检索结果-内蒙古大学图书馆

机械科学与技术 2025年第3期44卷 477-483页

作者：倪自丰季明捷陈国美张海涛李俊杰卞达钱善华江南大学机械工程学院江苏无锡214122 江苏省微纳增减材制造工程研究中心江苏无锡214122 无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153 无锡吴越半导体有限公司江苏无锡214115

为探究化学机械抛光过程中工艺参数对铝酸镁钪晶片抛光效果的影响,该文研究了抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量3个工艺参数在化学机械抛光过程中对晶片表面材料去除的作用规律。结果表明:适当提高抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量有... 详细信息

为探究化学机械抛光过程中工艺参数对铝酸镁钪晶片抛光效果的影响,该文研究了抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量3个工艺参数在化学机械抛光过程中对晶片表面材料去除的作用规律。结果表明:适当提高抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量有利于提高晶片的材料去除率和表面质量,其中抛光压力的影响最大,抛光盘转速次之,抛光液流量最小。此外,过高的抛光压力会导致晶片表面材料发生解理并出现片状剥离。因此,选择抛光压力0.2 kg/cm^(2)、抛光盘转速70 r/min、抛光液流量200 mL/min作为抛光工艺参数,铝酸镁钪晶片的材料去除率达到了5.73μm/h,且表面粗糙度值仅为1.49 nm,实现了高材料去除率的同时获得了高质量晶片表面。

关键词：铝酸镁钪解理材料化学机械抛光工艺参数

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基于微纳米压/划痕测试的K9玻璃微观力学性能研究

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润滑与密封 2025年

作者：霍帅涛陈国美倪自丰俞杰卢学玉卞达钱善华江南大学机械工程学院无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏省微纳增减材制造工程研究中心

K9玻璃凭借其优异的物理化学特性，被广泛的应用于光学仪器、航空航天、微电子等领域。但是，K9玻璃作为一种典型的硬脆材料，在加工时容易产生表面裂纹和损伤，影响其使用性能。为了研究K9玻璃的微观力学性能和损伤机理，使用Berkovic... 详细信息

K9玻璃凭借其优异的物理化学特性，被广泛的应用于光学仪器、航空航天、微电子等领域。但是，K9玻璃作为一种典型的硬脆材料，在加工时容易产生表面裂纹和损伤，影响其使用性能。为了研究K9玻璃的微观力学性能和损伤机理，使用Berkovich压头和球形压头进行了纳米压痕和微米划痕测试。通过纳米压痕实验，得到K9玻璃的硬度为7.40 GPa，弹性模量为80.59 GPa。基于压痕能量法得到的K9玻璃的断裂韧性值和基于线弹性断裂力学的球形压头划痕得到的断裂韧性值相吻合。划痕实验表明K9玻璃的损伤经历了弹塑性变形到脆性断裂的过程。结合压痕与划痕测试的结果，计算了K9玻璃表面产生裂纹时的临界载荷，其与材料的硬度值及断裂韧性值密切相关。

关键词： K9玻璃纳米压痕微米划痕断裂韧性临界载荷

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化学机械抛光中抛光垫的退化行为研究

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润滑与密封 2025年第2期50卷 148-157页

作者：陈宗昱陈国美倪自丰章平陈国华江南大学机械工程学院江苏无锡214122 无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153 江苏省微纳增减材制造工程研究中心江苏无锡214122 无锡格锐德半导体科技有限公司江苏无锡214121

为提高化学机械拋光(CMP)后晶片之间和晶片内部的均匀性,研究抛光垫表面的退化行为及其对CMP加工的影响。通过抛光试验研究CMP过程中材料去除率和晶片表面质量的变化趋势;利用白光干涉仪和扫描电子显微镜观察抛光垫表面微观结构的演变,... 详细信息

为提高化学机械拋光(CMP)后晶片之间和晶片内部的均匀性,研究抛光垫表面的退化行为及其对CMP加工的影响。通过抛光试验研究CMP过程中材料去除率和晶片表面质量的变化趋势;利用白光干涉仪和扫描电子显微镜观察抛光垫表面微观结构的演变,并用表面高度正态分布曲线、表面粗糙度和孔隙率等参数对抛光垫表面形貌进行表征;模拟晶片和抛光垫之间的摩擦学行为,分析抛光垫退化行为对晶片加工的影响机制,并对材料去除模型中抛光垫微凸峰变形进行分析。结果表明:在连续1 h的CMP过程中(无修整),材料去除率的变化趋势表现为先增大后减小,表面质量则为先减小再增大,抛光20 min后,晶片表面的MRR达到最大值(873.43±65.53)nm/min,表面粗糙度达到最小值(1.13±0.08)nm;衬垫表面微观组织的动态变化大致经历快速变化期、相对稳定期、性能逐步退化阶段;CMP过程中抛光垫微凸峰处在弹塑性变形区间,理论计算结果与实际情况具有高度一致性。

