检索结果-内蒙古大学图书馆

纳米技术与精密工程 2010年第3期8卷 189-194页

作者：刘坤王晓浩唐飞魏学业北京交通大学电子信息工程学院北京100044 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

分析了电极结构精密度对大气压辉光放电稳定性的影响,设计并加工了一套高装配精度的线-筒型离子源.内外电极直径分别为0.16mm和4mm.当电压达到-3.5kV时电晕放电开始发生,放电电流波形为典型的特里切尔脉冲;当电压升高至-4.5kV时放电电... 详细信息

分析了电极结构精密度对大气压辉光放电稳定性的影响,设计并加工了一套高装配精度的线-筒型离子源.内外电极直径分别为0.16mm和4mm.当电压达到-3.5kV时电晕放电开始发生,放电电流波形为典型的特里切尔脉冲;当电压升高至-4.5kV时放电电流变为直流,表明进入辉光状态.通过放电电流波形可以清晰地观察到从电晕放电到辉光放电的过渡过程,并分析了其物理过程.放电实验表明,该装置可以稳定地实现大气压辉光放电,放电电流与施加电压成正电阻特性,而电极之间的电压在放电电流增大的情况下保持不变.这些放电特性与典型的低气压辉光放电一致.放电电流可达毫安量级,电离度较高,可有效提高检测灵敏度.质谱实验表明该离子源可以很好地离子化甲酸、乙酸、苯酚、苯甲酸等化学物质.

关键词：电极精密度大气压辉光放电敞开式离子源

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单壁碳纳米管阵列场效应特性的研究

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固体电子学研究与进展 2010年第4期30卷 601-605页

作者：郑富中唐一科周兆英杨兴吴英重庆大学机械工程学院清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室重庆科技学院

单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据... 详细信息

单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据手性的不同在电特性上又各有差异,再加上要合成或合成后分离出单一手性的SWCNT,目前的技术还存在相当大的难度。结合化学气相沉积中的控制生长、控制转移排列整齐有序的SWC-NT阵列与微加工工艺等方法,将SWCNT阵列作为一个器件单元来进行测试,测试结果显示了一定的场效应特性。

关键词：单壁碳纳米管阵列化学气相沉积控制转移场效应

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基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器

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机械工程学报 2010年第18期46卷 13-17页

作者：唐一科郑富中周兆英杨兴吴英重庆大学机械工程学院重庆400044 重庆科技学院电气与信息工程学院重庆401331 清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米... 详细信息

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米管阵列较整齐地悬于平行电极对之间,待将生长有纳米管的硅片粘在聚氯乙稀薄板上之后,再用激光技术切除掉贯通缝的连接部分,使作用于聚氯乙稀薄板上的力能够直接传递到单壁碳纳米管阵列。引出导线,完成此微纳力敏传感器件的制作。随后主要开展悬空单壁碳纳米管阵列应变传感方面的研究,获得了较高的压阻因子与线性度。结果表明这种制作方法具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳传感器件的制作提供新的思路。

关键词：化学气相沉积悬空单壁碳纳米管阵列应变传感微纳传感器件

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一种微型FAIMS传感器芯片的研制

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物理化学学报 2010年第5期26卷 1355-1363页

作者：李华王晓浩唐飞张亮杨吉吝涛丁力清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中北大学电子与计算机科学技术学院太原030051 岛津分析技术研发(上海)有限公司上海201201

基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子... 详细信息

基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.

关键词：高场非对称波形离子迁移谱微机电系统高场非对称方波微法拉第杯

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Nd:YAG微片激光力传感器横截面上的频差分布

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北京交通大学学报 2010年第3期34卷 91-95页

作者：丁金运张连清张书练冯其波北京交通大学发光与光信息技术教育部重点实验室北京100044 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

针对谐振腔内含有圆盘形应力双折射元件的平平腔Nd:YAG微片激光力传感器,依据较成熟的光弹性理论,研究了对径加力情况下整个腔内应力双折射圆盘横截面上各点对应的激光频差分布特性,并给出了相应的激光频差计算公式.激光频差的实验测量... 详细信息

针对谐振腔内含有圆盘形应力双折射元件的平平腔Nd:YAG微片激光力传感器,依据较成熟的光弹性理论,研究了对径加力情况下整个腔内应力双折射圆盘横截面上各点对应的激光频差分布特性,并给出了相应的激光频差计算公式.激光频差的实验测量结果与数值模拟结果基本一致.本研究为大幅提高其传感灵敏度提供可能,也为计算激光照射位置偏离圆盘圆心(或其他目标)时的传感灵敏度及误差提供依据,为发展基于腔内应力双折射效应及不同激光照射位置的新型小加力、大频差可调谐双频激光器开辟了新途径.

