检索结果-内蒙古大学图书馆

红外与毫米波学报 2014年第1期33卷 50-54,67页

作者：黄卓磊王玮冰蒋文静欧文明安杰刘战锋陈大鹏中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室北京100029 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135

使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20%提高到80%.器件的微机械结构面积为35μm×35μm.读出电路的失调电压为3μV.... 详细信息

使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20%提高到80%.器件的微机械结构面积为35μm×35μm.读出电路的失调电压为3μV.探测器的输出噪声为2μV.探测器的电压响应率为7 894.7 V/W,黑体探测率D*为1.56×109cmHz1/2/W,噪声等效温差为330 mK,响应时间为27 ms.

关键词：红外探测器二极管填充因子吸收层读出电路

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基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试系统

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红外与激光工程 2014年第6期43卷 1955-1959页

作者：明安杰谭振新吴健赵敏欧文陈大鹏江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心微电子器件与集成技术重点实验室北京100029

提出了一种7通道并行测试的MEMS加速度计自动化测试分析系统,该系统高度集成多种功能,实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上,该系统通过上层应用程序Labview实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和... 详细信息

提出了一种7通道并行测试的MEMS加速度计自动化测试分析系统,该系统高度集成多种功能,实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上,该系统通过上层应用程序Labview实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和供电电源等设备的控制。灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等参数指标,能够在控制终端通过分析测试数据同时获得,并以报表形式输出。在一般情况下,传感器测试效率可达50只/h,大大高于传统的非自动化测试系统。经过评估测试,该测试系统还表现出较高的测试精度及稳定性和可靠性,测试误差小于±2.5%。该自动化测试系统为进一步降低MEMS传感器成本,促进其在物联网领域的大规模应用奠定了基础。

关键词： MEMS加速度计 Labview 物联网自动化测试

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一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文)

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传感技术学报 2014年第6期27卷 730-735页

作者：陈媛婧毛海央谭秋林薛晨阳欧文陈大鹏熊继军中北大学纳米纳米技术研究中心太原030051 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心北京100029 江苏省物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135

提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应... 详细信息

提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应率和响应时间分别达到2.85×108cm Hz(1/2)/W、1 800 V/W和6 ms。本文给出了该种热电堆红外探测器高度兼容于CMOS工艺的制备流程,使器件的高效量产和低成本生产成为可能。

关键词：红外探测器双层结构热电堆吸收层悬浮红外传感器多晶硅材料 CMOS工艺

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红外传感器光窗封装技术研究

红外传感器光窗封装技术研究

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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：罗九斌秦毅恒明安杰欧文陈大鹏江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心

本文就红外传感器器件级封装展开研究,主要从红外光窗材料选择、封装kovar盖板结构优化、光窗焊接焊料选择、光窗盖板与管壳焊接工艺开发四个方面综合考虑.通过材料性能对比,锗被用于红外透过材料,并根据模拟结果确定圆形盖板形式.此外... 详细信息

本文就红外传感器器件级封装展开研究,主要从红外光窗材料选择、封装kovar盖板结构优化、光窗焊接焊料选择、光窗盖板与管壳焊接工艺开发四个方面综合考虑.通过材料性能对比,锗被用于红外透过材料,并根据模拟结果确定圆形盖板形式.此外,选择SAC305焊料进行光窗焊接,最后通过平行缝焊完成光窗与管壳焊接.设计完成了红外传感器器件光窗及管壳结构,优化选择了封装材料和封装工艺,为红外传感器器件封装奠定了良好基础.

关键词：红外传感器光窗管壳结构封装工艺

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基于Labview的MEMS加速度计自动化测试平台

基于Labview的MEMS加速度计自动化测试平台

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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：谭振新赵敏明安杰欧文陈大鹏江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心无锡214135

为了实现MEMS传感器低成本、批量化生产的要求,解决传统测试仪表功能固定、可升级空间较小等缺点,建立一套高效、可靠的测试系统显得尤为重要.本文介绍了一种以振动台和温湿度交变试验箱作为物理环境系统,以计算机和模块化仪器为电学测... 详细信息

为了实现MEMS传感器低成本、批量化生产的要求,解决传统测试仪表功能固定、可升级空间较小等缺点,建立一套高效、可靠的测试系统显得尤为重要.本文介绍了一种以振动台和温湿度交变试验箱作为物理环境系统,以计算机和模块化仪器为电学测试系统核心硬件,以Labview为上层应用程序的MEMS加速度计测试系统,该测试系统可以实现灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等表征传感器性能指标的所有参数的测试.重点阐述了该自动化测试系统实现方法和测试数据实时记录、分析与显示的可视化功能,为快速、高效、全自动的MEMS传感器测试提供了技术支持.

