检索结果-内蒙古大学图书馆

物理学报 2014年第17期63卷 368-375页

作者：王源张立忠曹健陆光易贾嵩张兴北京大学微纳电子学研究院北京100871 微纳电子与集成系统协同创新中心北京100871

随着器件尺寸的不断减小,集成度的逐步提高,功耗成为了制约集成电路产业界发展的主要问题之一.由于通过引入带带隧穿机理可以实现更小的亚阈值斜率,隧道场效应晶体管(TFET)器件已成为下一代集成电路的最具竞争力的备选器件之一.但是TFE... 详细信息

随着器件尺寸的不断减小,集成度的逐步提高,功耗成为了制约集成电路产业界发展的主要问题之一.由于通过引入带带隧穿机理可以实现更小的亚阈值斜率,隧道场效应晶体管(TFET)器件已成为下一代集成电路的最具竞争力的备选器件之一.但是TFET器件更薄的栅氧化层、更短的沟道长度容易使器件局部产生高的电流密度、电场密度和热量,使得其更容易遭受静电放电(ESD)冲击损伤.此外,TFET器件基于带带隧穿机理的全新工作原理也使得其ESD保护设计面临更多挑战.本文采用传输线脉冲的ESD测试方法深入分析了基本TFET器件在ESD冲击下器件开启、维持、泄放和击穿等过程的电流特性和工作机理.在此基础之上,给出了一种改进型TFET抗ESD冲击器件,通过在源端增加N型高掺杂区,有效的调节接触势垒形状,降低隧穿结的宽度,从而获得更好的ESD设计窗口.

关键词：隧道场效应晶体管(TFET) 静电放电(ESD) 传输线脉冲(TLP) 带带隧穿机理

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双分子钝化埋底界面制备高效钙钛矿太阳能电池

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发光学报 2025年第4期46卷 721-729页

作者：文超陈茜羽卢颖婕刘佳澎姚广平王丽丹苏子生福州大学先进制造学院福建泉州362251 泉州师范学院光子技术研究院福建省先进微纳光子技术与器件重点实验室福建省超精密光学工程技术与应用协同创新中心福建泉州362000 泉州师范学院化工与材料学院福建泉州362000 泉州师范学院物理与信息工程学院福建泉州362000 福建师范大学光电与信息工程学院福建福州350117

钙钛矿太阳能电池(PSCs)的电子收集特性是影响器件性能的关键因素之一。化学浴沉积法制备的二氧化锡(SnO_(2))是PSCs常见的电子传输层材料,但是,其表面常存在大量氧空位缺陷,在SnO_(2)/钙钛矿埋底界面处造成非辐射复合损失。本文利用四... 详细信息

钙钛矿太阳能电池(PSCs)的电子收集特性是影响器件性能的关键因素之一。化学浴沉积法制备的二氧化锡(SnO_(2))是PSCs常见的电子传输层材料,但是,其表面常存在大量氧空位缺陷,在SnO_(2)/钙钛矿埋底界面处造成非辐射复合损失。本文利用四氯化锡(SnCl_(4))和铬酸铵((NH_(4))_(2)CrO_(4))双分子钝化PSCs埋底界面,成功制备了光电转换效率达到23.71%的器件。SnCl_(4)水解后在SnO_(2)薄膜上生成小尺寸的SnO_(2)颗粒,形成平整的表面结构;(NH_(4))_(2)CrO_(4)作为氧化剂,产生p型半导体Cr_(2)O_(3)超薄层,与SnO_(2)构成p-n结,补偿SnO_(2)表面多余的氧空位,减少埋底界面处的非辐射复合,提高电荷的提取效率。同时,在双分子钝化的SnO_(2)上制备的钙钛矿薄膜晶粒尺寸增大,缺陷密度降低。

关键词：钙钛矿太阳能电池二氧化锡缺陷双分子钝化

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基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)

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电子学报 2015年第10期43卷 2095-2109页

作者：张紫辰董恺琛张益源王建中赵嘉昊尤政精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心清华大学精密仪器系

基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本... 详细信息

基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点,并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案.

