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  • 4 篇 工学
    • 2 篇 仪器科学与技术
    • 2 篇 控制科学与工程
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
  • 2 篇 理学
    • 1 篇 物理学
    • 1 篇 系统科学

主题

  • 2 篇 化学气相沉积
  • 1 篇 微型气泵
  • 1 篇 单壁碳纳米管阵列
  • 1 篇 微流体
  • 1 篇 压电陶瓷
  • 1 篇 双层压电梁致动
  • 1 篇 应变传感
  • 1 篇 微型泵
  • 1 篇 悬空单壁碳纳米管...
  • 1 篇 场效应
  • 1 篇 控制转移
  • 1 篇 微纳传感器件

机构

  • 4 篇 清华大学
  • 2 篇 重庆大学
  • 2 篇 重庆科技学院
  • 1 篇 三星综合技术研究...

作者

  • 4 篇 周兆英
  • 3 篇 杨兴
  • 2 篇 郑富中
  • 2 篇 吴英
  • 2 篇 唐一科
  • 1 篇 李楠
  • 1 篇 王晓浩
  • 1 篇 叶雄英
  • 1 篇 赵慧贞
  • 1 篇 罗小兵

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"机构=清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室"
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单壁碳纳米管阵列场效应特性的研究
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固体电子学研究与进展 2010年 第4期30卷 601-605页
作者： 郑富中 唐一科 周兆英 杨兴 吴英 重庆大学机械工程学院 清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 重庆科技学院
单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据... 详细信息
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基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器
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机械工程学报 2010年 第18期46卷 13-17页
作者： 唐一科 郑富中 周兆英 杨兴 吴英 重庆大学机械工程学院 重庆400044 重庆科技学院电气与信息工程学院 重庆401331 清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室 北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084
利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米... 详细信息
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压电驱动膜片式微型气泵
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压电与声光 2005年 第4期27卷 365-368页
作者： 杨兴 周兆英 叶雄英 李楠 赵慧贞 罗小兵 清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室 三星综合技术研究院
提出一种结构新颖的压电驱动膜片式微型气泵,对其输出流量、膜片的振幅等参数进行了理论分析,在此基础上设计、制作了微型气泵样机,并进行了测试实验。这种气泵在结构上充分利用了双压电梁端部位移大的优点,并利用两根双压电梁将膜片悬... 详细信息
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压电致动微型泵
压电致动微型泵
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 王晓浩 周兆英 清华大学精密仪器与机械学系微型机械与控制技术研究室(北京)
该文介绍了一种压电致动微型泵的设计、加工和测试。该泵泵膜厚度为11μm，泵腔圆形，直径5mm，深0.4mm。使用的单晶硅微型阀阀片1.5mm×1.0mm×7.4μm，阀口200μm×200μm，在10kPa压差下过流能力大于10ml/min，正向开启... 详细信息
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