检索结果-内蒙古大学图书馆

压电与声光 2018年第5期40卷 657-660页

作者：寻之宇张卫平周岁欧彬微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了... 详细信息

设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线。将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性。

关键词：压电驱动器一体双驱对称微机电系统悬臂梁式

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基于System Generator建模的微半球陀螺数字化测控电路设计

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飞控与探测 2019年第6期2卷 54-60页

作者：田梦雅张卫平谷留涛刘朝阳欧彬成宇翔赵万良微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240 上海航天控制技术研究所上海惯性工程技术研究中心上海201109

随着对于惯性测量单元精确度的要求不断提升,针对于陀螺仪测控电路的要求也逐步提高。首先介绍了微半球谐振陀螺的结构与工作原理,然后对其测控电路工作原理进行了介绍。之后通过System Generator建模设计出微陀螺的闭环控制与检测电路... 详细信息

随着对于惯性测量单元精确度的要求不断提升,针对于陀螺仪测控电路的要求也逐步提高。首先介绍了微半球谐振陀螺的结构与工作原理,然后对其测控电路工作原理进行了介绍。之后通过System Generator建模设计出微陀螺的闭环控制与检测电路方案,搭建微陀螺的电路系统,完成微陀螺的性能测试,为微陀螺的测控电路领域的研究提供参考和支持。

关键词：微半球陀螺 System Generator 测控电路系统建模仿真

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基于紫外纳米压印光刻的氟化混合物模板制备

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飞控与探测 2019年第2期2卷 54-58页

作者：胡克想王阳培华王庆康中国矿业大学信息与控制工程学院物联网(感知矿山)研究中心矿山互联网应用技术国家工程实验室徐州221008 上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

不同特征尺度和不同周期的氟化混合物软复制模板,通过使用硅主模板和紫外纳米压印光刻技术制备而成。与聚二甲基硅氧烷和其他聚合物材料相比,光刻胶具有优良的性能,如优良的机械强度、低表面能和良好的热稳定性等。在紫外和热纳米压印... 详细信息

不同特征尺度和不同周期的氟化混合物软复制模板,通过使用硅主模板和紫外纳米压印光刻技术制备而成。与聚二甲基硅氧烷和其他聚合物材料相比,光刻胶具有优良的性能,如优良的机械强度、低表面能和良好的热稳定性等。在紫外和热纳米压印工艺中,主模板被用作印章。实验结果表明,转移到基底上的图案与主模板非常一致。所制备的氟化混合物复制模板不仅适用于紫外纳米压印,也适用于热纳米压印,并且所加工的复制模板还可被用于制备光电器件,以实现传感、成像、探测、通信和数据存储等领域中的相关功能。

关键词：纳米制造纳米压印曝光纳米压印设备氟化混合物复制软模板

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MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计

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半导体光电 2017年第1期38卷 40-44页

作者：赵万良成宇翔孙殿竣唐健刘朝阳欧彬张卫平上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心上海201109 上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海200240

微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方... 详细信息

微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作。

关键词：微电子机械系统半球谐振角速度积分控制 FPGA

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基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的设计与制作

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半导体光电 2017年第2期38卷 199-203页

作者：朱甲强张卫平唐健邢亚亮孙殿竣吴校生崔峰刘武成宇翔赵万良上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海200240 上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心上海201109

提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了... 详细信息

提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,肖特BF33玻璃与单晶硅片通过阳极键合工艺键合在一起。介绍了该种陀螺的基本结构、工作原理,并进行了仿真分析,得出该种陀螺具有较小的频率分裂,表现出陀螺效应。最后,通过MEMS工艺进行了实际加工,得到了该种陀螺的实验样品。

关键词：阳极键合圆盘多环谐振陀螺 MEMS工艺

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MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现

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仪表技术与传感器 2017年第6期 141-144,149页

