集器。基于系统结构和工作原理,进行了理论分析及建立了回折梁结构有限元模型,并对该模型进行了有限... 详细信息

为满足振动频率在一定范围内变动,且在空间有限的环境下无线传感器系统的自供能需求,设计了一种具有3个自由度的回折梁振动压电能量采集器。基于系统结构和工作原理,进行了理论分析及建立了回折梁结构有限元模型,并对该模型进行了有限元分析和模态仿真。制作回折梁压电能量采集器的原理样机,搭建试验平台,在振动台上进行试验。试验结果表明,理论分析、有限元模拟结果与实验结果吻合,在3.5~8.5 Hz低频振动下能产生大于5 V的电压,最高输出电压约为17.5 V,是传统单梁结构的1.4倍,且具有3个输出电压峰,工作带宽为传统单梁结构的4.5倍,实现了宽频效果。所提出的回折梁结构压电能量采集器在低频、振动频率变化的环境中有效且自适应。

关键词：压电回折梁能量采集器宽频三自由度

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金属催化轴向解链法制备窄石墨烯纳米带

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新型炭材料 2020年第6期35卷 716-721页

作者：王锴周庆萍陈志刚陈由馨贺志岩江圣昊陈杰陈长鑫江苏科技大学材料科学与工程学院江苏镇江212001 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景.然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR.本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法.通过... 详细信息

窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景.然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR.本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法.通过研究,获得了该方法解链SWCNT的最佳工艺,通过控制H2流量能调节SWCNT的解链速率.窄GNR和GNR/SWCNT分子内异质结有望被用于下一代电子和光电器件.

关键词：单壁碳纳米管石墨烯纳米带异质结

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金刚石半球谐振微陀螺的结构设计与制备方法

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传感器与微系统 2021年第6期40卷 8-10页

作者：谷留涛张卫平刘朝阳张雷龚成向浩微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240 上海自主智能无人系统科学中心同济大学上海201210 中国电子科技集团公司第五十研究所上海200331 中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050

提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真.模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37045 Hz... 详细信息

提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真.模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37045 Hz;谐响应分析表明,在0°方向上陀螺工作模态的振动频率为26593 Hz,最大位移为0.021 μm,在45°方向上陀螺工作模态的振动频率为26669 Hz,最大位移为0.0064 μm.随后提出了一种自对准制造工艺,使用该工艺制造16个均匀分布在半球壳外部的集成金刚石电极的方法,可确保整个网周的电容间隙均匀.

关键词：半球微陀螺微机电系统(MEMS) 有限元分析工作模态金刚石

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MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究

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传感技术学报 2020年第6期33卷 825-829页

作者：侯晓伟刘莉娜吕阳郑良广张丛春宁波中车时代传感技术有限公司中国中车传感测量技术研发中心浙江宁波315021 湖南汽车工程职业学院车辆工程学院湖南株洲412000 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的... 详细信息

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10^-6/K。另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性。

关键词：铂电阻温度传感器微机电系统热处理电阻温度系数

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基于化学掺杂的碳纳米管二极管

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新型炭材料 2018年第5期33卷 476-480页

作者：宋传娟杨俊茹廖成浩刘晓东王英贺蓉董续盛钟汉清刘一剑张丽英陈长鑫山东科技大学机械电子工程学院山东青岛266590 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件... 详细信息

本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件具有高的器件性能,其整流比可达10~3数量级、反向饱和电流仅为23 p A。此外,简要探讨了该结构二极管的工作原理。

关键词：单壁碳纳米管 p-i-n结二极管局部化学掺杂整流特性

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