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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

作者：周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负的磁阻抗比。在... 详细信息

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负的磁阻抗比。在频率3MHz、磁场1600A/m时磁阻抗比达到最大值17.2%。磁阻抗比的最大值及负的磁阻抗比与夹心薄膜中磁各向异性轴的取向有关。另外,当磁场施加在薄膜的横向时,薄膜表现出负的磁阻抗比,在频率3MHz、磁场5600A/m时,磁阻抗比达-13.4%。

关键词： FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应磁各向异性

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基于SU-8胶转子的非接触压电微马达

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微细加工技术 2005年第1期 63-66页

作者：杨斌刘景全周广华陈迪张金娅蔡炳初上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶... 详细信息

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶片宽度为6mm的三叶片转子转速最高为3569r/min。转子的启动电压和最高电压分别为8V和24V。

关键词： SU-8胶转子非接触压电微马达

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多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究

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微细加工技术 2005年第1期 75-78页

作者：姜勇陈文元赵小林丁桂甫倪志萍王志民上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

准LIGA加工工艺通常只能加工单层准三维体。本研究采用SU 8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三维五层一体化复杂结构。实践证明,所提出的工艺实际可行,进一步拓展了准LIGA工艺的应用。

关键词：准LIGA SU-8胶套刻种子层表面活化

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微机械密码锁鉴码机构的UQS机理研究及其工艺实现

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新技术新工艺 2005年第5期 20-22页

作者：姜勇陈文元张卫平李胜勇上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室 200030

姜勇陈文元张卫平李胜勇微机械密码锁是一种用于重要场合的安全保险装置,其鉴码机构的设计基于UQS技术。从UQS的概念出发,研究了UQS的特性,得到了一个可行的编码算法。根据生成的编码,使用MEMS加工技术,“一体化”加工完成了基于UQS技... 详细信息

姜勇陈文元张卫平李胜勇微机械密码锁是一种用于重要场合的安全保险装置,其鉴码机构的设计基于UQS技术。从UQS的概念出发,研究了UQS的特性,得到了一个可行的编码算法。根据生成的编码,使用MEMS加工技术,“一体化”加工完成了基于UQS技术的齿轮鉴码机构。此齿轮鉴码机构对微机械密码锁的推广应用具有重要的意义。

关键词： UQS 微机械密码锁鉴码机构 MEMS

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不同晶化处理方式对PZT薄膜性能的影响

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纳米科技 2005年第6期2卷 35-38页

作者：李敏惠春汪静上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对... 详细信息

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对于常规晶化处理方式，快速晶化处理方式制备的PZT薄膜晶粒均匀，排布有序，可有效的提高薄膜的表面质量。电学性能测试结果表明，这种表面形貌可以有效地降低漏电流。

关键词： PZT薄膜 XRD AFM 漏电流溶胶-凝胶

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钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

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2005年上海市颗粒学会年会

作者：徐宏黄伟程存康古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯... 详细信息

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯缩聚的催化作用,结果发现相比传统的锑系催化剂,乙二醇钛催化活性高且无环境污染.最后,以乙二醇钛作为原位生成纳米TiO2的前驱体并将其与聚酯进行原位功能复合,成功制备了真正纳米尺度分散与复合的纳米TiO2/PET复合材料,复合材料的力学性能与抗紫外线性能卓越.

关键词：纳米材料乙二醇钛化学合成

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MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

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2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

作者：汪红丁桂甫苏宇锋上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用掩膜-电铸（镀）技术制作 MEMS 微器件是一种行之有效的方法。本文研究了采用电镀方法制备 CoNiMnP 永磁薄膜的工艺、性能以及在微继电器原位制造、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜的组成、磁性能、晶体结构、脆性以及... 详细信息

采用掩膜-电铸（镀）技术制作 MEMS 微器件是一种行之有效的方法。本文研究了采用电镀方法制备 CoNiMnP 永磁薄膜的工艺、性能以及在微继电器原位制造、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜的组成、磁性能、晶体结构、脆性以及应力等性能的研究对比表明:从稀氯化物体系（200mT）中获得的 CoNiMnP永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=26230e,Br=0.2 T,（BH）max=10.15kJ/m,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的 Co（110）面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜一电镀技术已成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。

关键词： MEMS 微器件 CONiMnP 永磁体薄膜掩膜微电铸(镀) 磁性能

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钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

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上海市颗粒学会2005年年会

作者：徐宏黄伟程存康古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室溥膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室溥膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室溥膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室溥膜与微细技术教育部重点实验室

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征。其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究。再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂, 研究了其对聚... 详细信息

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征。其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究。再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂, 研究了其对聚酯缩聚的催化作用,结果发现相比传统的锑系催化剂,乙二醇钛催化活性高且无环境污染。最后,以乙二醇钛作为原位生成纳米 TiO的前驱体并将其与聚酯进行原位功能复合,成功制备了真正纳米尺度分散与复合的纳米 TiO/PET 复合材料,复合材料的力学性能与抗紫外线性能卓越。

关键词：乙二醇钛制备水解催化原位复合

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基于声悬浮的非接触超声波电机

基于声悬浮的非接触超声波电机

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全国第三届超声波电机理论和应用技术研讨会

作者：杨斌刘景全陈迪蔡炳初微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院(上海)

研制了一种圆盘型非接触超声波电机,通过调节垫片的厚度来控制转子的悬浮高度.对该马达建立了声辐射压力模型,计算和分析了转子的平衡位置,和实验值进行对比,结果吻合较好.通过分析调相调速原理来进行相关实验研究,从结果得知,转速和相... 详细信息

研制了一种圆盘型非接触超声波电机,通过调节垫片的厚度来控制转子的悬浮高度.对该马达建立了声辐射压力模型,计算和分析了转子的平衡位置,和实验值进行对比,结果吻合较好.通过分析调相调速原理来进行相关实验研究,从结果得知,转速和相位呈正弦规律变化,改变相位差能够改变转子的转动方向,正反转时输出性能一致.

关键词：超声波电机非接触声悬浮声辐射压力

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射频磁控溅射法制备BST薄膜

射频磁控溅射法制备BST薄膜

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2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会

作者：唐逸杨春生张丛春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

本文应用平板式射频磁控溅射设备制备出了良好介电性能的BST纳米薄膜,系统地研究了溅射过程中不同氧分压对沉积薄膜的化学成份、结晶性的影响。

关键词：纳米薄膜钛酸锶钡磁控溅射

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