检索结果-内蒙古大学图书馆

光电子．激光 2010年第5期21卷 786-790页

作者：尹经禅肖晓晟杨昌喜清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209

实验研究了高非线性光纤(HNLF)中受激布里渊散射(SBS)的阈值、增益谱、放大特性及其慢光特性,并与普通单模光纤(SMF)进行了对比分析。测量实验表明,HNLF在线宽100MHz的泵浦激光作用下,SBS的阈值为60mW,增益带宽为150MHz,获得的最大慢光... 详细信息

实验研究了高非线性光纤(HNLF)中受激布里渊散射(SBS)的阈值、增益谱、放大特性及其慢光特性,并与普通单模光纤(SMF)进行了对比分析。测量实验表明,HNLF在线宽100MHz的泵浦激光作用下,SBS的阈值为60mW,增益带宽为150MHz,获得的最大慢光延迟量将近15ns,延迟谱与增益谱较好对应。对基于SBS的未来全光通信系统中的高性能光延迟线或全光缓存器具有重要的参考价值。

关键词：受激布里渊散射(SBS) 阈值增益谱慢光增益饱和高非线性光纤(HNLF)

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应用飞秒激光双光子吸收还原金属离子

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激光技术 2010年第3期34卷 395-397页

作者：马竞朱煜杨开明清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室北京100084

为了探讨利用有机高分子材料的飞秒激光双光子吸收来引发金属离子还原的可行性,在自行研制的双光子微细加工系统中,采用物质的量的比为1:1的硝酸银/聚乙烯吡咯烷酮混和凝胶进行还原试验,加工出宽25μm的线条以及4mm×0.4mm的测试导... 详细信息

为了探讨利用有机高分子材料的飞秒激光双光子吸收来引发金属离子还原的可行性,在自行研制的双光子微细加工系统中,采用物质的量的比为1:1的硝酸银/聚乙烯吡咯烷酮混和凝胶进行还原试验,加工出宽25μm的线条以及4mm×0.4mm的测试导线。由X射线光电子能谱分析可知,加工生成物主要元素是银,通过测试导线电阻,测算其电阻率范围在10^(-3)Ω·m～10^(-5)Ω·m之间。结果表明,用双光子吸收还原金属离子,可以控制反应区域,这对加工导电金属微结构是有帮助的。

关键词：非线性光学双光子吸收飞秒激光聚乙烯吡咯烷酮

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机械制造领域测量技术的发展研究

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机械工程学报 2010年第14期46卷 1-11页

作者：裘祖荣石照耀李岩天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院北京100124 清华大学精密仪器与机械学系北京100084

介绍机械制造中测量学科的内涵和组成,指出测试计量技术是机械制造领域不可或缺的重要组成部分,是机械科学研究和先进制造的眼睛;机械制造中的应用和创新需求,决定着测量技术领域的主要研究内容和发展方向。随着近几年世界经济格局的变... 详细信息

介绍机械制造中测量学科的内涵和组成,指出测试计量技术是机械制造领域不可或缺的重要组成部分,是机械科学研究和先进制造的眼睛;机械制造中的应用和创新需求,决定着测量技术领域的主要研究内容和发展方向。随着近几年世界经济格局的变化和我国经济技术高速发展的趋势,测量技术的先进程度将成为我国未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键。基于国际、国内机械制造领域测量技术近几年的发展和现状分析,就目前我国机械制造中测量技术发展的特点,预测今后几年机械制造领域测量技术的研究热点和发展趋势。对机械制造中测量技术领域国家应重点发展、支持的方向提出建议。

关键词：机械制造测量技术发展研究

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相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究

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应用光学 2010年第6期31卷 1013-1017页

作者：周小珊李岩清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立... 详细信息

为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立测量系统,对方案的可行性进行了实验验证,并对影响系统稳定性的因素进行了分析。与双频激光干涉仪的比对结果表明:测量标准差优于1 mm,可以满足一些大尺寸的测量精度要求。

关键词：绝对距离测量相位激光测距外差干涉测量双纵模He-Ne激光器

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光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模

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清华大学学报（自然科学版） 2010年第2期50卷 241-245页

作者：赵强阎绍潭清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室智能与生物机械分室北京100084 东北林业大学交通学院哈尔滨150040

为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系... 详细信息

为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程。进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。以某光刻机精密工作台为例进行误差建模与分析,该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考。

关键词：光刻机误差模型多体运动学低序体阵列齐次坐标变换

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精密电极结构实现小间隙大气压辉光放电离子源(英文)

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纳米技术与精密工程 2010年第3期8卷 189-194页

作者：刘坤王晓浩唐飞魏学业北京交通大学电子信息工程学院北京100044 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

