检索结果-内蒙古大学图书馆

用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析

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光电工程 1999年第5期26卷 9-12页

作者：王林李达成曹芒清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

Ｘ射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－８ｒａｄ量级，侧滑角为１０－６ｒａｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析，旨在找出影响其性能参数的主要因素。

关键词：微动工作台纳米测量有限元分析方法 X射线

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激光稳频中的高灵敏度光谱技术

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光学技术 1999年第5期25卷 62-64页

作者：林元庆赵洋清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

高灵敏度谱分析技术是激光稳频系统的关键。通过系统的理论分析，结合国内外研究的稳频系统，详尽介绍了导数谱和ＦＭ光谱激光稳频技术，并对其进行了分析、比较。两者的根本区别在于ＦＭ光谱技术具有相对较大的调制频率，这是它们在... 详细信息

高灵敏度谱分析技术是激光稳频系统的关键。通过系统的理论分析，结合国内外研究的稳频系统，详尽介绍了导数谱和ＦＭ光谱激光稳频技术，并对其进行了分析、比较。两者的根本区别在于ＦＭ光谱技术具有相对较大的调制频率，这是它们在应用中各具特点的根源：ＦＭ光谱技术具有更高的灵敏度和噪声抑制能力，可以探测到０－００５％的微小吸收，而导数谱技术对未知的超精细谱线结构具有较好的兼容性。

关键词：激光稳频 FM光谱技术导数谱技术

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射线成像检测中射线源焦点的影响及修正

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光学技术 1999年第6期25卷 48-49页

作者：任大海尤政孙长库叶声华清华大学精密仪器与机械学系北京100084 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

本文分析了在工业无损检测中射线源焦点对成像质量的影响，讨论了射线源焦点对成像影响的数学模型，以此为基础，设计了相应的焦点修正算法。

关键词：实时成像图像处理无损检测射线源焦点

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用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

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第五届全国STM学术会议

作者：刘秀梅洪涛王佳李达成精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系

扫描近场光学显微镜 SNOM(scanning near-field optical microscope)自八十年代中期以来获得了迅速的发展,并具有超衍射极限光学分辨率。作为 SNOM 的关键技术之一,样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理,... 详细信息

扫描近场光学显微镜 SNOM(scanning near-field optical microscope)自八十年代中期以来获得了迅速的发展,并具有超衍射极限光学分辨率。作为 SNOM 的关键技术之一,样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理,本文提出了一种新型的样品-针尖间距测控的非光学方法,即,利用压电陶瓷的压电和逆压电效应,将压电陶瓷片分为三部分,分别用于激励探针振动、固定探针以及探测针尖振动变化。该方法的灵敏度很高,可将样品-针尖的间距控制在3nm 左右, 而且廉价、制备十分简单。

关键词：扫描近场光学显微术间距调控剪切力非光学方法压电

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激光热轧带钢平直度测量仪

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仪器仪表学报 1999年第6期20卷 648-650页

作者：杨溪林方仲彦金国藩邱忠义清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 冶金部自动化研究院北京100071

本文介绍了一种新的激光热轧带钢平直度测量系统，系统采用多束激光作光源，无需分光扫描和传感器定位装置；优化设计图象检测系统，保证了系统的响应速度；改进平直度计算模型，提高系统测量精度和灵敏度；配合有效的防护措施，成功地... 详细信息

本文介绍了一种新的激光热轧带钢平直度测量系统，系统采用多束激光作光源，无需分光扫描和传感器定位装置；优化设计图象检测系统，保证了系统的响应速度；改进平直度计算模型，提高系统测量精度和灵敏度；配合有效的防护措施，成功地研制了ＬＦ—１００型激光板形仪。近十个月的在线测量结果表明，静态测量精度达±０．６５ｍｍ，带宽５点测量时间达８７ｍｓ／次。

关键词：平直度板形激光热轧带钢测量仪

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基于声表面波谐振器的无线测量系统

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测控技术 1999年第10期18卷 9-12页

作者：王生江董永贵冯冠平清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室 100084

传感器无源化使得高温、低温等电子线路无法正常工作的极端环境条件下的参数测量成为可能，而无线测量方式对于运动物体的参数测量极为适合。本文介绍了基于相位延迟时间测试的查询式无线无源声表面波传感器，在此基础上，提出了基于声... 详细信息

传感器无源化使得高温、低温等电子线路无法正常工作的极端环境条件下的参数测量成为可能，而无线测量方式对于运动物体的参数测量极为适合。本文介绍了基于相位延迟时间测试的查询式无线无源声表面波传感器，在此基础上，提出了基于声表面波谐振器的无线无源传感器，并设计实验对这一传感原理进行了验证。.

