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本文进行了微型飞行器机载测控系统研究，研制了微型自动驾驶系统，选用微机电(Micro electromechanicalSystem—MEMS)陀螺仪、加速度计和气压传感器，分别用于测量三轴角速率、三轴加速度和飞行高度，其中高度计可以达到0-10Km大范围内高精度测量。所设计的自动驾驶仪尺寸仪为35×20×12mm3，重6g，满足微型飞行器在重量和体积上的特殊要求。本文还针对研制的微型自动驾驶系统进行了实验研究，对系统进行了标定，结果表明所选用的MEMS传感器输出稳定，线性度好，噪声小，满足实际需求;将微型自动驾驶系统用于微型飞行器进行实际飞行控制，用PID控制器把角速率信号反馈到纵向和横侧向回路中用于增稳，有效地改善了飞机的阻尼特性。

关键词：微型飞行器自动驾驶仪传感器 PID控制器测控系统飞行实验

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基于MEMS技术的微型飞行器测控系统研究

基于MEMS技术的微型飞行器测控系统研究

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2008中国仪器仪表与测控技术进展大会

作者：张福星朱荣刘旭东刘鹏熊威周兆英清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室

本文进行了微型飞行器机载测控系统研究,研制了微型自动驾驶系统,选用微机电(Micro electromechanical system—MEMS)陀螺仪、加速度计和气压传感器,分别用于测量三轴角速率、三轴加速度和飞行高度,其中高度计可以达到0-10Km大范围内高... 详细信息

本文进行了微型飞行器机载测控系统研究,研制了微型自动驾驶系统,选用微机电(Micro electromechanical system—MEMS)陀螺仪、加速度计和气压传感器,分别用于测量三轴角速率、三轴加速度和飞行高度,其中高度计可以达到0-10Km大范围内高精度测量。所设计的自动驾驶仪尺寸仅为35×20×12mm3,重6g,满足微型飞行器在重量和体积上的特殊要求。本文还针对研制的微型自动驾驶系统进行了实验研究,对系统进行了标定,结果表明所选用的MEMS传感器输出稳定,线性度好,噪声小,满足实际需求;将微型自动驾驶系统用于微型飞行器进行实际飞行控制,用PID控制器把角速率信号反馈到纵向和横侧向回路中用于增稳,有效地改善了飞机的阻尼特性。

关键词： MEMS传感器微型飞行器自动驾驶系统飞行实验

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一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

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2008中国仪器仪表与测控技术报告大会

作者：朱亮叶雄英冯焱颖武雁斌周兆英精密测试技术及仪器国家重点实验室精密仪器与机械学系清华大学北京100084 传感技术联合国家重点实验室北京100084 精密测试技术及仪器国家重点实验室精密仪器与机械学系清华大学北京100084

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片，该芯片利用硅微加工工艺制作，以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验，测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明，在电压小于80V的时候，接... 详细信息

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片，该芯片利用硅微加工工艺制作，以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验，测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明，在电压小于80V的时候，接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作：产生、合并、输运、分割。

关键词：微流体控制芯片液滴控制控制性能 EWOD效应

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MEMS热线传感器的设计与仿真

MEMS热线传感器的设计与仿真

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中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会

作者：王晓浩史创唐飞清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京100084

本文首先介绍了MEMS热线传感器的原理和应用背景。结合MEMS传感器的经典设计和工艺，提出了四种可以实现的MEMS热线传感器结构。利用ANSYS有限元分析软件和合理的假设，建立了四种结构的简化有限元模型，对它们分别进行了热传导分析、... 详细信息

本文首先介绍了MEMS热线传感器的原理和应用背景。结合MEMS传感器的经典设计和工艺，提出了四种可以实现的MEMS热线传感器结构。利用ANSYS有限元分析软件和合理的假设，建立了四种结构的简化有限元模型，对它们分别进行了热传导分析、热形变分析和热响应速度分析。仿真结果显示：自然对流对热线温度的影响非常小，可以忽略;热线下方具有凹槽的结构具有最小的功耗;热线下方有支撑的结构的热形变最小;在恒流工作方式下，没有凹槽的结构的热响应时间常数最短。针对以上分析，提出了支撑薄膜下封装真空腔的方案，既可以减少热线变形，又可以提高响应频率。

关键词：热线传感器 MEMS 有限元仿真热传导分析热线变形

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猫眼腔激光器的横模变换与频率分裂

猫眼腔激光器的横模变换与频率分裂

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2008'激光技术论坛

作者：胡朝晖张书练贾惠波清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室，北京 100084

为了产生多种激光横模，以前的系统相对比较复杂，而且一般只能产生基横模和低阶横模，很难产生高阶横模，同时也很难观察到模竞争中一个频率抑制另一个频率的变化过程。基于猫眼谐振腔激光器和频率分裂技术，提出了一种新型的激光原理... 详细信息