关键词：化学机械抛光抛光垫摩擦磨损性能退化材料去除率

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工业机器人技术专业人才培养的探索与实践--以无锡商业职业技术学院为例

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内燃机与配件 2021年第17期 253-255页

作者：徐伊岑无锡商业职业技术学院机电技术学院无锡214153

智能制造与智能装备产业的高速发展,对工业机器人技术专业人才培养提出了更高的要求。结合区域工业机器人应用现状和市场实际需求,无锡商业职业技术学院调整专业教学计划、构建教育教学新模式,完善多元考核评价体系,依托校企合作兴建机... 详细信息

智能制造与智能装备产业的高速发展,对工业机器人技术专业人才培养提出了更高的要求。结合区域工业机器人应用现状和市场实际需求,无锡商业职业技术学院调整专业教学计划、构建教育教学新模式,完善多元考核评价体系,依托校企合作兴建机器人产业学院,探索顺应供给侧改革的人才培养新路径,为高职院校机器人相关学科深化教学改革探路。

关键词：人才培养双创教育工业机器人技术产教融合

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高职院校学生素质教育视角下的商业文化建设——以无锡商业职业技术学院创业教育为例

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湖南大众传媒职业技术学院学报 2014年第2期14卷 84-86页

作者：单婷无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153

高职院校人才培养的根本目标是服务于地方经济建设和社会发展的高素质技能型人才。无锡商业职业技术学院从创业教育引导、创业实践锻炼、创业平台搭建等方面,全面构筑校园创业文化,把创业文化作为校园文化建设的特色来抓,在完成创业实... 详细信息

高职院校人才培养的根本目标是服务于地方经济建设和社会发展的高素质技能型人才。无锡商业职业技术学院从创业教育引导、创业实践锻炼、创业平台搭建等方面,全面构筑校园创业文化,把创业文化作为校园文化建设的特色来抓,在完成创业实践能力培养的同时,实现学生个性的充分发展和综合素质的全面提高。

关键词：商业文化创业教育创业文化

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不同氧化剂对6H-SiC化学机械抛光的影响

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机械工程学报 2018年第19期54卷 224-231页

作者：倪自丰陈国美徐来军白亚雯李庆忠赵永武江南大学机械工程学院无锡商业职业技术学院机电技术学院

选用胶体SiO2纳米颗粒为磨粒,研究不同pH值条件下高锰酸钾和双氧水两种氧化剂对6H-SiC晶片化学机械抛光的影响,并使用原子力显微镜观察抛光后表面质量。采用Zeta电位分析仪分析溶液中胶体SiO2颗粒的Zeta电位,采用X射线光电子能谱分析Si... 详细信息

选用胶体SiO2纳米颗粒为磨粒,研究不同pH值条件下高锰酸钾和双氧水两种氧化剂对6H-SiC晶片化学机械抛光的影响,并使用原子力显微镜观察抛光后表面质量。采用Zeta电位分析仪分析溶液中胶体SiO2颗粒的Zeta电位,采用X射线光电子能谱分析SiC抛光表面元素及其化学状态。结果表明:SiC晶片的材料去除率随pH值变化而变化,采用高猛酸钾抛光液抛光时,材料去除率在pH 6时达到峰值185 nm/h,Ra为0.25 nm;采用双氧水抛光液抛光时,材料去除率在pH 8时达到峰值110 nm/h,Ra为0.32 nm。pH值低于5时,电负性的SiO2颗粒会通过静电作用吸附在带正电的Si C表面,抑制Si C晶片表面原子的氧化及去除,降低材料去除率;pH值高于5时,SiO2颗粒在双氧水抛光液中的静电排斥力弱于高锰酸钾抛光液中静电排斥力,从而影响了SiO2颗粒的分散性能,降低了抛光效果。采用高锰酸钾抛光液抛光后,SiC晶片表面的Si-C氧化产物含量(Si-C-O、Si4C4-xO2和Si4C4O4)较高,高锰酸钾抛光液的氧化能力较强。

