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微光学机电系统的发展和应用
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引用
光学精密工程 1998年 第4期6卷 7-14页
作者： 傅丹鹰 殷纯永 乌崇德 清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术及仪器国家重点实验室 北京空间机电研究所
论述了微光学机电系统（ＭＯＥＭＳ）的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理，对其发展和应用前景进行讨论。
来源： 评论
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