关键词： MEMS(micro electro mechanical systems) 智能灰尘无线通信复合能源

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纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术

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电子学报 2015年第11期43卷 2322-2330页

作者：张紫辰尤政清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心

本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取... 详细信息

本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取向层处理、胶水涂覆、组装封装及灌注液晶工艺.同时在密封胶水涂覆、灌注液晶及如何控制器件厚度的原则问题上做出了重点阐述,最后定义了优质封装质量的纯相位硅基液晶器件应该具备的基本要素.

关键词：硅基液晶器件封装工艺光学检测液晶灌注取向层处理

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电容式射频微机电系统开关损耗机制(英文)

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强激光与粒子束 2015年第2期27卷 170-175页

作者：李沐华赵嘉昊尤政清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造、器件与系统协同创新中心北京100084

插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥... 详细信息

插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥损耗。对电容式RF MEMS开关建立了损耗模型并进行了数值计算,同时在HFSS有限元软件中进行了电磁仿真,数值计算结果和有限元仿真结果较好的吻合。此外,对影响电容式RF MEMS开关插入损耗的因素进行了分析,结果表明,高阻抗的衬底、200μm左右的导体宽度、较小的导体厚度以及较小的up态电容能够降低开关的插入损耗,提高开关的射频性能。

关键词：损耗机制射频微机电系统电容式开关共面波导

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无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用

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航空学报 2014年第8期35卷 2081-2090页

作者：尤政王伟忠陈硕阮勇清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造、器件与系统协同创新中心北京100084

燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系... 详细信息

燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势,特别是在恶劣工作条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中,应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论,并对无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。

关键词：燃气轮机无线MEMS传感系统实时监测恶劣环境高温高压

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石墨烯基气体传感器

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科学通报 2017年第27期62卷 3121-3133页

作者：万树邵梓桥张弘韬杨远敏邵志勇万能孙立涛东南大学MEMS教育部重点实验室SEU-FEI纳皮米中心微纳制造器件与系统协同创新中心南京210096 东南大学江南石墨烯研究院先进碳材料联合研发中心常州213100 东南大学莫纳什联合研究院先进材料与制造中心苏州215123

石墨烯作为一种由单层碳原子以sp2杂化方式形成的蜂窝状二维晶体材料,拥有许多优异的力学和电学性能,在传感领域具有很大的应用潜力.在室温下超高的电子迁移率以及超大的比表面积这两个突出的特点,使石墨烯有希望成为一种具有超高灵敏... 详细信息

石墨烯作为一种由单层碳原子以sp2杂化方式形成的蜂窝状二维晶体材料,拥有许多优异的力学和电学性能,在传感领域具有很大的应用潜力.在室温下超高的电子迁移率以及超大的比表面积这两个突出的特点,使石墨烯有希望成为一种具有超高灵敏度的气体传感器材料.作为一种典型的二维材料,石墨烯结构中的每个原子都可以被认为是表面原子,因此理想情况下每个原子都可以和气体发生相互作用,这使得基于石墨烯材料的气体传感器具有超高的传感响应以及超低检测限(甚至可以检测到1个分子).为了进一步提升传感性能,目前的研究主要从两个方面对石墨烯基气体传感器进行优化:(1)设计不同工作原理的气体传感器,满足不同的应用领域;(2)设计不同敏感材料的气体传感器,对石墨烯表面进行改性或与其他材料(金属、金属氧化物和有机聚合物)进行复合,使结构具有一定的特异性,提升气体传感器的气体选择性.本文将从上述两个方面综述气体传感器的主要研究成果和最新研究进展,并对未来一段时间内气体传感器的可能研究方向和重点研究内容等进行展望.

