检索结果-内蒙古大学图书馆

上海交通大学学报 2008年第5期42卷 693-696,700页

作者：李清贺蓉高峰潘碧峰崔大祥上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

合成了巯基乙酸（TGA）修饰的量子点,X衍射分析证实CdTe相的存在,高分辨电子显微镜分析表明量子点的直径为3 nm,Zeta电位表征表明量子点表面带有负电荷.把TGA修饰的CdTe量子点加入到聚合酶链反应（PCR）反应液中,使用brcaa1基因载体作为... 详细信息

合成了巯基乙酸（TGA）修饰的量子点,X衍射分析证实CdTe相的存在,高分辨电子显微镜分析表明量子点的直径为3 nm,Zeta电位表征表明量子点表面带有负电荷.把TGA修饰的CdTe量子点加入到聚合酶链反应（PCR）反应液中,使用brcaa1基因载体作为PCR反应的模板,进行两轮PCR反应.最终的PCR产物通过w=1%的琼脂糖凝胶电泳进行分析,结果表明,在0-1.33 g/L范围内,随着量子点的量逐渐增加,非特异性的扩增条带逐渐消失,荧光（PL）光谱表明PCR反应后的量子点荧光强度降低.X射线光电子能谱（XPS）证实PCR反应前后Cd元素和Te元素的能谱峰并没有出现化学位移,吸收光谱（UV-vis）表明了PCR反应之后的吸收强度增强.因此,TGA修饰的CdTe量子点置于PCR反应液之中,能提高PCR的特异性,可以应用于超灵敏DNA检测、光电生物传感器.

关键词： CdTe量子点聚合酶链反应特异性

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LaNiO_3缓冲层对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜微结构和介电性能的影响

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上海交通大学学报 2009年第3期43卷 393-396页

作者：石金川张丛春侯捷杨春生饶瑞上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

利用射频磁控溅射法,在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.采用X-ray衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）,研究了两种衬底上BST薄膜样品的结晶性和表面形貌.结果表明：BST薄膜材料均为钙钛矿相,直接生... 详细信息

利用射频磁控溅射法,在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.采用X-ray衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）,研究了两种衬底上BST薄膜样品的结晶性和表面形貌.结果表明：BST薄膜材料均为钙钛矿相,直接生长在硅衬底上的BST薄膜无择优取向,晶粒尺寸为20-30 nm,而LaNiO3缓冲层上生长的BST薄膜则为（100）择优取向,晶粒尺寸约为150-200 nm.室温下测试了薄膜的介电性能.研究结果表明,LNO缓冲层显著提高了BST薄膜的介电常数和介电可调率.

关键词：钛酸锶钡薄膜镍酸镧缓冲层射频磁控溅射介电性能

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1×16微机电系统光纤连接器阵列的研制

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传感器与微系统 2007年第7期26卷 87-88,92页

作者：蔡玉丽丁桂甫戴旭涵张丹上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

一种基于MEMS工艺的硅基阵列化光纤连接器,具有微型化、可集成制造和重复性好等特点。每个单元利用硅V型槽与其上集成制造的电沉积流线型曲面金属镍盖板的组合形成了方便光纤插拔的喇叭口形导引通道和可实现光纤定位及精确自对准的双悬... 详细信息

一种基于MEMS工艺的硅基阵列化光纤连接器,具有微型化、可集成制造和重复性好等特点。每个单元利用硅V型槽与其上集成制造的电沉积流线型曲面金属镍盖板的组合形成了方便光纤插拔的喇叭口形导引通道和可实现光纤定位及精确自对准的双悬臂梁形夹持通道。采用Ansys软件对双悬臂梁结构在不同的厚度与翘曲位移条件下对光纤产生的压制力进行建模与仿真,并将其与理论分析结果进行比较。成功地将单元扩展成1×16阵列,体积仅为6.8mm×15.2mm×0.5mm,各单元插入损耗约为0.3 dB。

关键词：光学器件光纤连接器阵列微机电系统集成制造

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DNA溶液的导电行为

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生物工程学报 2006年第2期22卷 334-337页

作者：梁杰王英张亚非上海交通大学DNA计算机交叉团队微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

将链长不同的两种DNA溶解在超纯水中,分别测定它们在不同浓度不同温度下的电导行为。试验证明,同种DNA的电导率随着溶液中DNA的浓度增大而显著增大。而对于两种不同的DNA,短链DNA(1000bp)好。在本文测试的浓度范围内,短链DNA水溶液常温... 详细信息

