检索结果-内蒙古大学图书馆

光子学报 2009年第9期38卷 2200-2204页

作者：韦玮黄尚廉金珠王宁史玲娜重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

提出了一种用于显示基于微机电系统的电热驱动法布里-珀罗光调制器.利用多光束干涉理论分析了该调制器的原理及光学特性.分析表明:当腔长为(2k+1)λ/4时,反射光强取极大值;当腔长为2kλ/4时,反射光强取极小值;通过改变腔长可以实现显示... 详细信息

提出了一种用于显示基于微机电系统的电热驱动法布里-珀罗光调制器.利用多光束干涉理论分析了该调制器的原理及光学特性.分析表明:当腔长为(2k+1)λ/4时,反射光强取极大值;当腔长为2kλ/4时,反射光强取极小值;通过改变腔长可以实现显示.光源谱宽越窄,衬比度越高;干涉级次越低,衬比度越高;衬比度随反射率的增加而减小.借助Ansys软件仿真分析了调制器的驱动特性.加工了器件并搭建实验装置进行了动态响应特性测试实验.结果表明,该调制器具有驱动电压低至3.2 V,响应速度约为5 kHz的良好驱动特性.实验结果初步验证了该结构的可行性.

关键词：微机电系统光调制器法珀电热驱动显示

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利用退火方法降低自旋阀薄膜的矫顽力(英文)

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光学精密工程 2009年第6期17卷 1322-1326页

作者：李伟刘华瑞任天令刘理天重庆大学光电技术与系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044 清华大学微电子学研究所北京100084

降低自旋阀薄膜矫顽力对于制作巨磁电阻(GMR)传感器非常重要。报告了利用退火方法降低自旋阀薄膜矫顽力的实验结果,介绍了数值模拟退火的条件和方法,借助计算机对退火实验的条件及其实验结果进行了模拟。结果表明,模拟后的结果可以用来... 详细信息

降低自旋阀薄膜矫顽力对于制作巨磁电阻(GMR)传感器非常重要。报告了利用退火方法降低自旋阀薄膜矫顽力的实验结果,介绍了数值模拟退火的条件和方法,借助计算机对退火实验的条件及其实验结果进行了模拟。结果表明,模拟后的结果可以用来进一步优化退火条件,并不再需要做大量退火实验。使用优化后的退火条件大大降低了自旋阀薄膜的矫顽力同时可保持自旋阀的磁电阻变化率(MR)在较高的水平。介绍了不同退火参数下的模拟实验,结果显示退火前样品的的矫顽力为358.2 A/ m、MR为9.24%,退火后其分别降到3.18 A/ m和8.54%,表明数值模拟方法可以较好地拟合自旋阀薄膜的退火条件及实验结果,并有助于优化退火条件。

关键词：自旋阀薄膜退火数值模拟

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精密、超精密圆柱渐开线齿轮的加工方法

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光学精密工程 2009年第2期17卷 321-326页

作者：王立鼎凌四营马勇王晓东娄志峰大连理工大学精密特种加工及微系统教育部重点实验室高精度齿轮研究组辽宁大连116023 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室辽宁大连116023

研究了精密、超精密圆柱渐开线齿轮的加工方法。分析比较了锥形砂轮磨齿、蝶形砂轮磨齿、大平面砂轮磨齿、蜗杆砂轮磨齿和成形砂轮磨齿的工作原理及当前国内外精密、超精密圆柱渐开线齿轮的加工现状。探讨了ISO1328:1997标准中2级以上... 详细信息

研究了精密、超精密圆柱渐开线齿轮的加工方法。分析比较了锥形砂轮磨齿、蝶形砂轮磨齿、大平面砂轮磨齿、蜗杆砂轮磨齿和成形砂轮磨齿的工作原理及当前国内外精密、超精密圆柱渐开线齿轮的加工现状。探讨了ISO1328:1997标准中2级以上精度超精密齿轮的加工。最后,指出大平面砂轮磨齿机Y7125有着结构简单、传动链刚度高、磨齿精度高等优点,具有较大的改装空间。通过一系列的研究工作,有可能将其改装精化成磨削超精密圆柱渐开线齿轮的加工母机,实现2级到1级精度超精密齿轮的加工。1级精度超精密齿轮的研制成功,可提高齿轮的传递基准,从而可提高齿轮制造的技术水平。