关键词：无线测量系统声表面波传感器频率谐振器

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面阵CCD在大尺寸形位误差测量中的应用(英文)

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仪器仪表学报 1999年第2期20卷 111-113,120页

作者：郝群赵洋李达成曹芒北京理工大学光电工程系北京100081 清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用面阵CCD探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对二维位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法──正交投影法，消除了CCD表面保护玻璃形成的干... 详细信息

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用面阵CCD探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对二维位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法──正交投影法，消除了CCD表面保护玻璃形成的干涉条纹的影响，对空气扰动也起到了很好的抑制作用，并且使二维图像处理变为一维计算，大大提高了计算速度.此面阵CCD测量系统与双频激光干涉仪测量直线度误差的比对实验结果表明，二者的测量结果符合得很好，说明测量系统有很高的可信度。

关键词：面阵CCD 位相板衍射图样形位误差测量大尺寸

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实现光束变换的连续位相衍射光学器件的研制

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光学技术 1999年第6期 74-76页

作者：谭峭峰严瑛白金国藩邬敏贤付绍军徐向东洪义麟中国科技大学国家同步辐射实验室!安徽合肥230026 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京100084

本文利用基于模拟退火法和爬山法相结合的混合优化算法，实现光束变换的连续位相衍射光学器件的设计。通过灰阶掩膜板及离子刻蚀工艺，研制了 Φ１００ｍｍ的连续位相衍射光学器件。通过多级衰减片及ＣＣＤ实现了焦斑光强分布测量。... 详细信息

本文利用基于模拟退火法和爬山法相结合的混合优化算法，实现光束变换的连续位相衍射光学器件的设计。通过灰阶掩膜板及离子刻蚀工艺，研制了 Φ１００ｍｍ的连续位相衍射光学器件。通过多级衰减片及ＣＣＤ实现了焦斑光强分布测量。测量结果表明：边缘陡峭、旁瓣小、中心主瓣具有一定均匀性，且没有中心零级锐脉冲的焦斑光强分布

关键词：光束变换连续位相衍射光学器件

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大型结构的振动测量与分析及新型磁电式低频振动传感器

大型结构的振动测量与分析及新型磁电式低频振动传感器

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第11、12、13届振动与噪声高技术交流会

作者：严普强清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室

通过对大型结构的振动测量既可以获得结构的模态参数,也可以在某种程度上评估结构的损伤.大型结构的模态密集、固有频率低、阻尼小,因而给测量传感器和信号分析带来一系列特殊问题.本文讨论由地脉动和环境影响所引起的结构自然振动的测... 详细信息

通过对大型结构的振动测量既可以获得结构的模态参数,也可以在某种程度上评估结构的损伤.大型结构的模态密集、固有频率低、阻尼小,因而给测量传感器和信号分析带来一系列特殊问题.本文讨论由地脉动和环境影响所引起的结构自然振动的测量和分析,并介绍一种新型磁电式低频振动传感器.

关键词：大型结构振动测量低频振动传感器模态参数信号分析

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A Design of Extreme Long Focal Depth Binary Optical Element

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Chinese Journal of Lasers 1999年第1期8卷 56-61页

作者： XU Junquan BAO Hongchun WU Minxian (State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Tsinghua University, Beijing 100084, China) 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京 100084

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＷｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｍｏｄｅｒｎｉｎｄｕｓｔｒｙ，ｔｈｅｒｅａｒｅｍａｎｙｌａｒｇｅａｎｄｈｕｇｅｅｌｅｍｅｎｔｓａｎｄｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓ，ｓｕｃｈａｓｌａｒｇｅｇｅｎ... 详细信息

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＷｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｍｏｄｅｒｎｉｎｄｕｓｔｒｙ，ｔｈｅｒｅａｒｅｍａｎｙｌａｒｇｅａｎｄｈｕｇｅｅｌｅｍｅｎｔｓａｎｄｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓ，ｓｕｃｈａｓｌａｒｇｅｇｅｎｅｒａｔｏｒｓａｎｄｗａｔｅｒｗ...

关键词： energy conservation theory focal depth binary optics

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