检索结果-内蒙古大学图书馆

半导体光电 2015年第4期36卷 592-596页

作者：刘军李海华胡克想王庆康上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压,得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电... 详细信息

基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压,得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电压的影响。结果表明,在一定范围内,随着上电极长度、上电极宽度的增加以及上下电极之间间距的减小,空气阻尼作用对pull-in电压的影响逐步增大;并且当上电极宽度增大或者上下电极之间间距减小到一定程度时,空气阻尼作用力甚至可以与驱动的静电力达到同一数量级,此时必须考虑空气阻尼作用的影响。

关键词：扭臂式静电驱动能量法力电耦合方法 pull-in电压空气阻尼

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扑翼微飞行器紫外激光加工技术

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半导体光电 2015年第4期36卷 657-660,666页

作者：张伟张卫平柯希俊邹阳柴双双叶以楠上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术... 详细信息

为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术。并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3cm,最小尺寸为80μm的飞行器样机。

关键词：紫外激光非硅微加工碳纤维加工扑翼微飞行器

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微电极阵列检测细胞电生理仿真与设计

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电子器件 2015年第5期38卷 1031-1036页

作者：张佳骏王庆康胡克想上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

测量细胞电生理信号的方法-微电极阵列检测技术,是指在微电极表面首先培养可兴奋性细胞,然后进行电信号的实时监测,该方法具有检测通道数多、无损伤性、响应速度快、制备工艺简单、可长期检测等优点。借助Stern双电层模型阐述了微电极-... 详细信息

测量细胞电生理信号的方法-微电极阵列检测技术,是指在微电极表面首先培养可兴奋性细胞,然后进行电信号的实时监测,该方法具有检测通道数多、无损伤性、响应速度快、制备工艺简单、可长期检测等优点。借助Stern双电层模型阐述了微电极-电解液界面的电化学过程,采用电路仿真软件Multisim构建了完整的细胞-微电极等效电路来定量分析电化学过程;对于等效电路中的物理量取不同的数值进行仿真,研究它们对信号大小的影响程度并基于此给出了具体的微电极参数设计方案;设计检测电路并进行仿真,验证该电路满足检测需求。构建出完整的电生理等效电路,给出微电极阵列参数设计方案,设计出检测电路,为进一步电生理测试中的MEMS加工制造和电路研制提供了参考。

关键词：微电极阵列电生理测试微电极参数设计检测电路

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用于增强薄膜电池抗反射的微半球孔阵列研究

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微纳电子技术 2015年第2期52卷 85-88页

作者：李新鹏王庆康李海华上海交通大学电子信息与电气工程学院微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了改善薄膜太阳电池表面抗反射特性,提高其对光的吸收率,在玻璃基体上制备了一种新的微纳抗反射结构,即微半球孔阵列,其周期约为10μm、深度约5μm。测试了微半球孔阵列结构的光学特性,得到这种结构的平均反射率约为1.7%,同平板无结... 详细信息

为了改善薄膜太阳电池表面抗反射特性,提高其对光的吸收率,在玻璃基体上制备了一种新的微纳抗反射结构,即微半球孔阵列,其周期约为10μm、深度约5μm。测试了微半球孔阵列结构的光学特性,得到这种结构的平均反射率约为1.7%,同平板无结构的玻璃相比,平均反射率降低了约6%。由测试结果可知,微半球孔阵列结构的抗反射性能得到改善,增强了薄膜太阳电池对光的捕获能力。采用紫外光刻、离子束刻蚀与湿法刻蚀相结合的工艺,整个制备工艺较简单,成本低廉,可以实现大面积应用。

关键词：微半球孔阵列抗反射反射率离子束刻蚀薄膜太阳电池

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铁硅铝/锰锌铁氧体复合软磁薄膜成型工艺及磁性能研究

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功能材料 2014年第10期45卷 109-112,118页

作者：谢辅强丁桂甫汪红程萍王艳上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

研究了基于高饱和磁感应强度的铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜的低温成型工艺和磁性能。绝缘包覆工艺上,使用高电阻率的锰锌铁氧体软磁粉末做绝缘剂。粘结工艺上,使用水玻璃做粘结剂,低温固化粘结。与传统工艺比,低温成型工艺与微加... 详细信息

研究了基于高饱和磁感应强度的铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜的低温成型工艺和磁性能。绝缘包覆工艺上,使用高电阻率的锰锌铁氧体软磁粉末做绝缘剂。粘结工艺上,使用水玻璃做粘结剂,低温固化粘结。与传统工艺比,低温成型工艺与微加工工艺兼容。应用该工艺制作了软磁薄膜,采用超景深三维显微系统VHX-2000观测复合材料的微观结构;运用振动样品磁强计测试薄膜的静态磁性能参数;使用交流磁化率测量仪测试薄膜动态磁性能参数。针对软磁磁粉颗粒度、绝缘包覆、粘结成型等不同工艺因素,制作了薄膜样品,总结了不同工艺因素对薄膜综合磁性能的影响。