关键词：圆柱渐开线齿轮超精密齿轮磨齿原理精密加工

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高度分散的MnxOy/SBA-15的制备及其催化性能

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催化学报 2009年第3期30卷 230-234页

作者：陈勇李永生李亮顾金楼赵文茹李蕾施剑林华东理工大学材料科学与工程学院超细材料教育部重点实验室上海200237 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室 200052

采用溶液浸渍法将乙酰丙酮锰或硝酸锰的糠醇溶液分别灌注到SBA-15的孔道内,一定条件下将糠醇碳化后再将碳烧除,即可得到高度分散的MnxOy/SBA-15复合催化剂.用X射线衍射、透射电镜和N2吸附-脱附等手段对样品进行了表征.结果表明,SBA-15负... 详细信息

采用溶液浸渍法将乙酰丙酮锰或硝酸锰的糠醇溶液分别灌注到SBA-15的孔道内,一定条件下将糠醇碳化后再将碳烧除,即可得到高度分散的MnxOy/SBA-15复合催化剂.用X射线衍射、透射电镜和N2吸附-脱附等手段对样品进行了表征.结果表明,SBA-15负载MnxOy后,不仅依然保持高度有序的孔道结构、较大比表面积和孔容,而且MnxOy在SBA-15孔道内部高度分散.乙苯的催化氧化反应结果表明,该催化剂尤其是用乙酰丙酮锰做锰源时具有很高的催化活性和选择性.

关键词：氧化锰 SBA-15 高分散性乙苯氧化

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微型近红外光谱仪分析系统的研制

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光谱学与光谱分析 2009年第8期29卷 2286-2290页

作者：向贤毅温志渝龙再川洪明坚梁玉前徐溢重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030 重庆大学微系统研究中心重庆400030 中国科学院光电技术研究所四川成都610209

近红外光谱技术是光谱测试技术、化学计量学技术与计算机技术的有机结合,文章立足于食品有效成分无损定量检测的目标,介绍了微型近红外光谱分析系统的研制过程。作为系统测试的基础,文章重点研究了适用于在线实时分析的微型化近红外光谱... 详细信息

近红外光谱技术是光谱测试技术、化学计量学技术与计算机技术的有机结合,文章立足于食品有效成分无损定量检测的目标,介绍了微型近红外光谱分析系统的研制过程。作为系统测试的基础,文章重点研究了适用于在线实时分析的微型化近红外光谱仪,研制出的微型近红外光谱仪样机工作波长:850～1690nm,分辨率小于10nm。通过对样机主要参数的测试表明,性能接近国外同类产品水平。另外,化学计量学与计算机技术的结合是系统的核心,提出了基于最小二乘的局部加权回归(LS-LWR)的建模方法。最后,应用研制出的系统对葡萄糖水溶液定量测试实验表明,其预测集的相关系数达到了0.995,预测标准偏差为0.06。

关键词：微型光谱仪近红外光谱定量分析葡萄糖

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全组合测量法在多齿盘基准面测量中的应用

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中国机械工程 2009年第18期20卷 2149-2151,2159页

作者：凌四营王立鼎马勇王晓东刘兵大连理工大学精密特种加工及微系统教育部重点实验室大连116023 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室大连116023

为了提高测量精度,将精密测角中的"全组合测量法"应用到多齿盘的基准面测量中,搭建了测量平台并给出了测量步骤与数据处理方法。通过反复测量与研磨,将活动多齿盘外端面相对于啮合平面的平行度最大偏差由原来的4μm减小到0.29... 详细信息

为了提高测量精度,将精密测角中的"全组合测量法"应用到多齿盘的基准面测量中,搭建了测量平台并给出了测量步骤与数据处理方法。通过反复测量与研磨,将活动多齿盘外端面相对于啮合平面的平行度最大偏差由原来的4μm减小到0.29μm左右,大大提高了多齿盘的安装基准面的精度,减小了多齿盘分度精度的损失,为加工1级(ISO1328-1∶1995)齿距精度的超精密齿轮做好铺垫。该测量方法可以推广到任何精密回转零件的端跳测量中,以达到精密测量与误差分离的效果。

关键词：全组合测量法排列互比法多齿分度盘误差分离

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基于同步辐射光刻的多层微纳结构制造(英文)

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纳米技术与精密工程 2009年第2期7卷 186-189页

作者：李以贵杉山进上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 日本立命馆大学微系统系

高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术,用于制作微驱动器等有移动部件的设备.设计的多... 详细信息

高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术,用于制作微驱动器等有移动部件的设备.设计的多层结构包括140个单元的叉指平行电容器,每个电容器的间隔是2,μm,最小尺寸是4,μm,厚度是200,μm,故深宽比达到50∶1.该制造方法具有高深宽比、高产出率及成本低等优点.