关键词：加速度传感器测试系统性能指标

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基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统

基于Labview平台的压力传感器自动化测试系统

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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：明安杰赵敏谭振新吴健欧文陈大鹏江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心无锡214135

本文提出了一种多通道并行测试的MEMS(微电子机械系统)压力传感器自动测试平台.经过评估测试，该自动化测试平台具有较高的测试精度，测试误差小于t0.2％，为测量结果的准确性提供有力的保障，为进一步降低MEMS传感器成本，促进其在物... 详细信息

本文提出了一种多通道并行测试的MEMS(微电子机械系统)压力传感器自动测试平台.经过评估测试，该自动化测试平台具有较高的测试精度，测试误差小于t0.2％，为测量结果的准确性提供有力的保障，为进一步降低MEMS传感器成本，促进其在物联网领域的大规模应用奠定基础。

关键词：压力传感器微电子机械系统自动测试平台

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宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器

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微纳电子技术 2015年第12期52卷 765-769,810页

作者：雷程毛海央欧文薛晨阳唐力程杨涛陈大鹏熊继军中北大学电子测试技术国防科技重点实验室太原030051 中国科学院微电子研究所智能感知研发中心北京100029 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135

报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器。该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸,同时采用XeF_2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构,该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷。在器件制备的基础... 详细信息

报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器。该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸,同时采用XeF_2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构,该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷。在器件制备的基础上,对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试,测试结果表明该器件在常温下的真空响应上限达10-5 Pa。而不同加热功率条件下,该器件的响应灵敏度随着加热功率的增大呈增大趋势。

关键词：热电偶真空度双层多晶硅微电子机械系统(MEMS) 灵敏度

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一种通用从机同步串行接口电路的设计

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电视技术 2014年第7期38卷 40-43页

作者：徐中龙华竹平李佳王玮冰中国科学院微电子研究所北京100029 江苏物联网研究发展中心智能传感器工程中心江苏无锡214135 无锡(太湖)国际科技园管理委员会江苏无锡214135

根据I2C总线和SPI总线协议设计并实现了一种兼容I2C和SPI总线协议的从机同步串行接口电路。基于在传感器中的应用,介绍了该接口电路的整体结构和模块划分、时序、Verilog-HDL设计与实现,并给出了整个电路的仿真结果。验证结果表明,该接... 详细信息

根据I2C总线和SPI总线协议设计并实现了一种兼容I2C和SPI总线协议的从机同步串行接口电路。基于在传感器中的应用,介绍了该接口电路的整体结构和模块划分、时序、Verilog-HDL设计与实现,并给出了整个电路的仿真结果。验证结果表明,该接口电路可以实现与主机之间基于I2C总线和SPI总线的数据发送与接收,可满足物联网中传感器系统的通信需求。

关键词：串行接口 I2C总线 SPI总线模块化设计

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几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比

几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比

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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：何鑫祖秋燕王玮冰宋冬雪孟如男中国科学院微电子研究所北京100029 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135 中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室北京100029 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心江苏无锡214135

随着IPHONE手机以及WII体感游戏的普及,MEMS传感器具有广大的市场和研发趋势.作为一种典型的MEMS传感器,电容式MEMS传感器以及后端的读出电路也得到了更多的关注和重视.首先介绍了电容式MEMS传感器的特点和应用;随后介绍和分析了几种常... 详细信息

随着IPHONE手机以及WII体感游戏的普及,MEMS传感器具有广大的市场和研发趋势.作为一种典型的MEMS传感器,电容式MEMS传感器以及后端的读出电路也得到了更多的关注和重视.首先介绍了电容式MEMS传感器的特点和应用;随后介绍和分析了几种常用的读出电路;并在CSMCOS工艺下仿真和测试了电路的输出性能，同时,提取了这几种电路的典型结构;最后,给出了在SPECTRE测试的结果,并总结了这几种电路的优缺点,为进一步的ASIC设计提供了很好的参考和分析。

关键词：电容传感器读出电路结构特征输出性能

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多传感器室内环境监测系统

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传感器与微系统 2017年第1期36卷 87-90页

作者：孙占鹏李佳欧文中国科学院物联网研究发展中心智能传感器工程中心江苏无锡214100 中国科学院微电子研究所智能感知研发中心北京100029

针对室内环境舒适度及安全性监测需求,设计并实现了一种基于多传感器的室内环境监测系统。在分析并比较反向传播(BP)神经网络、径向基函数(RBF)神经网络、支持向量机(SVM)、遗传算法优化的BP神经网络在此应用中的性能与误差的基础上,在A... 详细信息

针对室内环境舒适度及安全性监测需求,设计并实现了一种基于多传感器的室内环境监测系统。在分析并比较反向传播(BP)神经网络、径向基函数(RBF)神经网络、支持向量机(SVM)、遗传算法优化的BP神经网络在此应用中的性能与误差的基础上,在Android端实现了ISO国际标准的PMV热舒适度算法及有害气体浓度预警算法,从而实现室内空气质量的各参数的实时监测,并能更好地预测火灾等高危险灾害。此系统可全面反映室内的空气质量,让居民能更有针对性地改善自己的居住环境。

关键词：多传感器系统神经网络预警算法实时监测

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