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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 控制科学与工程

主题

  • 1 篇 外差调制
  • 1 篇 干涉误差
  • 1 篇 光杠杆法
  • 1 篇 旋转光栅
  • 1 篇 光电子学
  • 1 篇 傅里叶变换光谱仪
  • 1 篇 悬臂
  • 1 篇 原子力显微镜

机构

  • 1 篇 产业技术综合研究...
  • 1 篇 日本国家产业技术...
  • 1 篇 清华大学
  • 1 篇 产业技术综合研究...
  • 1 篇 合肥工业大学

作者

  • 1 篇 谢鸿
  • 1 篇 黄强先
  • 1 篇 权太聪
  • 1 篇 林德教
  • 1 篇 曾理江
  • 1 篇 万耿华
  • 1 篇 三隅伊知子
  • 1 篇 平井亚纪子
  • 1 篇 松本弘一
  • 1 篇 金泰皓
  • 1 篇 黑泽富藏
  • 1 篇 殷纯永

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"机构=日本国家产业技术综合研究所计量研究部门"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
收藏 引用
仪器仪表学报 2007年 第2期28卷 217-223页
作者: 黄强先 万耿华 谢鸿 权太聪 三隅伊知子 金泰皓 黑泽富藏 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 产业技术综合研究所日本国家计量院筑波305-8563.日本 合肥工业大学计算机与信息学院 产业技术综合研究所日本国家计量院
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于... 详细信息
来源: 评论
旋转光栅调制傅里叶变换频谱仪
收藏 引用
中国激光 2003年 第5期30卷 409-412页
作者: 林德教 平井亚纪子 松本弘一 曾理江 殷纯永 清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室 北京100084 日本国家产业技术综合研究所计量研究部门 茨城县筑波3058563
提出了一种基于圆盘旋转光栅调制的傅里叶变换光谱仪(FTS),光栅同时实现了分束和外差调制的功能。分析了三种实现分光的方案,通过对三个波长分别为670nm,633nm和532nm的激光进行了频谱测量实验,结果表明该光谱仪具有良好的稳定性和抗干... 详细信息
来源: 评论