关键词：复合软磁材料薄膜综合磁性能绝缘剂粘结剂低温成型

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NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究

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传感器与微系统 2014年第9期33卷 38-41页

作者：吴婷婷刘景全江水东徐斌郭杰杨斌上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明... 详细信息

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。

关键词：微型加热器 MEMS 镍铬合金深低温退火处理

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三维紧凑型半球凹坑阵列玻璃基在非晶硅薄膜电池中的应用

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半导体光电 2013年第1期34卷 69-73,78页

作者：钟建平王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

研究了一种紧密型半球凹坑阵列光子晶体玻璃基,并将其运用在非晶硅薄膜太阳电池结构。用FDTD方法对玻璃基进行了透射衍射场分布计算,用RCWA方法对基于此基底的非晶硅薄膜结构进行仿真优化,得到了0.6μm周期、最小基底厚度0.6μm的优化结... 详细信息

研究了一种紧密型半球凹坑阵列光子晶体玻璃基,并将其运用在非晶硅薄膜太阳电池结构。用FDTD方法对玻璃基进行了透射衍射场分布计算,用RCWA方法对基于此基底的非晶硅薄膜结构进行仿真优化,得到了0.6μm周期、最小基底厚度0.6μm的优化结构,与平板结构相比较0.3～0.8μm波段平均反射率降低了51.5%,平均吸收率增加了18.6%。薄膜电池结构随入射角度的增大,反射率峰值发生蓝移且明显降低,在50°～65°入射角范围内全波段具有约6%的平均反射率。

关键词：光子晶体透射衍射薄膜太阳电池陷光

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基于AFM调制电信号的矢量式纳米加工系统的开发及其应用

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航空精密制造技术 2013年第1期49卷 1-6页

作者：胡克想王庆康胡晓东吴森上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

在Digital Instrument(DI)公司多功能SPM仪器的基础上,开发出基于原子力显微镜(AFM)调制电信号的矢量式纳米加工系统,成功地实现了纳米量级结构的加工及对加工电路中微弱电流的精密实时探测,实现了对加工电压的实时精确测量及对电容效... 详细信息

在Digital Instrument(DI)公司多功能SPM仪器的基础上,开发出基于原子力显微镜(AFM)调制电信号的矢量式纳米加工系统,成功地实现了纳米量级结构的加工及对加工电路中微弱电流的精密实时探测,实现了对加工电压的实时精确测量及对电容效应的实时观测等。

关键词：纳米加工原子力显微镜调制电信号矢量式实时测量纳米光栅

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纳米压印过程中的聚合物流变机理

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上海交通大学学报 2012年第6期46卷 887-891,899页

作者：刘瑞宏李海华王庆康上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200040

针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比... 详细信息

针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比及非周期结构对光刻胶填充效果的影响.结果表明,相对于非周期模板,周期结构的模板所能引起的图形转移缺陷小;占空比及深宽比对小周期模板比大周期模板的影响大.进行了纳米压印实验,实验结果与仿真结果吻合,说明了仿真的可信,可以作为模板结构设计及表面处理工艺的依据.

关键词：紫外纳米压印有限元仿真占空比周期结构任意的拉格朗日-欧拉

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碳纳米管/金属接触改善方法的研究进展

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无机材料学报 2012年第5期27卷 449-457页

作者：陈长鑫金铁凝张亚非上海交通大学微米/纳米科学技术研究院薄膜和微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

碳纳米管(CNT)由于其独特结构和优异特性已被广泛用来构筑各种纳米器件.而CNT与电极间的接触在CNT器件中扮演着重要的作用,是器件性能的关键影响因素.采用何种有效的方法来改善CNT与金属电极间的接触一直是CNT器件研究中的一个重要方面... 详细信息

碳纳米管(CNT)由于其独特结构和优异特性已被广泛用来构筑各种纳米器件.而CNT与电极间的接触在CNT器件中扮演着重要的作用,是器件性能的关键影响因素.采用何种有效的方法来改善CNT与金属电极间的接触一直是CNT器件研究中的一个重要方面.本文综述了近年来CNT/金属接触改善方法的研究进展,结合本课题组的研究对目前有代表性的接触改善方法进行介绍.阐述了各种改善方法的原理和加工工艺,讨论了采用这些方法获得的接触特性和器件性能,并对各方法的特点进行了比较.

关键词：碳纳米管(CNT) 碳纳米管/金属接触接触电阻碳纳米管场效应晶体管(CNTFET) 综述

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