关键词：激光力传感器应力双折射对径加力圆盘频率分裂频差分布

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方波射频电压幅值对微型高场非对称波形离子迁移谱传感器芯片性能的影响

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分析化学 2010年第11期38卷 1678-1682页

作者：李华唐飞王晓浩张亮杨吉王帆徐初隆吝涛丁力清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室中北大学电子与计算机科学技术学院岛津分析技术研发(上海)有限公司

基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键合工艺加工,尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,其中迁移区尺寸为10mm×5mm×0.2mm。设计了高场非对称方波电源,可输出最大频率2MHz,电压峰-峰值1000V,占空比20%～50%连续可调的方波射频电压。以乙醇为实验样品,分析了方波射频电压幅值对FAIMS传感器芯片性能的影响。实验表明,随着电压幅值的增加,FAIMS分辨率提高,灵敏度下降,补偿电压绝对值增大,且芯片对乙醇的检出限可达8.9mg/m3。

关键词：微机电系统高场非对称波形离子迁移谱方波射频电压

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基于碳纳米管宏观体的热线式流速探针

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固体电子学研究与进展 2010年第4期30卷 495-498,584页

作者：刘小丽周兆英仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子科学与技术系中北大学太原030051 电子测试技术国家重点实验室电子科学与技术系中北大学太原030051 精密测试技术与仪器国家重点实验室精密仪器与机械学系清华大学北京100084

提出一种基于双壁碳纳米管(CNTs)宏观体的新型热线流速探针,该探针采用微加工技术组装热敏感元件并通过在接触区电沉积镍颗粒提高敏感结构的稳定性。作为热线元件的CNTs有比铂丝更高的电阻温度系数,温度为293～393K时,其电阻温度系数从0... 详细信息

提出一种基于双壁碳纳米管(CNTs)宏观体的新型热线流速探针,该探针采用微加工技术组装热敏感元件并通过在接触区电沉积镍颗粒提高敏感结构的稳定性。作为热线元件的CNTs有比铂丝更高的电阻温度系数,温度为293～393K时,其电阻温度系数从0.3727%/°C逐渐增加至0.5601%/°C。根据热平衡原理,通过恒流模式测量同一个探针在不同流场中输出电压的变化来计算电阻的变化,从而得到流速的大小。实验表明,该CNTs流速探针的灵敏度比传统的热线流速计高,重复性好,作为热线敏感材料是可行的。

关键词：热线流速灵敏度碳纳米管电阻温度系数

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基于单片机的地震仪器采集站控制优化

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微计算机信息 2010年第14期26卷 34-36页

作者：司书甲毕研刚傅志斌清华大学精密仪器与机械学系测试技术及仪器国家重点实验室

地震仪器是一种重要的油气勘探设备。在地震仪器中,由电源站为采集站提供电能,采集站的控制方案影响电源站的带道数量。为了提高电源站的带道数量,减少勘探成本,本文根据对地震仪器供电模型的分析,针对采集站启动状态对电源站带道数量... 详细信息

地震仪器是一种重要的油气勘探设备。在地震仪器中,由电源站为采集站提供电能,采集站的控制方案影响电源站的带道数量。为了提高电源站的带道数量,减少勘探成本,本文根据对地震仪器供电模型的分析,针对采集站启动状态对电源站带道数量的影响,提出了一套采集站单片机控制的优化方案,并进行了实验验证。实验结果表明,在55米道距时,电源站带道数量可提高至40道,优化方案切实、有效。

关键词：单片机地震仪器采集站电源站

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中红外傅里叶气体分析软件系统的设计

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光学仪器 2010年第6期32卷 36-39页

作者：任利兵尉昊赟李岩清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

中红外傅里叶多组分气体分析仪已逐渐成为环境污染检测,工业生产过程监控的有力工具。文中基于自行研制的PFTS型中红外傅里叶多组分气体分析仪,介绍了相应的中红外傅里叶多组分气体分析软件系统构成和设计方法,并重点描述了软件系统的... 详细信息

中红外傅里叶多组分气体分析仪已逐渐成为环境污染检测,工业生产过程监控的有力工具。文中基于自行研制的PFTS型中红外傅里叶多组分气体分析仪,介绍了相应的中红外傅里叶多组分气体分析软件系统构成和设计方法,并重点描述了软件系统的主要模块:光谱连续采集,光谱识别与具基线自补偿能力的多组分浓度分析方法的实现原理和具体算法。现提出的设计方法对光谱研究人员开发产品化的多组分气体分析软件有一定的借鉴之处。

关键词：中红外多组分气体分析软件系统

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基于TMS320F2812 FAIMS仪用RF电源控制系统

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自动化与仪表 2010年第9期25卷 13-16页

作者：杨吉唐飞王晓浩吝涛丁力中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 岛津分析技术研发(上海)有限公司上海201201

文中提出一个FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,系统由信号发生器、高速开关、高压直流电源、高通滤波、补偿电压自动扫描及采集、和计算机控制六部分组成。以TMS320F2812为信号发生及控制核心,驱动高速开关通过逆变产生方波R... 详细信息

文中提出一个FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,系统由信号发生器、高速开关、高压直流电源、高通滤波、补偿电压自动扫描及采集、和计算机控制六部分组成。以TMS320F2812为信号发生及控制核心,驱动高速开关通过逆变产生方波RF信号同时控制DAC转换实现补偿电压自动扫描。该电源系统可以输出频率≤2MHz,电压幅值≤2kV,功率≤300W,占空比20%～50%,波形上升时间约15ns的非对称方波波形。

关键词： TMS320F2812 高场非对称波形离子迁移谱信号发生器 PWM 高场非对称方波射频电压

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