作者：孙殿竣张卫平唐健邢亚亮欧彬刘朝阳微米/纳米加工国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240

MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高... 详细信息

MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。

关键词： MEMS微半球谐振陀螺力反馈闭环控制 FPGA

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内部梳齿状pn结结构对单晶硅太阳电池电学特性的影响

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太阳能学报 2015年第1期36卷 96-101页

作者：余孟尧王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

提出梳齿状pn结单晶硅太阳电池,通过计算机TCAD模拟的方法,对单晶硅太阳电池的梳齿状pn结结构对电池内部电流分布和电池效率造成的影响进行模拟分析和理论研究。研究结果表明采用pn结梳齿状结构对单晶硅太阳电池的电学性能有一定程度上... 详细信息

提出梳齿状pn结单晶硅太阳电池,通过计算机TCAD模拟的方法,对单晶硅太阳电池的梳齿状pn结结构对电池内部电流分布和电池效率造成的影响进行模拟分析和理论研究。研究结果表明采用pn结梳齿状结构对单晶硅太阳电池的电学性能有一定程度上的优化,但同时也带来电流集边等非理想效应。在模拟范围内,梳齿宽度为1μm,深度为30μm的梳齿状pn结单晶硅电池拥有更理想的电池效率。

关键词：单晶硅太阳电池电学结构 TCAD模拟 pn结梳齿

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超细Ar/O_2大气压等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜（英文）

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强激光与粒子束 2015年第2期27卷 79-83页

作者：郭红磊刘景全陈翔杨斌杨春生上海交通大学微/纳电子系上海200240 微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种在大气压环境下产生超细Ar/O2等离子体射流的装置。为了降低等离子体射流的尺寸,一种特制的玻璃微针被用于制作等离子体射流源。当施加在电极上的电压为4.0kV时,该装置能产生基本均匀和稳定等离子体射流,且等离子体射流的线... 详细信息

介绍了一种在大气压环境下产生超细Ar/O2等离子体射流的装置。为了降低等离子体射流的尺寸,一种特制的玻璃微针被用于制作等离子体射流源。当施加在电极上的电压为4.0kV时,该装置能产生基本均匀和稳定等离子体射流,且等离子体射流的线宽仅有几μm。此外,探究了该超细等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜的可能性。实验结果表明,该超细Ar/O2等离子体射流能有效地选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜,去除速率可达2.4μm/min。因此,这种超细Ar/O2大气压等离子体射流有可能用于材料的超细加工。

关键词：大气压等离子体射流微针聚合物薄膜选择性去除

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BST铁电薄膜高频特性的仿真分析研究

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电子元件与材料 2016年第4期35卷 29-34页

作者：陈明明张丛春谢意达丁桂甫赵小林高杨上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 中国工程物理研究院四川绵阳621000

通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS&Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面波导传输线,微带低通滤波器和信号串扰等模型,并分析了... 详细信息

通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS&Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面波导传输线,微带低通滤波器和信号串扰等模型,并分析了加入钛酸锶钡(简称BST)薄膜前后各种模型的散射参数(S参数)和群延时。随后,在SiO_2和BST间加入过渡层(LNO,MgO),模拟分析微波元件参数的变化。同时还仿真分析了不同硅衬底厚度和不同BST薄膜厚度情况下的能量延时和S参数。结果表明,由于BST铁电薄膜的高介电常数特性,使得这层薄膜附近的信号线上会产生强烈的信号串扰。最后以共面波导传输线为示例,利用表面微细加工技术制备了共面波导传输线,并利用网络分析仪测试其传输性能,实际测试结果与仿真趋势一致。

关键词：微波传输 BST薄膜群延时 S参数串扰仿真

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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计

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上海交通大学学报 2015年第11期49卷 1675-1679页

作者：刘军李海华王庆康上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法... 详细信息

基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.

关键词：扭臂式静电驱动微执行器力矩法 Pull-in电压力电耦合分析方法

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