分析了电极结构精密度对大气压辉光放电稳定性的影响,设计并加工了一套高装配精度的线-筒型离子源.内外电极直径分别为0.16mm和4mm.当电压达到-3.5kV时电晕放电开始发生,放电电流波形为典型的特里切尔脉冲;当电压升高至-4.5kV时放电电... 详细信息

分析了电极结构精密度对大气压辉光放电稳定性的影响,设计并加工了一套高装配精度的线-筒型离子源.内外电极直径分别为0.16mm和4mm.当电压达到-3.5kV时电晕放电开始发生,放电电流波形为典型的特里切尔脉冲;当电压升高至-4.5kV时放电电流变为直流,表明进入辉光状态.通过放电电流波形可以清晰地观察到从电晕放电到辉光放电的过渡过程,并分析了其物理过程.放电实验表明,该装置可以稳定地实现大气压辉光放电,放电电流与施加电压成正电阻特性,而电极之间的电压在放电电流增大的情况下保持不变.这些放电特性与典型的低气压辉光放电一致.放电电流可达毫安量级,电离度较高,可有效提高检测灵敏度.质谱实验表明该离子源可以很好地离子化甲酸、乙酸、苯酚、苯甲酸等化学物质.

关键词：电极精密度大气压辉光放电敞开式离子源

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一种微型FAIMS传感器芯片的研制

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物理化学学报 2010年第5期26卷 1355-1363页

作者：李华王晓浩唐飞张亮杨吉吝涛丁力清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中北大学电子与计算机科学技术学院太原030051 岛津分析技术研发(上海)有限公司上海201201

基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子... 详细信息

基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.

关键词：高场非对称波形离子迁移谱微机电系统高场非对称方波微法拉第杯

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基于ANSYS的掘进装备典型结构可靠性分析

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机械设计与制造 2010年第9期 49-51页

作者：吴岳何永勇清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室北京100084

全断面隧道掘进装备结构复杂、尺寸巨大、服役环境恶劣复杂,因此其工作过程中的可靠性是个不容忽视的问题,其中典型结构的可靠性计算是目前有待研究的重要课题。借助于ANSYS强大的分析计算能力,尝试基于ANSYS对掘进装备中典型结构进行... 详细信息

全断面隧道掘进装备结构复杂、尺寸巨大、服役环境恶劣复杂,因此其工作过程中的可靠性是个不容忽视的问题,其中典型结构的可靠性计算是目前有待研究的重要课题。借助于ANSYS强大的分析计算能力,尝试基于ANSYS对掘进装备中典型结构进行可靠性分析。选取掘进装备的结构法兰盘为对象,在ANSYS环境中建立其三维分析模型,并利用随机有限元分析、蒙特卡洛循环实验对该结构进行数值试验和可靠性分析,证明了该结构在极端载荷下的可靠性。结果表明:ANSYS的概率分析为结构可靠性分析提供了一强有力手段。

关键词：掘进装备可靠性分析 ANSYS 随机有限元

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六自由度磁浮微动台电磁场建模与计算

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清华大学学报（自然科学版） 2010年第12期50卷 1978-1982页

作者：李广张鸣朱煜段广洪 Masayoshi Tomizuka 清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室中国北京100084 加州大学伯克利分校机械工程系美国伯克利94720

为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台... 详细信息

为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台电磁力-位移特性进行了分析。采用数值方法计算了微动台电磁单元绕组损耗引起的温升。结果表明:该微动台具有驱动力大、结构简单、散热方便等优点,可为我国自主产权光刻机微动台设计提供参考。

关键词：微动台电磁场计算温升光刻机

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TMS320C6713 DSP的高速EMIF数据接口设计与实现

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计算机测量与控制 2010年第7期18卷 1654-1656页

作者：周顺燕吴丹清华大学精密仪器及机械学系摩擦学国家重点实验室北京100084

为减少数字控制系统的延迟时间,针对基于TMS320C6713 DSP的数字控制平台,设计了一种结构简单、易于控制的高速数据接口卡,包含16位、40MHz采样率的A/D转换器以及16位、40MHz刷新率的D/A转换器,通过外部存储器接口EMIF实现DSP开发板与高... 详细信息

为减少数字控制系统的延迟时间,针对基于TMS320C6713 DSP的数字控制平台,设计了一种结构简单、易于控制的高速数据接口卡,包含16位、40MHz采样率的A/D转换器以及16位、40MHz刷新率的D/A转换器,通过外部存储器接口EMIF实现DSP开发板与高速数据接口卡的控制信号传输与数据存取,并在CCS编译平台上编程控制数据的存取以及外部存储器接口EMIF的读写时序;实验结果表明,数字控制系统的延迟时间可低至1.1μs。

关键词：数字信号处理器DSP 外部存储器接口EMIF 数据接口卡

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