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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

作者：刘晓为李海涛尹亮董长春施长治哈尔滨工业大学，微电子系，哈尔滨，黑龙江，150001 教育部，微系统与微结构制造重点实验室，哈尔滨，黑龙江，150001 哈尔滨工业大学，微电子系，哈尔滨，黑龙江，150001

低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点，越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统中。微加速度计的前端检测敏感电路设计成为此类加速度计的... 详细信息

低噪声、高精度的微加速度计凭借其低于μg的检测精度和小体积、低功耗的特点，越来越广泛地应用于惯性制导、太空微重力检测、侧翻控制和平台稳定性、地震检测以及GPS导航系统中。微加速度计的前端检测敏感电路设计成为此类加速度计的一大挑战。本文提出了一种用于电容式闭环微加速度计的低噪声、高线性度的全差分接口电路，包括全桥平衡模块、电荷积分模块、相关双采样模块、比例积分微分(PID)控制模块、平衡力反馈模块及和时序控制模块。

关键词：微加速度计接口电路电荷积分比例积分微分时序控制

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基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性

基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性

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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

作者：施长治崔虹云刘晓为揣荣岩李智哈尔滨工业大学，MEMS中心，哈尔滨，150001 哈尔滨工业大学，微系统与微结构制造教育部重点实验室，哈尔滨，150001 哈尔滨工业大学，MEMS中心，哈尔滨，150001 佳木斯大学，理学院，佳木斯，154007 沈阳工业大学，信息科学与工程学院，沈阳，110023 哈尔滨工业大学，MEMS中心，哈尔滨，150001

自从1974年多晶硅的压阻现象被发现以来，对其压阻特性的研究一直都是该材料物理特性探究的重要组成部分。前期研究表明，厚度介于80nm～90nm的重掺硼多晶硅纳米薄膜具有较高的压阻灵敏度(应变系数≥34)以及良好的温度稳定性。凭借其优... 详细信息

自从1974年多晶硅的压阻现象被发现以来，对其压阻特性的研究一直都是该材料物理特性探究的重要组成部分。前期研究表明，厚度介于80nm～90nm的重掺硼多晶硅纳米薄膜具有较高的压阻灵敏度(应变系数≥34)以及良好的温度稳定性。凭借其优良的压阻特性、较低的温度敏感性以及低廉的制造成本，多晶硅纳米薄膜材料在微/纳米压阻传感器领域具有良好的发展潜力。对于惠斯通电桥结构的压阻传感器，桥臂电阻的匹配性直接影响传感器的性能及成品率。由于工艺误差造成的电阻不匹配，可通过后期调阻技术来加以修正。传统的激光调阻技术，存在局部热应力、芯片封装引起阻值不稳定的问题;而齐纳击穿二极管调阻技术，则占用大量芯片面积，降低了器件集成度，增加了制造成本。Amemiya发现的高掺杂多晶硅的阻值电学修正现象，克服了传统调阻技术存在的问题。

关键词：纳米薄膜多晶硅压阻特性桥臂电阻压阻传感器

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基于掺杂SiO2多壁碳纳米管湿敏传感器特性研究

基于掺杂SiO2多壁碳纳米管湿敏传感器特性研究

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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会

作者：李拓刘晓为周新来赵振刚张中鑫哈尔滨工业大学MEMS中心，黑龙江省哈尔滨市，150001 哈尔滨工业大学MEMS中心，黑龙江省哈尔滨市，150001 哈工大微系统与微结构加工教育部重点实验室，黑龙江省哈尔滨市，150001

碳纳米管(CNT)由于其多孔结构及介于金属和半导体间的独特电学特性，目前已成为被广泛关注的感湿材料。多壁碳纳米管(MWNTs)价格低廉，并且制作的湿敏传感器响应时间短，具有较好的灵敏度和重复性，工作温度低，具有很好的应用前景。本... 详细信息

碳纳米管(CNT)由于其多孔结构及介于金属和半导体间的独特电学特性，目前已成为被广泛关注的感湿材料。多壁碳纳米管(MWNTs)价格低廉，并且制作的湿敏传感器响应时间短，具有较好的灵敏度和重复性，工作温度低，具有很好的应用前景。本文研究了掺杂Si02多壁碳纳米管湿敏传感器的特性，通过实验证明掺杂SiO2可以改善传感器的灵敏度和噪声特性，并且该传感器的电容和电导的温度特性具有良好的线性度，利于实现温度补偿。

关键词：碳纳米管湿敏传感器温度补偿噪声特性灵敏度

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基于锁相技术的微机械陀螺闭环驱动电路

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纳米技术与精密工程 2008年第6期6卷 458-463页

作者：刘晓为莫冰谭晓昀陈伟平哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150001 微系统与微结构制造教育部重点实验室哈尔滨150001

传统的闭环驱动电路其输出信号的频率与微机械陀螺驱动方向的固有频率存在一定偏差,且频率抖动较大,系统的建立时间较长.基于上述不足,在分析微机械陀螺闭环驱动方式工作原理的基础上,提出一种基于锁相技术的闭环驱动电路方案,电路进入... 详细信息

传统的闭环驱动电路其输出信号的频率与微机械陀螺驱动方向的固有频率存在一定偏差,且频率抖动较大,系统的建立时间较长.基于上述不足,在分析微机械陀螺闭环驱动方式工作原理的基础上,提出一种基于锁相技术的闭环驱动电路方案,电路进入稳定工作状态时,交流驱动电压与驱动方向敏感电流的相位及频率一致,微机械陀螺在驱动方向谐振,显著改善了输出信号的频率特性.仿真结果表明,这种闭环驱动电路输出信号频率与微机械陀螺驱动模态固有频率完全一致,频率抖动及系统建立时间分别是传统闭环驱动电路的38%和50%.通过实验验证了该方法的可行性.

关键词：锁相技术闭环驱动电路微机械陀螺频率特性

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