关键词：多层微纳制造同步辐射光刻对准工具

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基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作

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纳米技术与精密工程 2009年第1期7卷 81-84页

作者：李以贵杉山进上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 立命馆大学微系统系

提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微针阵列的微细加工工艺，即移动X光光刻在光刻胶上得到与LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图，再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微针阵列结构．为了解决空心微针阵列的... 详细信息

提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微针阵列的微细加工工艺，即移动X光光刻在光刻胶上得到与LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图，再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微针阵列结构．为了解决空心微针阵列的加工问题，通过对准曝光实现空心孔的微细加工．用此纳米加工技术获得了高度为350～700μm、针锋尖锐度为1μm的PMMA的微针阵列．该阵列面积约为1cm^2，微针数约为900根，实验结果表明，利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的实心微针、空心微针和带流体沟道的分又微针等各种微针．该微针阵列可与微泵、微通道等集成为一体，实现无痛化注射或无痛化采血。

关键词：无痛化注射微针阵列移动LIGA

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非化学计量配比La0.67Sr0.33-x□xMnO3的结构和输运性质的研究

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物理学报 2009年第1期58卷 378-383页

作者：徐跟建谭伟石曹辉邓开明吴小山南京理工大学软化学与功能材料教育部重点实验室南京理工大学理学院应用物理系南京210094 南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系南京210093

利用固相反应法制备了非化学计量配比的类钙钛矿锰氧化物La_(0.67)Sr_(0.33-x)□_xMnO_3(0<x≤0.33),研究了A位空位对材料的晶体结构和输运性质的影响.对粉末X射线衍射谱的Rietveld全谱拟合表明样品均为单相,在x=0到x=0.33空位浓度... 详细信息

利用固相反应法制备了非化学计量配比的类钙钛矿锰氧化物La_(0.67)Sr_(0.33-x)□_xMnO_3(0结构和输运性质的影响.对粉末X射线衍射谱的Rietveld全谱拟合表明样品均为单相,在x=0到x=0.33空位浓度范围内晶体对称性没有发生变化,均具有三方对称性,空间群为R3c.晶体结构参数随空位浓度x发生了明显变化,可能是由空位在A位和Mn位不确定的占有比例所致.Mn—O—Mn键角随x增加而发生变化,表明MnO6八面体在原有静态畸变的基础上发生了进一步的畸变.对样品电输运特性的分析表明:在x<0.25的范围内,样品随着温度的升高发生金属—绝缘体转变,外加磁场降低了样品的电阻率,同时使居里温度向高温区移动;而当0.25≤x≤0.33时,在室温到95K的温度范围内均未发现样品的金属—绝缘体转变,但是外加磁场仍然降低了样品的电阻率.

关键词：非化学计量配比锰氧化物 Rietveld全谱拟合结构分析输运性质

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放电等离子烧结制备铁基大块非晶材料

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粉末冶金技术 2009年第3期27卷 193-196页

作者：范亮刘丹敏张久兴北京工业大学固体微结构与性能研究所北京100124 北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室北京100124

以惰性气体雾化的非晶铁基粉末为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备大块非晶材料。探索了SPS烧结温度对烧结体的物相、相对密度、微观结构和性能的影响。试验表明,采用优化的SPS烧结工艺,用粉末冶金的方法,可以获得致密的大块非晶材... 详细信息

以惰性气体雾化的非晶铁基粉末为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备大块非晶材料。探索了SPS烧结温度对烧结体的物相、相对密度、微观结构和性能的影响。试验表明,采用优化的SPS烧结工艺,用粉末冶金的方法,可以获得致密的大块非晶材料,部分性能与铸态相当。

关键词：大块非晶制备结构性能

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