检索结果-内蒙古大学图书馆

清华大学学报（自然科学版） 2005年第5期45卷 618-621页

作者：荆阳雒建斌易晓星黄朋生清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室中国科学院声学研究所北京100080

为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电... 详细信息

为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电微致动器的位移/驱动电压灵敏度和谐振频率分别达到了1.396μm/±20V和15.13kHz;有限元仿真结果与实测结果基本吻合。

关键词：硬盘驱动器压电微致动器锆钛酸铅多层膜双级伺服系统

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AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用

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清华大学学报（自然科学版） 2005年第8期45卷 1062-1065页

作者：郭占社吴一辉孟永钢清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室北京100084 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作... 详细信息

为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求,提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。通过反复摸索,得到了该光刻胶的较理想的转速胶膜厚度、前烘时间温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40μm、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机,通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明,电机运转平稳、力矩波动小。

关键词：机械制造工艺 AZ4903 电磁型平面微电机绕组线圈

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电火花线切割机加工自由曲面的CAD/CAM软件

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清华大学学报（自然科学版） 2005年第11期45卷 1472-1475页

作者：韩福柱程刚陈希明周晓光国枝正典清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室北京邮电大学自动化学院东京农工大学机械工程系

用电火花线切割机加工自由曲面时,常规的NC编程无法精确、实时地调整电极丝与工件的相对位置。为此设计了一种CAD/CAM软件,该软件可依据被加工曲面的CAD数据,计算出加工点处电极丝的位置和姿态,并且根据加工点的法线矢量和电极丝的轴心... 详细信息

用电火花线切割机加工自由曲面时,常规的NC编程无法精确、实时地调整电极丝与工件的相对位置。为此设计了一种CAD/CAM软件,该软件可依据被加工曲面的CAD数据,计算出加工点处电极丝的位置和姿态,并且根据加工点的法线矢量和电极丝的轴心矢量的交叉乘积决定加工点的移动方向,然后自动生成NC指令进行自由曲面的加工。利用这套软件对球面进行了加工实验。结果表明:加工得到的球面与仿真结果基本相似,加工精度取决于放电间隙及切向进给方式。

关键词：电火花线切割机自由曲面电极丝

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实时图像快速定位算法及其应用

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计算机工程与应用 2005年第35期41卷 59-62页

作者：胡竞林喜荣黄新营苏晓生王鼎渠王敏清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 北京开天科技有限公司北京100080

图像定位是图形图像学研究的重要方面,然而较慢的定位速度一直制约图像定位的实时应用。文章探讨了一种图像投影的快速定位算法,将二维图像信息的特征压缩成一个特征向量,将该特征向量作为定位的参数进行图像定位,大大提高了定位的速度... 详细信息

图像定位是图形图像学研究的重要方面,然而较慢的定位速度一直制约图像定位的实时应用。文章探讨了一种图像投影的快速定位算法,将二维图像信息的特征压缩成一个特征向量,将该特征向量作为定位的参数进行图像定位,大大提高了定位的速度。该算法比一般的相关算法、快速傅立叶算法具有非常明显的速度优势;并且将基于该算法的图像定位系统嵌入到二维移动工作台进行实时实验,取得了很好的实验结果。

关键词：图像定位实时图像快速傅立叶变换

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用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法

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计量学报 2005年第2期26卷 115-119页

作者：柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013

提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特... 详细信息

提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。

关键词：计量学偏振干涉边缘探测线宽共光路设计共焦显微术

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液压自由活塞发动机动态特性的仿真研究

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机械科学与技术 2005年第11期24卷 1331-1333,1386页

作者：夏必忠张辉段广洪傅新杨华勇清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所北京100084 浙江大学流体传动及控制国家重点实验室杭州310027

液压自由活塞发动机(hydrau lic free p iston engine,以下简称HFPE)是将内燃机和液压泵集成为一体,以液体为工作介质实现动力非刚性传输的一种特种发动机。在左、右动力腔的交替驱动下,HFPE的活塞组件在腔体中作往复直线运动,同时泵出... 详细信息