关键词：石墨烯气体传感器工作原理表面改性复合材料

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壁面材质和温度场对熔融硅润湿角的影响

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物理学报 2015年第11期64卷 344-350页

作者：许多丁建宁袁宁一张忠强程广贵郭立强凌智勇江苏大学微纳米科学技术研究中心镇江212013 常州大学低维材料微纳器件与系统研究中心常州213164 江苏省光伏科学与工程协同创新中心(常州大学) 常州2131644 江苏省光伏工程科学国家重点实验室培育建设点常州213164

本文建立了毛细模型,采用微流动两相流水平集法计算了熔融态硅液与壁面的润湿角,以人造金刚石作为壁面材料的计算结果与实验结果进行比较,验证了该模型和计算方法的正确性.在此基础上,分别选用碳化硅、石墨和人造金刚石作为壁面材料,探... 详细信息

本文建立了毛细模型,采用微流动两相流水平集法计算了熔融态硅液与壁面的润湿角,以人造金刚石作为壁面材料的计算结果与实验结果进行比较,验证了该模型和计算方法的正确性.在此基础上,分别选用碳化硅、石墨和人造金刚石作为壁面材料,探讨了不同壁面材料表面张力和壁面黏附力对润湿角的影响规律.结果发现,相同温度下的毛细力作用使得熔融硅液出现起伏上升现象;润湿角均有不同程度的减小然后增大,最终趋于稳定;初始阶段,由于气/熔融硅液表面张力与气/壁面表面张力之差变化较大,液面起伏波动较大;随后趋于稳定上升.同时发现石墨作为壁面材料时,以上变化更易趋于稳定.该研究为熔体中生长晶体硅获得更稳定的生长环境提供了理论依据.

关键词：润湿角熔融硅稳定性毛细效应

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石墨表面熔融硅的润湿行为研究

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物理学报 2017年第3期66卷 294-301页

作者：程广贵张忠强丁建宁袁宁一许多江苏大学微纳米科学技术研究中心镇江212013 江苏省光伏科学与工程协同创新中心(常州大学) 常州213164 常州大学低维材料微纳器件与系统研究中心常州213164 常州大学江苏省光伏工程科学国家重点实验室培育建设点常州213164

熔融硅在石墨表面的润湿规律对于超薄硅片的横向拉模制造尤为重要.本文利用COMSOL软件模拟了理想条件下熔融硅在光滑石墨表面的润湿过程,并借助高温高真空接触角测量仪对高温条件下石墨表面熔融硅的润湿性能开展了实验研究.考察了石墨... 详细信息

熔融硅在石墨表面的润湿规律对于超薄硅片的横向拉模制造尤为重要.本文利用COMSOL软件模拟了理想条件下熔融硅在光滑石墨表面的润湿过程,并借助高温高真空接触角测量仪对高温条件下石墨表面熔融硅的润湿性能开展了实验研究.考察了石墨表面粗糙度(R_a=0.721μm与R_a=0.134μm)、环境温度(1737—1744 K)、恒温持续时间(10—30 s)等因素对润湿角的影响.结合固-液、气-液界面的压力、速度分布图,分析了恒定温度、毛细效应下表面张力变化对润湿过程的影响机制.研究结果表明,相同温度下,石墨表面硅液滴的润湿角随石墨表面粗糙度增大而减小.对同一粗糙度表面,润湿角在相同温度下随保温时间的增加略微减小,且变化的幅度随温度升高而减小.当液滴半径远小于5 mm时,表面张力在润湿过程中起主导作用;当液滴半径大于5 mm时,液滴自身重力的影响不可忽略.

关键词：熔融硅润湿角毛细效应表面粗糙度

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石墨烯／聚苯胺／凹凸棒土聚氯乙烯复合材料掺杂改性

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化工新型材料 2014年第1期42卷 143-145页

作者：高琪袁宁一马飞飞丁建宁低维材料微纳器件与系统研究中心常州大学常州213164 江苏太阳能电池材料和技术重点实验室常州213164 江苏省光伏科学与工程协同创新中心常州213164

以原位聚合法制备石墨烯/聚苯胺/凹凸棒土改性剂,并用溶液混合法制备聚氯乙烯复合材料。用XRD、红外对复合材料进行了表征,通过扫描电镜(SEM)观察了掺杂剂在聚氯乙烯基体中的分散情况,并使用废油和甲基橙研究了复合材料的吸附及降解性能。

关键词：石墨烯聚苯胺凹凸棒土复合材料

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