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  • 153 篇 期刊文献
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  • 223 篇 电子文献
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    • 1 篇 教育学
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机构

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  • 3 篇 特种环境复合材料...
  • 3 篇 微系统与微结构制...
  • 3 篇 沈阳工业大学
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  • 3 篇 哈尔滨工程大学
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  • 2 篇 哈尔滨理工大学
  • 2 篇 清华大学
  • 2 篇 微结构与微系统制...
  • 2 篇 材料物理与化学系
  • 2 篇 西安航天动力试验...
  • 2 篇 深圳大学
  • 2 篇 材料科学与工程学...
  • 2 篇 内蒙古大学

作者

  • 39 篇 刘晓为
  • 29 篇 王振龙
  • 26 篇 单德彬
  • 26 篇 郭斌
  • 23 篇 徐杰
  • 23 篇 胡平安
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  • 15 篇 王玉魁
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  • 11 篇 张宇峰
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  • 10 篇 邱云峰
  • 10 篇 丁烨
  • 10 篇 韩杰才
  • 9 篇 吴志光
  • 9 篇 张甲

语言

  • 223 篇 中文
检索条件"机构=微系统与微结构制作教育部重点实验室"
223 条 记 录,以下是221-230 订阅
排序:
基于掺杂SiO2多壁碳纳米管湿敏传感器特性研究
基于掺杂SiO2多壁碳纳米管湿敏传感器特性研究
收藏 引用
中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
作者: 李拓 刘晓为 周新来 赵振刚 张中鑫 哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江省哈尔滨市,150001 哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江省哈尔滨市,150001 哈工大微系统与微结构加工教育部重点实验室,黑龙江省哈尔滨市,150001
碳纳米管(CNT)由于其多孔结构及介于金属和半导体间的独特电学特性,目前已成为被广泛关注的感湿材料。多壁碳纳米管(MWNTs)价格低廉,并且制作的湿敏传感器响应时间短,具有较好的灵敏度和重复性,工作温度低,具有很好的应用前景。本... 详细信息
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基于锁相技术的微机械陀螺闭环驱动电路
收藏 引用
纳米技术与精密工程 2008年 第6期6卷 458-463页
作者: 刘晓为 莫冰 谭晓昀 陈伟平 哈尔滨工业大学MEMS中心 哈尔滨150001 微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨150001
传统的闭环驱动电路其输出信号的频率与微机械陀螺驱动方向的固有频率存在一定偏差,且频率抖动较大,系统的建立时间较长.基于上述不足,在分析微机械陀螺闭环驱动方式工作原理的基础上,提出一种基于锁相技术的闭环驱动电路方案,电路进入... 详细信息
来源: 评论
基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性
基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
作者: 施长治 崔虹云 刘晓为 揣荣岩 李智 哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,150001 哈尔滨工业大学,微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨,150001 哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,150001 佳木斯大学,理学院,佳木斯,154007 沈阳工业大学,信息科学与工程学院,沈阳,110023 哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,150001
自从1974年多晶硅的压阻现象被发现以来,对其压阻特性的研究一直都是该材料物理特性探究的重要组成分。前期研究表明,厚度介于80nm~90nm的重掺硼多晶硅纳米薄膜具有较高的压阻灵敏度(应变系数≥34)以及良好的温度稳定性。凭借其优... 详细信息
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