液压自由活塞发动机(hydrau lic free p iston engine,以下简称HFPE)是将内燃机和液压泵集成为一体,以液体为工作介质实现动力非刚性传输的一种特种发动机。在左、右动力腔的交替驱动下,HFPE的活塞组件在腔体中作往复直线运动,同时泵出液压油驱动负载工作。与曲轴式发动机不同,由于不受曲柄连杆机构的约束,HFPE活塞组件的运动规律完全取决于其本身的质量及所受到的作用力。本文通过建立所研制的HFPE样机各子系统的数学模型,重点研究了HFPE样机的动态特性,以期为系统的结构及控制系统提供理论依据。

关键词：自由活塞发动机液压动态特性仿真研究

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转子速度大小及方向的四象限光电测量技术及应用

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计测技术 2005年第1期25卷 22-24页

作者：钱建强王东生清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

介绍了利用四象限光电探测器作为检测元件,对转子的旋转速度大小及方向进行在线测量的技术及其应用。对转速大小的测量采用测量频率和测量周期相结合的方法,测量精度,测量范围可以从每分钟几转到几十万转。测量中采用象限相减的差动信... 详细信息

介绍了利用四象限光电探测器作为检测元件,对转子的旋转速度大小及方向进行在线测量的技术及其应用。对转速大小的测量采用测量频率和测量周期相结合的方法,测量精度,测量范围可以从每分钟几转到几十万转。测量中采用象限相减的差动信号处理方式,可以有效克服噪声及外部干扰信号的影响;采用过零检测处理方法,有助于克服光斑强度的变化对测量结果的影响。

关键词：转子四象限过零检测外部干扰差动测量结果在线测量测量周期检测元件光电测量

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高精密角度分度测量控制系统的研究

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计测技术 2005年第2期25卷 17-19,52页

作者：钱建强李俊锋王东生清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

研制并开发了用于角度标定的高精密角度分度装置及其测量控制系统,装置采用永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转来带动分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度,为了实现角度的零误差分度定位控制,转动角度的分度控制采用... 详细信息

研制并开发了用于角度标定的高精密角度分度装置及其测量控制系统,装置采用永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转来带动分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度,为了实现角度的零误差分度定位控制,转动角度的分度控制采用了闭环自动控制系统。研究分析了圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对装置分度精度的影响,建立了误差修正模型,通过误差补偿,系统在±5°的角度测量范围内分度控制精度达到±0.2″。

关键词：角度分度圆光栅测量系统闭环控制误差修正

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光电比色法生化分析实验的开发

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实验室研究与探索 2005年第7期24卷 13-15页

作者：朱昊郭宏章恩耀王佳赵子英清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了利用智能型半自动生化分析仪开发的生化分析实验,尝试在精密仪器专业学生中进行跨学科和启发式实验教学。

关键词：生化分析实验跨学科

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千瓦级激光二极管抽运Yb:YAG板条激光器

千瓦级激光二极管抽运Yb:YAG板条激光器

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第十七届全国激光学术会议

作者：柳强陆富源巩马理李晨陈刚清华大学精密仪器与机械学系光子与电子技术研究中心摩擦学国家重点实验室北京100084

分析了高功率抽运条件下板条Yb:YAG激光器的温度和热应力分布,计算了板条激光器宽度方向和厚度方向的热焦距,并进行了一维变反射率镜混合谐振腔设计.采用角抽运方法,实现了千瓦级Yb:YAG板条激光器运转,斜率效率43﹪,光-光转换效率约35﹪... 详细信息

分析了高功率抽运条件下板条Yb:YAG激光器的温度和热应力分布,计算了板条激光器宽度方向和厚度方向的热焦距,并进行了一维变反射率镜混合谐振腔设计.采用角抽运方法,实现了千瓦级Yb:YAG板条激光器运转,斜率效率43﹪,光-光转换效率约35﹪,最后进行了激光二极管抽运万瓦级板条激光器的设计.

关键词：激光技术高功率激光器固体激光 Yb:YAG晶体

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