为了产生多种激光横模，以前的系统相对比较复杂，而且一般只能产生基横模和低阶横模，很难产生高阶横模，同时也很难观察到模竞争中一个频率抑制另一个频率的变化过程。基于猫眼谐振腔激光器和频率分裂技术，提出了一种新型的激光原理综合实验系统。该系统利用猫眼逆向器作为He-Ne激光器的一个腔镜，通过调节猫眼逆向器中两镜片间距可输出包括基横模、低阶横模、高阶横模在内的十余种典型横模，并可完成纵模、偏振、出光带宽等多种激光基本特性的实验。同时在基横模状态下，利用谐振腔内加入的石英晶体片可实现激光频率分裂及其频差调节。在此基础上又可实现完整的模竞争过程的观察。

关键词：激光器频率分裂横模变换激光原理频差调节

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一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

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2008中国仪器仪表与测控技术进展大会

作者：朱亮叶雄英冯焱颖武雁斌周兆英精密测试技术及仪器国家重点实验室精密仪器与机械学系清华大学传感技术联合国家重点实验室

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片,该芯片利用硅微加工工艺制作,以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验,测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明,在电压小于80V的时候,接触角测... 详细信息

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片,该芯片利用硅微加工工艺制作,以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验,测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明,在电压小于80V的时候,接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作:产生、合并、输运、分割。

关键词：介质上电润湿液滴微流体微机械加工

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一种基于PDA的地震检波器测试系统设计

一种基于PDA的地震检波器测试系统设计

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第三届全国虚拟仪器大会

作者：黄佳钰邓焱马洪驹清华大学精密仪器与机械学系精密计量测试技术与仪器国家重点实验室

针对大规模分布地震检波器的现场测试需求,本文设计了一种基于手持PDA的检波器测试系统.该系统利用FPGA芯片和Cirrus Logic公司的地震套片对检波器进行激励和信号采集,通过RS232串口与PDA进行通讯,接收PDA的控制指令并将采集到的数据发... 详细信息

针对大规模分布地震检波器的现场测试需求,本文设计了一种基于手持PDA的检波器测试系统.该系统利用FPGA芯片和Cirrus Logic公司的地震套片对检波器进行激励和信号采集,通过RS232串口与PDA进行通讯,接收PDA的控制指令并将采集到的数据发送给PDA。利用LabVIEW for Pocket PC Modul编写的应用程序运行于PDA的Windows Mobile操作系统,可以将测试的结果显示在PDA的屏幕上。结合LabVIEW的图形编程和信号处理的功能,该手持式测试设备具有强大的现场测试功能,而且有友好的人机交互界面。系统可以方便地从FPGA接收数据,并在PDA中进行处理和显示,不仅体积小,功耗低,而且功能强大,工作效率高.

关键词：地震检波器 PDA LabVIEW 串口通讯信号处理

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基于虚拟仪器技术的红外热像采集分析系统

基于虚拟仪器技术的红外热像采集分析系统

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第三届全国虚拟仪器大会

作者：邓焱赵夏云清华大学精密仪器与机械学系精密计量测试技术与仪器国家重点实验室

为了更加快捷地使用红外热像仪观测红外热像,研究了基于虚拟仪器技术的热像采集分析系统。该系统利用PCI-1409图像采集卡实时采集红外热像,并利用LabVIEW及NI视觉开发模块编程实现红外热像信息分析。这些分析包括点温显示、线温分析、... 详细信息

为了更加快捷地使用红外热像仪观测红外热像,研究了基于虚拟仪器技术的热像采集分析系统。该系统利用PCI-1409图像采集卡实时采集红外热像,并利用LabVIEW及NI视觉开发模块编程实现红外热像信息分析。这些分析包括点温显示、线温分析、区域温度直方图、温度域值分析、热像回放、动态分析以及图像相减。实验表明,该系统将TVS-2000红外热像仪原机系统的最高采集速率由10秒每祯提高至25祯每秒,并克服了原机软盘存储的容量限制,拓展了热像分析功能,具有较高的准确可靠性。

关键词：红外热像仪图像采集红外热像分析虚拟仪器 LabVIEW

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塔架模型的分布式测控系统实验研究

塔架模型的分布式测控系统实验研究

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全国高校机械工程测试技术研究会振动工程学会动态测绘专业委员会2008代表大会暨学术年会

作者：邓焱胡嘉清华大学精密仪器与机械学系精密计量测试技术与仪器国家重点实验室北京 100084

塔架是发射场的一个重要组成部分，随着发射要求的提高，改进现有塔架测控设备是必要的。本文建立了实验室塔架模型，完成了基于虚拟仪器技术的分布式DCS模型系统的设计，该系统可实现多个模块的并行测控及相应数据的实时分析、传递、... 详细信息

塔架是发射场的一个重要组成部分，随着发射要求的提高，改进现有塔架测控设备是必要的。本文建立了实验室塔架模型，完成了基于虚拟仪器技术的分布式DCS模型系统的设计，该系统可实现多个模块的并行测控及相应数据的实时分析、传递、保存和二次计算;选用DataSocket 协议为通讯基础，实现了系统的远程测控。本文对模型系统进行了实验验证，为今后的塔架改进工作提供参考。

关键词：发射塔架分布式测控系统远程测控虚拟仪器

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