检索结果-内蒙古大学图书馆

实验技术与管理 2010年第11期27卷 74-78页

作者：朱昊曹良才何庆声清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

开发了与专业基础课＂全息及光学信息处理＂相配套的教学实验系统,可以进行三类不同性质的图形图像的频谱分析、光学滤波和体全息存储实验。叙述了体全息光存储的记录与读出原理,介绍了实验系统。实验过程按科学研究的标准设计,学生通... 详细信息

开发了与专业基础课＂全息及光学信息处理＂相配套的教学实验系统,可以进行三类不同性质的图形图像的频谱分析、光学滤波和体全息存储实验。叙述了体全息光存储的记录与读出原理,介绍了实验系统。实验过程按科学研究的标准设计,学生通过自行分析和设计多种实验方案,培养学生的创造力与实际操作能力。

关键词：实验系统体全息光存储

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机械制造领域测量技术的发展研究

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机械工程学报 2010年第14期46卷 1-11页

作者：裘祖荣石照耀李岩天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院北京100124 清华大学精密仪器与机械学系北京100084

介绍机械制造中测量学科的内涵和组成,指出测试计量技术是机械制造领域不可或缺的重要组成部分,是机械科学研究和先进制造的眼睛;机械制造中的应用和创新需求,决定着测量技术领域的主要研究内容和发展方向。随着近几年世界经济格局的变... 详细信息

介绍机械制造中测量学科的内涵和组成,指出测试计量技术是机械制造领域不可或缺的重要组成部分,是机械科学研究和先进制造的眼睛;机械制造中的应用和创新需求,决定着测量技术领域的主要研究内容和发展方向。随着近几年世界经济格局的变化和我国经济技术高速发展的趋势,测量技术的先进程度将成为我国未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键。基于国际、国内机械制造领域测量技术近几年的发展和现状分析,就目前我国机械制造中测量技术发展的特点,预测今后几年机械制造领域测量技术的研究热点和发展趋势。对机械制造中测量技术领域国家应重点发展、支持的方向提出建议。

关键词：机械制造测量技术发展研究

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相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究

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应用光学 2010年第6期31卷 1013-1017页

作者：周小珊李岩清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立... 详细信息

为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立测量系统,对方案的可行性进行了实验验证,并对影响系统稳定性的因素进行了分析。与双频激光干涉仪的比对结果表明:测量标准差优于1 mm,可以满足一些大尺寸的测量精度要求。

关键词：绝对距离测量相位激光测距外差干涉测量双纵模He-Ne激光器

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精密电极结构实现小间隙大气压辉光放电离子源(英文)

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纳米技术与精密工程 2010年第3期8卷 189-194页

作者：刘坤王晓浩唐飞魏学业北京交通大学电子信息工程学院北京100044 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

分析了电极结构精密度对大气压辉光放电稳定性的影响,设计并加工了一套高装配精度的线-筒型离子源.内外电极直径分别为0.16mm和4mm.当电压达到-3.5kV时电晕放电开始发生,放电电流波形为典型的特里切尔脉冲;当电压升高至-4.5kV时放电电... 详细信息

分析了电极结构精密度对大气压辉光放电稳定性的影响,设计并加工了一套高装配精度的线-筒型离子源.内外电极直径分别为0.16mm和4mm.当电压达到-3.5kV时电晕放电开始发生,放电电流波形为典型的特里切尔脉冲;当电压升高至-4.5kV时放电电流变为直流,表明进入辉光状态.通过放电电流波形可以清晰地观察到从电晕放电到辉光放电的过渡过程,并分析了其物理过程.放电实验表明,该装置可以稳定地实现大气压辉光放电,放电电流与施加电压成正电阻特性,而电极之间的电压在放电电流增大的情况下保持不变.这些放电特性与典型的低气压辉光放电一致.放电电流可达毫安量级,电离度较高,可有效提高检测灵敏度.质谱实验表明该离子源可以很好地离子化甲酸、乙酸、苯酚、苯甲酸等化学物质.

关键词：电极精密度大气压辉光放电敞开式离子源

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基于碳纳米管宏观体的热线式流速探针

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固体电子学研究与进展 2010年第4期30卷 495-498,584页

作者：刘小丽周兆英仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子科学与技术系中北大学太原030051 电子测试技术国家重点实验室电子科学与技术系中北大学太原030051 精密测试技术与仪器国家重点实验室精密仪器与机械学系清华大学北京100084

提出一种基于双壁碳纳米管(CNTs)宏观体的新型热线流速探针,该探针采用微加工技术组装热敏感元件并通过在接触区电沉积镍颗粒提高敏感结构的稳定性。作为热线元件的CNTs有比铂丝更高的电阻温度系数,温度为293～393K时,其电阻温度系数从0... 详细信息

