检索结果-内蒙古大学图书馆

机械与电子 2010年第5期28卷 37-40页

作者：钟伦超唐飞龚涛王晓浩中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

根据微球直径分离的运用背景与技术,设计了微球自动筛选系统,介绍了窄缝机械结构,使用AVR微处理器与工作台等器件搭建了系统硬件,在此基础上进行了系统软件设计.试验结果表明所设计的微球直径筛选系统具有方便、快捷、精确等优点,满足... 详细信息

根据微球直径分离的运用背景与技术,设计了微球自动筛选系统,介绍了窄缝机械结构,使用AVR微处理器与工作台等器件搭建了系统硬件,在此基础上进行了系统软件设计.试验结果表明所设计的微球直径筛选系统具有方便、快捷、精确等优点,满足微球分离的指标要求.

关键词：微球分离窄缝脉冲水流直径筛选

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一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

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2008中国仪器仪表与测控技术进展大会

作者：朱亮叶雄英冯焱颖武雁斌周兆英精密测试技术及仪器国家重点实验室精密仪器与机械学系清华大学传感技术联合国家重点实验室

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片,该芯片利用硅微加工工艺制作,以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验,测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明,在电压小于80V的时候,接触角测... 详细信息

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片,该芯片利用硅微加工工艺制作,以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验,测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明,在电压小于80V的时候,接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作:产生、合并、输运、分割。

关键词：介质上电润湿液滴微流体微机械加工

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ICF微球分离技术研究

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新技术新工艺 2010年第8期 33-35页

在微球分离试验研究的基础上,根据微球自身特性以及在工作液体中的状态,分析了微球不易分离的原因,提出了一种直径筛选方法。该技术采用精密窄缝结构和脉冲水流驱动微球分散,并通过窄缝,达到对微球快速精确分离的目的。该技术具有操作... 详细信息

在微球分离试验研究的基础上,根据微球自身特性以及在工作液体中的状态,分析了微球不易分离的原因,提出了一种直径筛选方法。该技术采用精密窄缝结构和脉冲水流驱动微球分散,并通过窄缝,达到对微球快速精确分离的目的。该技术具有操作简单、低强度、高效率等优点。试验结果表明此技术可行。本文对微球的挑选提供了一种新技术和新方案,从而满足微球挑选新工艺的要求,保证挑选出的微球的质量。

关键词：微球分离窄缝脉冲水流

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金属三维微结构加工技术的研究

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仪表技术与传感器 2006年第1期 8-9+20页

作者：吴英周兆英江永清向毅小野崇人清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室中电集团电子44所 3. 重庆科技学院 4. 日本东北大学工学部机械知能系

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一。现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术。但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而... 详细信息

三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一。现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术。但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而可能导致图形的失败。而LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源和特制的LIGA掩模板,加工周期长。为此,基于反应离子深刻蚀技术,结合电镀工艺,提出了一种金属微结构的微加工制作方法,并进行了相应的实验。结果表明,该方法不仅可以制造出深宽比为6的微型金属螺旋线圈,还可以为其他非硅三维微结构的加工提供一定的技术支持。

关键词： MEMS 微加工反应离子刻蚀电镀金属微结构

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衍射光学元件的理论模型和优化设计

衍射光学元件的理论模型和优化设计

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2007年中俄衍射光学技术高端研讨会

作者：金国藩清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

概括地介绍衍射光学元件的优点.衍射光学的光线模型,光线追迹法设计衍射光学元件,衍射结构的高折射率模型,折衍混合单透镜的像差分析,谐衍射透镜,衍射光学元件的标量模型及其优化设计,衍射光学光束整形元件求解的数学模型,局部优化与全... 详细信息

概括地介绍衍射光学元件的优点.衍射光学的光线模型,光线追迹法设计衍射光学元件,衍射结构的高折射率模型,折衍混合单透镜的像差分析,谐衍射透镜,衍射光学元件的标量模型及其优化设计,衍射光学光束整形元件求解的数学模型,局部优化与全局优化.微光学元件的加工方法,微电子工艺及金刚石切削.衍射光学元件的应用,包括光束整形,分束器、合束器,分类用器件,扩大焦深的器件等.自由曲面光学元件,汽车前灯反光罩,均匀光场反光器,液晶显示的导光板.亚波长光学元件,亚波长偏振器,亚波长相位滞后器,亚波长分束器等。