关键词：碳化硅化学机械抛光二氧化硅颗粒高锰酸钾双氧水

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阳离子表面活性剂对A向蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响

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人工晶体学报 2018年第3期47卷 470-475页

作者：白亚雯陈国美滕康倪自丰江南大学机械学院无锡214122 无锡商业职业技术学院机电技术学院无锡214153

为了探究阳离子表面活性剂对A向(1120)蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响,采用失重法计算蓝宝石的材料去除率(MRR)、原子力显微镜观察抛光后蓝宝石晶片表面粗糙度(Ra)。结果表明:纯二氧化硅磨粒抛光液中,蓝宝石晶片的MRR在p H8时最优(MR... 详细信息

为了探究阳离子表面活性剂对A向(1120)蓝宝石晶片化学机械抛光效率的影响,采用失重法计算蓝宝石的材料去除率(MRR)、原子力显微镜观察抛光后蓝宝石晶片表面粗糙度(Ra)。结果表明:纯二氧化硅磨粒抛光液中,蓝宝石晶片的MRR在p H8时最优(MRR=1984/h),此时Ra为0.867 nm;添加一定浓度的阳离子表面活性剂可以提高蓝宝石晶片的抛光效率,其MRR在p H=9时达到最大(MRR=2366 nm/h),此时Ra=0.810 nm。通过粒径和Zeta电位分析,阳离子表面活性剂改变了二氧化硅磨粒表面的Zeta电位值,进而改变了磨粒与磨粒及磨粒与蓝宝石晶片的作用力,且在碱性条件下可以获得较高的MRR。

关键词：蓝宝石晶片化学机械拋光阳离子表面活性剂材料去除率 pH值

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新时代高职大学生思想政治教育质量提升的创新

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教育与职业 2018年第8期 77-82页

作者：蔡锦山赵善庆无锡商业职业技术学院无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153

文章首先分析了新时代高职大学生思想政治教育质量标准。然后阐述了践行新时代高职大学生思想政治教育质量标准的新举措:谋划构建全面完整的高职大学生思想政治教育新格局,"四加强""四机制"把握好高职大学生思想政... 详细信息

文章首先分析了新时代高职大学生思想政治教育质量标准。然后阐述了践行新时代高职大学生思想政治教育质量标准的新举措:谋划构建全面完整的高职大学生思想政治教育新格局,"四加强""四机制"把握好高职大学生思想政治教育的时空维度,优化师德加强高职大学生思想政治教育工作的高效性,"七种方法"促进高职大学生思想政治教育实现"四个转变"。

关键词：新时代高职大学生思想政治教育质量提升

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公立高校财务精细化管理标准研究

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财经问题研究 2016年第S1期 110-112页

作者：赵善庆无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153

实施财务精细化管理是公立高校的"必修课"。要想实现公立高校财务精细化管理,一定要保证财务管理制度的科学化、预算管理的标准化,会计核算采用权责发生制原则,至少也要坚持采用修正后的责权发生制原则,财会队伍建设优质化、... 详细信息

实施财务精细化管理是公立高校的"必修课"。要想实现公立高校财务精细化管理,一定要保证财务管理制度的科学化、预算管理的标准化,会计核算采用权责发生制原则,至少也要坚持采用修正后的责权发生制原则,财会队伍建设优质化、经费管理责任化、管理手段信息化、财务管理绩效化。

关键词：公立高校财务管理标准研究

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高职院校现代学徒制利益实现机制探究

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教育与职业 2021年第8期 45-51页

作者：钮丽无锡商业职业技术学院机电技术学院江苏无锡214153

文章分析了高职院校现代学徒制各方理想利益诉求及其与他方利益的冲突,阐述了各方参与现代学徒制的利益实现程度。据此,提出了高职院校现代学徒制利益实现机制的构建:加强政府利益驱动和利益维护;完善行业协会参与制度;建立企业及师傅... 详细信息

文章分析了高职院校现代学徒制各方理想利益诉求及其与他方利益的冲突,阐述了各方参与现代学徒制的利益实现程度。据此,提出了高职院校现代学徒制利益实现机制的构建:加强政府利益驱动和利益维护;完善行业协会参与制度;建立企业及师傅利益保障机制;建立高职院校及学徒利益实现机制。

关键词：高职院校现代学徒制参与主体利益实现机制

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