将链长不同的两种DNA溶解在超纯水中,分别测定它们在不同浓度不同温度下的电导行为。试验证明,同种DNA的电导率随着溶液中DNA的浓度增大而显著增大。而对于两种不同的DNA,短链DNA(<50bp)的电导能力较长链DNA(>1000bp)好。在本文测试的浓度范围内,短链DNA水溶液常温下电导率达到0.99×10-4S/cm。而且,电导率随DNA浓度的变化规律与指数方程(δ/δ0=aCm)符合得很好。当温度升高时长链和短链DNA溶液的电导率都有明显增大,并且随温度的变化趋势基本一致。

关键词： DNA 电导率温度浓度

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NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究

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传感器与微系统 2014年第9期33卷 38-41页

作者：吴婷婷刘景全江水东徐斌郭杰杨斌上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明... 详细信息

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。

关键词：微型加热器 MEMS 镍铬合金深低温退火处理

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基于金刚石薄膜的微间隙室制备

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压电与声光 2006年第6期28卷 692-695页

作者：王芸龙沪强侯中宇徐东谢宽仲蔡炳初卞建江上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200030 上海大学材料科学与材料工程学院上海200072

采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术，其典型结构为阳极微条宽20μm，微条间隔180μm，器件探测区面积为38m... 详细信息

采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术，其典型结构为阳极微条宽20μm，微条间隔180μm，器件探测区面积为38mm×34mm。采用热丝CVD法制备的金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层，厚7～8μm，具有（100）晶面结构。金刚石的刻蚀采用反应离子刻蚀，Cr作掩膜，O2和SF6为刻蚀气体，刻蚀速率为79nm／min，与Cr的刻蚀比约为20：1。实验结果表明，采用的微加工结合自套准工艺可很好地解决金刚石薄膜的制备、图形化及金属阳极电极与金刚石薄膜的相互套准等金刚石薄膜的可加工性及兼容性问题，并制备出采用金刚石薄膜作为电极间绝缘介质层的新型MGC结构。

关键词：微间隙室金刚石薄膜反应离子刻蚀热丝CVD

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高分辨X射线成像器件——微间隙室(MGC)的研究

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核电子学与探测技术 2007年第1期27卷 57-61页

作者：龙沪强王芸徐东谢宽仲卞建江上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海大学材料科学与材料工程学院上海200072

详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或... 详细信息

详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或衍射实验,提供了一种潜在的辐射成像探测器。

关键词：辐射成像探测器同步光源微间歇室金刚石薄膜

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玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究

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微纳电子技术 2010年第11期47卷 674-679页

作者：钱群张丛春杨春生丁桂甫侯捷上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜。讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响。通过能谱(EDS)测试证明了溅射的CIGS薄膜Ga组分比符合高效吸收层... 详细信息

采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜。讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响。通过能谱(EDS)测试证明了溅射的CIGS薄膜Ga组分比符合高效吸收层的要求,通过X射线衍射(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)测试,证明了衬底加热溅射、溅射后450℃空气退火可以有效提高CIGS薄膜与衬底的结合并提高晶化程度。通过四探针法电阻率测试证明了低气压条件下溅射、溅射后退火可以有效降低CIGS的电阻率,通过透射光谱分析证明了CIGS薄膜对可见光有高吸收效率,适合作为太阳电池的高效吸收层。

关键词：太阳电池射频磁控溅射铜铟镓硒(CIGS) 晶化电阻率

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悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展

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功能材料与器件学报 2008年第3期14卷 721-728页

作者：张卫平陈文元赵小林吴校生崔峰刘武黄晓刚肖奇军马高印张忠榕上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。

关键词：悬浮转子微陀螺技术关键方案最新进展

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基于PDMS纳米粒子改性的热模压技术

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功能材料与器件学报 2009年第5期15卷 441-446页

作者：汪鹏陈翔肖丽君朱军陈迪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了一种采用纳米SiO2、TiO2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO2、TiO2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用... 详细信息

介绍了一种采用纳米SiO2、TiO2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO2、TiO2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用改性的PDMS材料,快速成型来制造热压模具,热压制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片。与常用的金属模具(如镍模具)相比,此方法具有脱模容易,工艺周期短,难度低,重复性好,价格低等优点。

关键词： PDMS改性纳米粒子热模压微流控

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