关键词：衍射光学迭代算法自由曲面光学元件亚波长光学元件光线模型

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猫眼腔激光器的横模变换与频率分裂

猫眼腔激光器的横模变换与频率分裂

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2008'激光技术论坛

作者：胡朝晖张书练贾惠波清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室，北京 100084

为了产生多种激光横模，以前的系统相对比较复杂，而且一般只能产生基横模和低阶横模，很难产生高阶横模，同时也很难观察到模竞争中一个频率抑制另一个频率的变化过程。基于猫眼谐振腔激光器和频率分裂技术，提出了一种新型的激光原理... 详细信息

为了产生多种激光横模，以前的系统相对比较复杂，而且一般只能产生基横模和低阶横模，很难产生高阶横模，同时也很难观察到模竞争中一个频率抑制另一个频率的变化过程。基于猫眼谐振腔激光器和频率分裂技术，提出了一种新型的激光原理综合实验系统。该系统利用猫眼逆向器作为He-Ne激光器的一个腔镜，通过调节猫眼逆向器中两镜片间距可输出包括基横模、低阶横模、高阶横模在内的十余种典型横模，并可完成纵模、偏振、出光带宽等多种激光基本特性的实验。同时在基横模状态下，利用谐振腔内加入的石英晶体片可实现激光频率分裂及其频差调节。在此基础上又可实现完整的模竞争过程的观察。

关键词：激光器频率分裂横模变换激光原理频差调节

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高精度激光准直技术的研究(一)

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航空计测技术 1997年第1期17卷 3-6页

作者：方仲彦殷纯永梁晋文清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京市100084

论述了激光准在技术的发展及共性的技术关键问题，系统介绍了本单位在高精度激光准直技术方面的研究成果，从理论到实践较好地克服激光漂移、大气环境对激光准直的严重影响。研制成功的激光光纤准在仪、激光双频同轴度仪及激光旅光准直... 详细信息

论述了激光准在技术的发展及共性的技术关键问题，系统介绍了本单位在高精度激光准直技术方面的研究成果，从理论到实践较好地克服激光漂移、大气环境对激光准直的严重影响。研制成功的激光光纤准在仪、激光双频同轴度仪及激光旅光准直仪具有当前高精度激光准直技术的代表性，并且均达到国内外先进水平。

关键词：激光准直直线度同轴度自适应准直技术

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高精度激光准直技术的研究(二)

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航空计测技术 1997年第2期17卷 6-8,15页

作者：方仲彦殷纯永梁晋文清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京市100084

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用于硝酸盐浓度检测的光电传感器温度特性及其补偿

用于硝酸盐浓度检测的光电传感器温度特性及其补偿

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第八届敏感元件与传感器学术会议

作者：廖嘉睿朱惠忠精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学(中国北京)

本文研究了一种基于光反射原理的硝酸盐浓度检测用光电传感器的温度特性及其补偿.针对环境温度改变后传感器输出特性的变化,本文通过实验研究了传感器在特定的试纸、不同硝酸盐浓度和不同温度条件下的输出特性.在实验基础上,通过数值分... 详细信息

本文研究了一种基于光反射原理的硝酸盐浓度检测用光电传感器的温度特性及其补偿.针对环境温度改变后传感器输出特性的变化,本文通过实验研究了传感器在特定的试纸、不同硝酸盐浓度和不同温度条件下的输出特性.在实验基础上,通过数值分析,研究了仪器的温度补偿数学模型.

关键词：光电传感器反射硝酸盐温度补偿

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532 nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究

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激光与光电子学进展 2017年第9期54卷 254-260页

作者：李海鸥韦春荣王晓峰张紫辰潘岭峰桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室北京100029 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程中心北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件,将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验,研究了激光能量、划片速度及聚焦位置对划片效果的影响。结果表明,基于平顶光束的激光划片,可实现宽约为16μ... 详细信息

根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件,将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验,研究了激光能量、划片速度及聚焦位置对划片效果的影响。结果表明,基于平顶光束的激光划片,可实现宽约为16μm、深约为18μm的划槽,且槽底部平坦,槽壁陡直;与高斯光束相比,平顶光束下热影响区明显减小。

关键词：激光技术脉冲激光激光划槽平顶整形硅片热影响区

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