提出一种基于双壁碳纳米管(CNTs)宏观体的新型热线流速探针,该探针采用微加工技术组装热敏感元件并通过在接触区电沉积镍颗粒提高敏感结构的稳定性。作为热线元件的CNTs有比铂丝更高的电阻温度系数,温度为293～393K时,其电阻温度系数从0.3727%/°C逐渐增加至0.5601%/°C。根据热平衡原理,通过恒流模式测量同一个探针在不同流场中输出电压的变化来计算电阻的变化,从而得到流速的大小。实验表明,该CNTs流速探针的灵敏度比传统的热线流速计高,重复性好,作为热线敏感材料是可行的。

关键词：热线流速灵敏度碳纳米管电阻温度系数

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一种微型FAIMS传感器芯片的研制

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物理化学学报 2010年第5期26卷 1355-1363页

作者：李华王晓浩唐飞张亮杨吉吝涛丁力清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中北大学电子与计算机科学技术学院太原030051 岛津分析技术研发(上海)有限公司上海201201

基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子... 详细信息

基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.

关键词：高场非对称波形离子迁移谱微机电系统高场非对称方波微法拉第杯

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单壁碳纳米管阵列场效应特性的研究

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固体电子学研究与进展 2010年第4期30卷 601-605页

作者：郑富中唐一科周兆英杨兴吴英重庆大学机械工程学院清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室重庆科技学院

单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据... 详细信息

单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据手性的不同在电特性上又各有差异,再加上要合成或合成后分离出单一手性的SWCNT,目前的技术还存在相当大的难度。结合化学气相沉积中的控制生长、控制转移排列整齐有序的SWC-NT阵列与微加工工艺等方法,将SWCNT阵列作为一个器件单元来进行测试,测试结果显示了一定的场效应特性。

关键词：单壁碳纳米管阵列化学气相沉积控制转移场效应

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基于体全息光学相关器的身份认证复合检索方法

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光学技术 2010年第4期36卷 566-571页

作者：牛希泉何庆声曹良才郭威罗亚平金国藩清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 中国人民公安大学刑事科学技术系北京100038

体全息相关器具有高速、并行和多通道等特点。基于体全息相关器大幅面、高分辨率、二维数据页结构,将身份认证图文信息进行编码及格式化,组合为适用于光学相关器的图像模板。数据库的图像模板以体全息图的形式存储在铌酸锂晶体中,识别... 详细信息

体全息相关器具有高速、并行和多通道等特点。基于体全息相关器大幅面、高分辨率、二维数据页结构,将身份认证图文信息进行编码及格式化,组合为适用于光学相关器的图像模板。数据库的图像模板以体全息图的形式存储在铌酸锂晶体中,识别时将待识别的全部或部分身份认证信息输入,光学相关器可快速返回输入图像与所有库图像模板的相关值,从而完成对整个数据库的快速复合检索。介绍了该方法的工作原理、理论模型、编码和组页方法以及复合检索工作流程,给出了演示实验结果。

关键词：体全息相关器内容寻址身份认证复合检索

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基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器

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机械工程学报 2010年第18期46卷 13-17页

作者：唐一科郑富中周兆英杨兴吴英重庆大学机械工程学院重庆400044 重庆科技学院电气与信息工程学院重庆401331 清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米... 详细信息

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米管阵列较整齐地悬于平行电极对之间,待将生长有纳米管的硅片粘在聚氯乙稀薄板上之后,再用激光技术切除掉贯通缝的连接部分,使作用于聚氯乙稀薄板上的力能够直接传递到单壁碳纳米管阵列。引出导线,完成此微纳力敏传感器件的制作。随后主要开展悬空单壁碳纳米管阵列应变传感方面的研究,获得了较高的压阻因子与线性度。结果表明这种制作方法具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳传感器件的制作提供新的思路。

关键词：化学气相沉积悬空单壁碳纳米管阵列应变传感微纳传感器件

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方波射频电压幅值对微型高场非对称波形离子迁移谱传感器芯片性能的影响

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分析化学 2010年第11期38卷 1678-1682页

作者：李华唐飞王晓浩张亮杨吉王帆徐初隆吝涛丁力清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室中北大学电子与计算机科学技术学院岛津分析技术研发(上海)有限公司

基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键合工艺加工,尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,其中迁移区尺寸为10mm×5mm×0.2mm。设计了高场非对称方波电源,可输出最大频率2MHz,电压峰-峰值1000V,占空比20%～50%连续可调的方波射频电压。以乙醇为实验样品,分析了方波射频电压幅值对FAIMS传感器芯片性能的影响。实验表明,随着电压幅值的增加,FAIMS分辨率提高,灵敏度下降,补偿电压绝对值增大,且芯片对乙醇的检出限可达8.9mg/m3。

关键词：微机电系统高场非对称波形离子迁移谱方波射频电压

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